液晶搬运机器人及其控制方法技术

本发明专利技术提供一种能准确地检测出玻璃基板的位置，然后校正位置进行搬运的液晶搬运机器人。液晶搬运机器人（１），具备：由连杆机构（１Ａ，２Ａ）构成的升降机构（１Ｃ，２Ｃ）；由连杆机构（３Ａ，４Ａ）构成的水平多关节机构（３Ｃ，４Ｃ）；在所述水平多关节机构上载置矩形形状的基板Ｗ的手部（９）；及装备于所述升降机构（１Ｃ，２Ｃ）的移动台车（１２），在所述手部（９）与所述水平多关节机构（３Ｃ，４Ｃ）之间具备支柱（８），在所述支柱（８）上具备检测所述基板Ｗ的位置的传感器（１０）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶基板搬运装置的控制方法。
技术介绍
对于现有的液晶搬运机器人，作为校正液晶基板的横向偏移的方法公 开有使用距离传感器测量横向偏移，通过在横向上移动机器人来校正横向偏移的方法(例如，参照专利文献l)。图4表示现有的液晶搬运机器人。 如图4所示，在连接部106的上端部106a上安装有支撑位置检测传感器114 的支撑臂115 。为使位置检测传感器114配置在与机器手弯曲的方向相对侧， 将支撑臂115安装在连接部106的上端部106a为好。并且，在机器手(未 图示)吸附玻璃基板后，在被移动至机器人的原点位置时，为了能检测出玻 璃基板左端综的位置，位置检测传感器114以向玻璃基板W侧(图4中的 右侧)开口的方式形成为"倒〕"字状。另外，在手臂131C的上面，在玻璃基板的前面部大致平行地安装2个 第1距离传感器113，在第1距离传感器113的后方部可以转动地配设有安 装有位置检测传感器114的支撑臂。支撑臂形成为"L"字状，在前端部， 位置检测传感器114以向玻璃基板侧开口的方式形成为"3"字状。如图5 所示，支撑臂通过未图示的驱动马达，以手臂131C的后方安装部为中心在 顺时针方向转动，其转动终端为在玻璃基板被移动至原点位置时，玻璃基 板的左端 入位置检测传感器114的开口部的位置。专利文献l:日本国特开平9—162257号(第4一5页，图4、图7)
技术实现思路
液晶搬运机器人用机器手从配置有多层玻璃基板的晶圆盒中吸附玻璃 基板，在作业区域进行配置玻璃基板的作业。在配置有玻璃基板的晶圆盒 中，虽然玻璃基板配置在规定的位置，但实际上在晶圆盒内会产生旋转偏移或横向偏移，如果用机器手取出这种状态的玻璃基板，则会在包含载置 误差的状态下搬运至作业区域，在于作业区域进行的描绘或曝光的工序中 产生误差，成为不良产品。另外，近年来玻璃基板向大型化发展，微小的旋转偏移或橫向偏移也 由于玻璃基板大型化而产生很大的影响。另外，随着玻璃基板的大型化， 搬运物的惯性变大，另一方面，要求縮短生产节拍时间。g卩，对于液晶搬 运机器人要求高刚性的结构，需要不易振动的结构。与此相对，现有的液晶搬运机器人具有用于对载置于机器手上的液晶 基板的旋转偏移及横向偏移进行校正的传感器，虽然能进行校正，但在连 接部所具备的支撑臂上具备位置检测传感器的结构的情况下，由于载置具 有很大惯性的液晶基板的机器手移动，所以在连接部上也作用反作用力， 配置于从该连接部向上方延伸的位置的位置传感器，由于支撑臂的刚性较 低而产生残余振动。由于在产生这种振动中测量横向偏移也将位置传感器 自身振动中的值检测出来，因此产生无法检测出真实的横向偏移量的问题。另外，关于使安装有位置检测传感器的支撑臂转动测量玻璃基板的横 向偏移的方法，由于使安装有位置检测传感器的支撑臂转动配置于测量位 置，因此在位置检测传感器的测量位置上，只要有转动运动就会产生误差， 所以产生无法检测出准确的横向偏移的问题。本专利技术是鉴于这些问题而完成的，目的在于提供一种能准确地检测出 玻璃基板的位置，校正位置进行搬运的液晶搬运机器人。为了解决上述问题，本专利技术提出如下方案。方案1的专利技术提供一种液晶搬运机器人，具备由连杆机构构成的升 降机构；由连杆机构构成的水平多关节机构；在所述水平多关节机构上载 置矩形形状的基板的手部；及装备于所述升降机构的移动台车，在所述手 部与所述水平多关节机构之间具备支柱，在所述支柱上具备检测所述基板 的位置的传感器。方案2的专利技术是，所述传感器配置于所述支柱上，以使所述矩形形状 的基板的一边通过。