【技术实现步骤摘要】
本申请是2011年5月13日向中国国家专利局提出的申请号为201110126539.8、专利技术名称为“电子部件检查装置及电子部件搬送方法”这一申请的分案申请。
本专利技术涉及对被封装成在两面设有电极的半导体芯片等电子部件进行电气检查的电子部件试验装置、以及在该电子部件试验装置中采用的电子部件搬送方法。
技术介绍
这种电子部件检查装置一般按照如下的顺序进行作为对象的电子部件的供给、检查和排出。即，(a)将盛在托盘中而从电子部件检查装置的外部供给的检查前的电子部件，通过基于把持部的把持搬送，向检查用头供给。(b)由检查用头将该供给来的电子部件配置到检查用插槽上。(c)在基于该检查用插槽进行检查后，由检查用头对被配置在该检查用插槽的电子部件进行回收。(d)通过把持部将回收的电子部件，按照检查结果的好坏分配到各个对应的托盘中，然后与这些托盘一同排出到电子部件检查装置的外部。根据这些步骤可知，在这样的电子部件检查装置中，除了维持精确的检查之外，通...
【技术保护点】
一种电子部件搬送装置，其特征在于，对在第1面和上述第1面的相反侧的第2面上设有电极的电子部件进行搬送，上述电子部件搬送装置能够配置检查用头，该检查用头具有被配置上述电子部件的检查用插槽、把持上述电子部件的把持部、调整上述把持部的位置的位置调整部、以及能够与由上述把持部把持的电子部件的第1面电极接触的接触端子，并将上述电子部件配置于上述检查用插槽，上述电子部件搬送装置具有：第1摄像装置，其拍摄被上述把持部把持前的电子部件的第1面电极；第2摄像装置，其拍摄设置于上述检查用头的接触端子；第3摄像装置，其拍摄由上述把持部把持的电子部件的第2面电极；和第4摄像装置，其拍摄上述检查用插...
【技术特征摘要】
2010.05.14 JP 2010-1118251.一种电子部件搬送装置，其特征在于，
对在第1面和上述第1面的相反侧的第2面上设有电极的电子部件
进行搬送，
上述电子部件搬送装置能够配置检查用头，该检查用头具有被配置
上述电子部件的检查用插槽、把持上述电子部件的把持部、调整上述把
持部的位置的位置调整部、以及能够与由上述把持部把持的电子部件的
第1面电极接触的接触端子，并将上述电子部件配置于上述检查用插槽，
上述电子部件搬送装置具有：
第1摄像装置，其拍摄被上述把持部把持前的电子部件的第1面电
极；
第2摄像装置，其拍摄设置于上述检查用头的接触端子；
第3摄像装置，其拍摄由上述把持部把持的电子部件的第2面电极；
和
第4摄像装置，其拍摄上述检查用插槽，
通过使上述检查用头的位置调整部调整上述把持部的位置，来根据
由上述第1和第2摄像装置拍摄到的图像，控制上述把持部把持上述电
子部件时的把持姿势，并根据由上述第3和第4摄像装置拍摄到的图像，
控制把持了上述电子部件的把持部相对上述检查用插槽的把持姿势。
2.根据权利要求1所述的电子部件搬送装置，其特征在于，
在比配置于上述检查用插槽的上述电子部件的外周靠外侧，设有对
与上述电子部件的第1面电极的电导通进行确保的连接电极，在上述把
持部上设有能够与上述连接电极接触的连接端子。
3.根据权利要求1或2所述的电子部件搬送装置，其特征在于，
上述第1摄像装置和上述第4摄像装置中的至少一方被设于上述检
查用头。
4.根据权利要求1或2所述的电子部件搬送装置，其特征在于，
上述第1摄像装置和上述第4摄像装置是被共用的...
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