一种蒸镀坩埚制造技术

本发明专利技术公开了一种蒸镀坩埚，属于OLED制备技术领域。蒸镀坩埚包括坩埚本体和导热部件；导热部件设置在坩埚本体内部，导热部件用于将坩埚本体上的热量直接传递到位于坩埚本体中部的蒸镀材料中。本发明专利技术通过在坩埚本体内部设置导热部件，通过导热部件将坩埚本体的热量直接传递至位于坩埚本体中部的蒸镀材料中，减小位于坩埚本体中部的蒸镀材料和靠近坩埚本体内壁的蒸镀材料的温度差异，避免位于坩埚本体中部的蒸镀材料发生剩余而结块存留在坩埚本体内，提高蒸镀材料的利用率，且保证坩埚本体内的蒸镀材料整体的蒸镀速率稳定，保证蒸镀成膜的效果，从而保证器件的性能，也保证位于坩埚本体中部的蒸镀材料的性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及OLED(Organic Light Emitting D1de，有机发光二极管)制备
，特别涉及一种蒸镀坩祸。
技术介绍
在制造OLED时，使用坩祸将用于制作OLED的有机材料蒸镀到OLED基板上。目前在使用坩祸蒸镀用于制作OLED的有机材料时，先将有机材料盛放于坩祸内，坩祸外部包裹有加热丝，该加热丝在通电时可对坩祸进行加热，盛放在坩祸内的有机材料在高温下蒸发或升华为气体，气体上升并遇到位于坩祸上方的OLED基板，在OLED基板上发生凝华，从而将有机材料蒸镀到OLED基板上。在实现本专利技术的过程中，专利技术人发现现有技术至少存在以下问题:由于有机材料的导热速率较慢，位于坩祸中部的有机材料由于远离坩祸内壁，其温度较低，导致其蒸发或升华的速率相对靠近坩祸内壁的有机材料较慢，长时间的蒸镀速率差异不仅会导致位于坩祸中间的有机材料出现剩余而结块留在坩祸内，使得材料利用率降低；还会导致坩祸内的有机材料整体蒸镀的速率不稳定，影响蒸镀成膜的质量，从而影响器件的性能；且位于坩祸中间的有机材料发生蒸发或升华相对靠近坩祸内壁的有机材料需要的时间更长，而长期蒸镀会影响有机材料的质量。
技术实现思路
为了解决现有技术的坩祸在蒸镀时会导致材料利用率低，导致坩祸内的有机材料整体蒸镀的速率不稳定，影响蒸镀成膜的质量，从而影响器件性能及长期蒸镀会影响有机材料质量的问题，本专利技术实施例提供了一种蒸镀坩祸。所述技术方案如下:一种蒸镀坩祸，所述蒸镀坩祸包括坩祸本体和导热部件；所述导热部件设置在所述坩祸本体内部，所述导热部件用于将所述坩祸本体上的热量直接传递到位于所述坩祸本体中部的蒸镀材料中。具体地，所述导热部件为导热箅子，所述导热箅子由导热体构成，且所述导热体上分布有多个通孔。具体地，所述导热箅子平行或近似于所述坩祸本体底面，且所述坩祸本体的轴线与所述导热箅子的轴线之间的距离不超过第一预设尺寸。进一步地，所述导热箅子的导热体按照所述导热箅子由外至内的方向由疏至密。具体地，所述导热箅子的通孔为正方形、长方形、菱形、三角形中的一种或多种。具体地，所述导热箅子的通孔的大小大于所述坩祸本体的防爆沸金属片的通孔的大小。进一步地，所述蒸镀坩祸包括多层导热箅子，所述多层导热箅子相互平行或近似平行，且任意相邻两层所述导热箅子间有间隙。具体地，所述蒸镀坩祸包括两层或三层导热箅子。进一步地，所述蒸镀坩祸还包括导热架，所述蒸镀坩祸包括的每层导热箅子均固定在所述导热架上。具体地，所述导热箅子为网状结构。具体地，所述导热箅子为设有多个通孔的板体。具体地，所述导热部件与所述坩祸本体内壁接触或者所述导热部件的边缘与所述坩祸本体内壁之间的间隔不超过第二预设尺寸。具体地，所述导热部件为空间网状结构。具体地，所述导热部件包括螺旋体和多个导热体，所述螺旋体沿所述坩祸本体内壁设置，所述多个导热体中的每个导热体的两端分别连接至所述螺旋体上，形成空间网状结构。具体地，所述导热部件包括第一螺旋体、第二螺旋体和多个导热体，所述第一螺旋体和所述第二螺旋体均沿所述坩祸本体内壁设置，所述多个导热体均沿水平方向设置，且所述多个导热体中的每个导热体的一端与所述第一螺旋体连接，另一端与所述第二螺旋体连接。