方案3的专利技术是，所述水平多关节机构构成为关于所述基板的搬运方 向呈对称结构，在所述支柱上所具备的所述传感器也配置为呈所述对称结构。方案4的专利技术是，所述传感器由透射型光传感器构成，所述支柱形成 为〕字形状，在所述支柱的上下面上具备所述传感器元件。方案5的专利技术是，所述光传感器以矩形形状的基板的一边通过之际由所述基板产生的遮光量作为所述基板的横向偏移量进行检测。方案6的专利技术，是由如下机构进行操作的液晶搬运机器人的控制方法 由载置矩形形状的基板的手部至少具备1个旋转轴的连杆机构构成的升降 机构；由至少包括2个旋转轴的连杆机构构成的水平多关节机构；及装备于所述升降机构的移动台车，在所述手部与所述水平多关节机构之间具备 支柱，以在所述支柱上对所述基板的位置进行检测的传感器信号为基础校 正所述基板的位置进行操作。方案7的专利技术是，在以所述传感器信号为基础检测出所述基板的旋转偏移时，将所述旋转偏移转换为所述支柱所具备的旋转轴的旋转角度校正 所述旋转偏移。方案8的专利技术是，在以所述传感器信号为基础检测出所述基板的横向 偏移时，将所述横向偏移转换为所述移动台车的移动量进行校正。方案9的专利技术是，在以所述传感器信号为基础检测出所述基板的旋转 偏移及横向偏移时，在校正所述旋转偏移的步骤后执行校正所述横向偏移 的步骤。方案10的专利技术是，所述传感器信号为距离检测传感器信号，在以所述 距离检测传感器信号为基础校正旋转偏移的步骤后执行校正横向偏移的步 骤。根据方案1至5的专利技术，通过在刚性较高的支柱上装备检测基板位置 的传感器，即使手部高加速，高速地移动，其反作用也不会直接作为振动 施加于支柱，因此，能够取得准确的位置信息。这样，由于能够检测出准 确的位置，所以能够实现准确的校正，能够消除当前在成为问题的作业区 域内的描绘或曝光工序产生不良产品的问题，与此同时，也可以应用于大 型化的玻璃基板。另外，根据方案6至10的专利技术，由于能够以准确的位置信息为基础进 行校正，所以在向作业区域搬运之际能够将玻璃基板定位于准确的位置，能够提高产品的加工精度。另外，由于在玻璃基板通过之际检测出位置信 息，基于检测结果转换为各关节的旋转角度进行校正，所以也能够在移动 中校正玻璃基板，因此也可以縮短生产节拍时间。附图说明图1是表示本专利技术的液晶搬运机器人的立体图。图2是本专利技术的手部的构成图。图3是表示本专利技术的位置校正方法的流程图。图4是表示现有的液晶搬运机器人的主视图。图5是表示现有的液晶搬运机器人的传感器部的图。符号说明1 —液晶搬运机器人；1C —第1旋转轴；2C —第2旋转轴；3C—第3 旋转轴；4C一第4旋转轴；1A—第1臂体；2A—第2臂体；3A—第3臂体； 4A—第4臂体；7—水平基座；8—3字支柱；9一机器手；IO—距离检测传 感器；ll一固定底座；12—移动台车。具体实施例方式以下，对于本专利技术方法的实施方式参照附图进行说明。 实施例1图1是本专利技术的液晶搬运机器人的立体图。图1表示左臂向前方伸出 的状态，图2表示右臂向前方伸出的状态。在图中，l是液晶搬运机器人， 1C是第1旋转轴，2C是第2旋转轴，3C是第3旋转轴，1A是第1臂体， 2A是第2臂体，3A是第3臂体，4A是第4臂体，7是水平基座，8是〕 字支柱，9是机器手，10是距离检测传感器，11是固定底座，12是移动 台车。本申请专利技术与专利文献1不同之处是，检测玻璃基板的横向偏移的距 离检测传感器是装备于〕字支柱的部分。液晶搬运机器人1由大致3部分构成。其中之一由移动以使固定底座 11沿垂直方向上升的第1旋转轴1C构成，由在水平基座7上在水平面内旋转的第3旋转轴3C本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液晶搬运机器人，具备：由连杆机构构成的升降机构；由连杆机构构成的水平多关节机构；在所述水平多关节机构上载置矩形形状的基板的手部；及装备于所述升降机构的移动台车，其特征在于：在所述手部与所述水平多关节机构之间具备支柱，在所述支柱上具备检测所述基板的位置的传感器。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：桐谷正显，加藤博文，山崎哲也，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：JP[日本]