一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨在线测频的方法组成比例

本发明专利技术公开了一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨在线测频的方法，能在石英晶片研磨过程中稳定实时地测量从5M到70MHZ的频率；本系统可以显示晶片研磨生产过程中的各种状态并提出建议，在线测频过程中实时监控石英晶片研磨状态，若出现异常情况实时关停研磨机，防止超频事件的发生，用户可根据触摸屏上显示的这些状态有效提高生产效率；加入“跳频约束策略”彻底解决ALC系统“在某些频段发生测频值跳变”的问题；提供晶片研磨实时平均频率、研磨速率和散差等多样化统计参数，为更换研磨砂和维修研磨盘面提供科学依据，解决ALC系统“无法监控研磨机状态”的缺陷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
电子信息产业是国民经济的支柱产业，石英晶体振荡器在电子信息行业中具有极其重要的地位。中国是石英晶体元器件的生产大国，但是产值、产品质量与发达国家相比仍有较大差距。行业近年来发展十分迅速，对石英晶体元器件生产过程中的加工设备和在线高精度测控设备的需求量也在不断增加。晶片研磨是石英晶振生产过程中必不可少的步骤，晶片电参数测试是这一步骤中的关键测控技术，国内很多研究机构都对其进行了研究探索。20世纪九十年代，天津大学就基于国际标准的传输法原理对石英晶体的电参数进行了测量。从2002年到2004年，北京机械工业学院对网络法测量石英晶体电参数的原理及网络中分布参数对测量精度的影响进行了研究。中南大学信息科学与工程学院在2004年提出了一种使用直接数字频率合成器(DDS)作为激励信号源的方法和以此为基础实现石英晶片电参数计算机测量系统。北京航空航天大学在2006年设计了一种频率高达200 MHz的石英晶体电参数测量系统。2009年哈尔滨工业大学以网络最大传输测量方法为基础设计石英晶体参数测量系统，设计中选择具有高速数据处理能力的数字信号处理器(DSP)作为系本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨在线测频的方法，其特征在于，包括如下步骤：单次测频流程包括：首先判断AD采样的数据个数是否达到系统设定值，如果没有到达系统设定值，则等待AD采样的数据个数达到系统设定值，如果达到系统设定值，则进入谐振频率搜索方法；所述谐振频率搜索方法通过波形匹配方法、数据平滑处理和求最大值处理AD采样的数据，获取谐振频率相关的统计信息；所述谐振频率相关的统计信息包括谐振波形搜索是否成功，获取谐振波形的峰峰值、谐振波形锋值所在的步进点、谐振线宽、谐振次数信息；经过谐振频率搜索方法处理后，需要判断谐振频率是否搜索成功，如果搜索不成功，说明本次采集到的数据不是石英晶振谐振时的数据，...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郭彬，潘凌锋，陈浙泊，陈一信，
申请(专利权)人：浙江大学台州研究院，
类型：发明
国别省市：浙江;33