石英晶片研磨在线测频系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种石英晶片研磨在线测频系统，包括电源模块、MCU控制系统模块、DDS模块、射频功率放大模块、π网络接口电路模块、信号放大滤波模块、射频幅值检测模块和触摸屏模块。本实用新型专利技术用基于DDS技术的π网络最大传输法检测原理增强了系统的抗干扰性，解决现有ALC系统“在某些频段发生测频值跳变”的问题。本实用新型专利技术所有频段采用统一的π网络接口电路，解决现有ALC系统不同频段需要更换探测头的缺陷，降低射频接头频繁插拔导致的电学故障风险，增强系统工作稳定性，能够显著提升晶片研磨质量和产品品质稳定性。硬件系统方案不仅能够覆盖目前晶片研磨生产所涉及的所有频段，而且只需要通过算法参数上修改就能兼容石英晶片的所有切型。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及测试仪器
，尤其涉及一种石英晶片研磨在线测频系统。
技术介绍
石英晶片是晶振的核心元器件，石英晶体振荡器（晶振）为电子设备提供时间基准，在电子信息产业中具有极其重要的地位。中国是晶振的制造大国，但产品档次和总产值与发达国家相比仍有较大差距。晶振的制造流程主要可以分为晶片生产和晶片封装两个阶段，前者主要通过切割、研磨和腐蚀等工序将石英晶棒加工成特定厚度和尺寸的晶片；后者主要通过披银、点胶、微调和密封等工序将晶片封装为各种规格的晶振。在一定频率范围内，石英晶片的厚度与其谐振频率可以简化成正比关系，目前大量晶振的频段处于几兆到几十兆赫兹，对应厚度为几百微米，正好满足这一关系。本技术所涉及的技术主要应用在晶片生产阶段，该阶段的生产目标是围绕石英晶片的谐振频率展开的。根据晶片生产工艺流程中不同阶段的需求，频率检测技术可以分为两个方向。一个方向是流程后段的“晶片电参数测试”技术，其将基本加工完成的晶片按照以谐振频率为核心参数进行分选，主要侧重测量的精确性和测试参数的全面性。国内外很多研究机构都对其进行了研究探索，相应的产品也比较成熟。比如，美国桑德斯公司的250A、250B系列本文档来自技高网...

【技术保护点】
石英晶片研磨在线测频系统，其特征在于，包括电源模块、MCU控制系统模块、DDS模块、射频功率放大模块、π网络接口电路模块、信号放大滤波模块、射频幅值检测模块和触摸屏模块；所述电源模块为所述MCU控制系统模块、DDS模块、射频功率放大模块、信号放大滤波模块、射频幅值检测模块和触摸屏模块提供直流电源；所述DDS模块的输入端连接到所述MCU控制系统模块，DDS模块的输出端连接到所述射频功率放大模块的输入端；所述射频功率放大模块的输出端连接到所述π网络接口电路模块的输入端，所述π网络接口电路模块的输出端连接到所述信号放大滤波模块的输入端；所述信号放大滤波模块的输出端连接到所述射频幅值检测模块的输入端；...

【技术特征摘要】
1.石英晶片研磨在线测频系统，其特征在于，包括电源模块、MCU控制系统模块、DDS模块、射频功率放大模块、π网络接口电路模块、信号放大滤波模块、射频幅值检测模块和触摸屏模块；所述电源模块为所述MCU控制系统模块、DDS模块、射频功率放大模块、信号放大滤波模块、射频幅值检测模块和触摸屏模块提供直流电源；所述DDS模块的输入端连接到所述MCU控制系统模块，DDS模块的输出端连接到所述射频功率放大模块的输入端；所述射频功率放大模块的输出端连接到所述π网络接口电路模块的输入端，所述π网络接口电路模块的输出端连接到所述信号放大滤波模块的输入端；所述信号放大滤波模块的输出端连接到所述射频幅值检测模块的输入端；所述射频幅值检测模块的输出端连接到所述MCU控制系统模块；所述触摸屏模块与...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭彬，潘凌锋，陈浙泊，陈一信，林斌，
申请(专利权)人：浙江大学台州研究院，
类型：新型
国别省市：浙江;33