进一步地，所述蒸镀坩祸还包括空心导热柱，所述空心导热柱的外形轮廓与所述坩祸本体内壁轮廓一致，所述导热部件固定在所述空心导热柱中，所述空心导热柱的外壁与所述坩祸本体的内壁接触。进一步地，所述导热部件由导热性好、热稳定性好且耐腐蚀的材料制成。具体地，所述导热部件的材料为钛合金、钼或钨。本专利技术实施例提供的技术方案带来的有益效果是:本专利技术通过在坩祸本体内部设置导热部件，通过导热部件将坩祸本体的热量直接传递至位于坩祸本体中部的蒸镀材料中，减小位于坩祸本体中部的蒸镀材料和靠近坩祸本体内壁的蒸镀材料的温度差异，从而缩小位于坩祸本体中部的蒸镀材料和靠近坩祸本体内壁的蒸镀材料的蒸镀速率之间的差异，避免位于坩祸本体中部的蒸镀材料发生剩余而结块存留在坩祸本体内，提高蒸镀材料的利用率，且保证坩祸本体内的蒸镀材料整体的蒸镀速率稳定，保证蒸镀成膜的效果，从而保证器件的性能，也保证位于坩祸本体中部的蒸镀材料的性能。【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术一实施例提供的蒸镀坩祸的结构示意图；图2是本专利技术又一实施例提供的蒸镀坩祸的使用状态参考图；图3是本专利技术又一实施例提供的导热箅子的结构示意图；图4是本专利技术又一实施例提供的导热箅子的结构示意图；图5是本专利技术又一实施例提供的导热箅子的结构示意图；图6是本专利技术又一实施例提供的导热架和导热箅子的装配结构示意图；图7是本专利技术又一实施例提供的导热部件和空心导热柱的装配结构示意图；图8是本专利技术又一实施例提供的蒸镀坩祸的结构示意图；图9是本专利技术又一实施例提供的蒸镀坩祸的结构示意图；图10是本专利技术又一实施例提供的导热部件的结构示意图。其中:I坩祸本体，2导热部件，21导热体，22通孔，23螺旋体，24第一螺旋体，25第二螺旋体，3坩祸盖，4防爆沸金属片，41防爆沸金属片的通孔，5导热架，6空心导热柱，7有机材料，8电热丝，9玻璃基板，A加热区域。【具体实施方式】为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术实施方式作进一步地详细描述。OLED是制作平面显示装置中重要的电子元器件。OLED包括玻璃基板和有机材料涂层，有机材料涂层是通过蒸镀坩祸将有机材料蒸镀到玻璃基板上形成的。参见图1和2，本专利技术实施例提供了一种蒸镀坩祸，用于将有机材料7蒸镀到玻璃基板9上形成有机材料层，该蒸镀坩祸包括:坩祸本体I和导热部件2 ;导热部件2设置在坩祸本体I内部，导热部件2用于将坩祸本体I上的热量直接传递到位于坩祸本体I中部的蒸镀材料(参见图2中的有机材料7)中。本专利技术的工作原理为:参见图2，钳锅本体I的下部为加热区域A，钳锅本体I外壁上包裹着电热丝8，在蒸镀前，将导热部件2安装在加热区域A中，再向坩祸本体I内装入有机材料7，使导热部件2埋于有机材料7中，然后安装防爆沸金属片4，并盖上坩祸盖3，在坩锅盖3的上方放置玻璃基板，然后开始蒸镀坩锅本体I中的有机材料7。在开始蒸镀时向电热丝8通电，电热丝8将电能转化为热能对坩祸本体I进行加热，由于坩祸本体I导热性良好，电热丝8上的热量能够均匀地传递到坩祸本体I上。坩祸本体I将其热量传递给靠近其内壁的有机材料7和导热部件2，离坩锅本体I内壁较近的当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀坩埚，其特征在于：所述蒸镀坩埚包括坩埚本体和导热部件；所述导热部件设置在所述坩埚本体内部，所述导热部件用于将所述坩埚本体上的热量直接传递到位于所述坩埚本体中部的蒸镀材料中。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈磊，张晓晋，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11