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一种石英基板底厚快速测量装置制造方法及图纸

技术编号:11964243 阅读:95 留言:0更新日期:2015-08-27 14:02
本实用新型专利技术公开了一种石英基板底厚快速测量装置,包括底座和与所述底座固定连接的固定架,所述固定架通过支架固定连接有百分表,所述百分表下端通过伸缩管活动连接有测头,所述测头正下方设有与底座固定连接的支撑垫片,所述支撑垫片上放置有待测石英基板。本实用新型专利技术具有结构简单,能直观看到测量结果,测量准确,操作方便的优点,解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种厚度测量装置,具体涉及一种石英基板底厚快速测量装置
技术介绍
在使用基板的生产过程中,需要对石英基板的底厚进行测量确认,现有技术中通常采用测量石英基本凹槽深度,然后与石英基板直径相减得到基板厚度。但由于石英基板一般直径较小,测量难度大且测量的数值会出现偏差,测量部不准确。
技术实现思路
技术目的:本技术的目的是为了解决现有技术中的不足,提供一种操作方便,测量快速、准确的石英基板底厚快速测量装置。技术方案:本技术所述的一种石英基板底厚快速测量装置,包括底座和与所述底座固定连接的固定架,所述固定架通过支架固定连接有百分表,所述百分表下端通过伸缩管活动连接有测头,所述测头正下方设有与底座固定连接的支撑垫片,所述支撑垫片上放置有待测石英基板。作为优化,所述伸缩管上固定连接有按压把手。作为优化,所述测头为不锈钢测头,且表面光滑平整。作为优化,所述支撑垫片与所述底座通过两侧的锁紧螺丝固定连接。作为优化,所述待测石英基板倒置放置。作为优化,所述待测石英基板的宽度大于所述支撑垫片的宽度。有益效果:本技术具有结构简单,能直观看到测量结果,测量准确,操作方便的优点,解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。【附图说明】图1为本技术的结构主视图。图2为本技术的结构俯视图。图3为本技术的支撑垫片与待测石英基板结构放大图。【具体实施方式】如图1-3所示的一种石英基板底厚快速测量装置,包括底座I和与所述底座I固定连接的固定架2,固定架2通过支架7固定连接有百分表3,百分表3下端通过伸缩管4活动连接有测头6,测头6正下方设有与底座I固定连接的支撑垫片8,支撑垫片8上放置有待测石英基板9,其中伸缩管4上固定连接有按压把手5,测头6为不锈钢测头,支撑垫片8与所述底座I通过两侧的锁紧螺丝固定连接,待测石英基板9倒置放置,待测石英基板9的宽度大于所述支撑垫片8的宽度。本技术的测量过程为:根据石英基板的凹槽宽度选择合适宽度的支撑垫片,将垫片与底座固定,待测基板倒置放在垫片上,把百分比清零校正,下压把手时测头与基板表面接触,读出百分表读数,拿掉待测基板,测量垫片的高度,并读出百分表读数,最后将两个读数相减得出最后的基板底厚数值。本技术具有结构简单,能直观看到测量结果,测量准确,操作方便的优点,解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。【主权项】1.一种石英基板底厚快速测量装置,其特征在于:包括底座(I)和与所述底座(I)固定连接的固定架(2),所述固定架(2)通过支架(7)固定连接有百分表(3),所述百分表(3)下端通过伸缩管(4)活动连接有测头(6),所述测头(6)正下方设有与底座(I)固定连接的支撑垫片(8),所述支撑垫片(8)上放置有待测石英基板(9)。2.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置,其特征在于:所述伸缩管(4)上固定连接有按压把手(5)。3.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置,其特征在于:所述测头(6)为不锈钢测头。4.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置,其特征在于:所述支撑垫片(8)与所述底座(I)通过两侧的锁紧螺丝固定连接。5.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置,其特征在于:所述待测石英基板(9)倒置放置。6.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置,其特征在于:所述待测石英基板(9)的宽度大于所述支撑垫片(8)的宽度。【专利摘要】本技术公开了一种石英基板底厚快速测量装置,包括底座和与所述底座固定连接的固定架,所述固定架通过支架固定连接有百分表,所述百分表下端通过伸缩管活动连接有测头,所述测头正下方设有与底座固定连接的支撑垫片,所述支撑垫片上放置有待测石英基板。本技术具有结构简单,能直观看到测量结果,测量准确,操作方便的优点,解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。【IPC分类】G01B5-06【公开号】CN204594387【申请号】CN201520298019【专利技术人】虞王君 【申请人】虞王君【公开日】2015年8月26日【申请日】2015年5月8日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英基板底厚快速测量装置,其特征在于:包括底座(1)和与所述底座(1)固定连接的固定架(2),所述固定架(2)通过支架(7)固定连接有百分表(3),所述百分表(3)下端通过伸缩管(4)活动连接有测头(6),所述测头(6)正下方设有与底座(1)固定连接的支撑垫片(8),所述支撑垫片(8)上放置有待测石英基板(9)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:虞王君
申请(专利权)人:虞王君
类型:新型
国别省市:浙江;33

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