装载基板的运送车制造技术

一种装载基板的运送车，适于将多个基板运送至一等离子清洁室，用以清洁这些基板的表面。等离子清洁室具有多个平行排列的电极板。装载基板的运送车包括一框架模块以及多个绝缘夹具。框架模块具有彼此相对的一上框架与一下框架。绝缘夹具配置于框架模块上，并分别固定于上框架与下框架，用以夹持这些基板，并分别电性绝缘于这些基板与这些电极板之间。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是有关于一种运送车，且特别是有关于一种装载基板的运送车。
技术介绍
等离子是包括离子或电子与自由基(radical)的气体的电离态。通常电 路板的等离子处理是在等离子清洁室的电极板之间形成强大的电场之后，被 供应到这些电极板之间的气体就会被离子化而产生等离子，借由等离子气体 来清洁残留于电路板表面的有机物、抗蚀剂或显影液等，以改善电路板的表 面品质。图1为传统的一种对装载电路板的运送车上的电路板进行等离子处理的 示意图。请参考图1，传统的装载电路板的运送车100适于将多个电路板20 (图1所示为五个)运送至一等离子清洁室10,其中等离子清洁室10具有 多个平行排列的电极板12(图1所示为五个)，用以清洁这些电路板20的表 面。传统的装载电路板的运送车100包括一底才反110、 一框架120以及二驱 动轮130。框架120位于底板IIO上，用以固定电路板20。驱动轮130用以 顺利推动装载电路板的运送车IOO至等离子清洁室10内。框架120借由多 个金属夹具122 (图1中仅示意地所示为十个)固定这些电路板20的上、下电极板12的正、负极之间产生的等离子气体对电路板20的表面进行清洁。 由于传统的底板110与框架120及其金属夹具122为金属材料，因此当 进行等离子清洁处理时，若有两个或两个以上的电路板20碰触到这些电极 板12其中之二时，电流会从一电极板12的负极经由框架120流向一电路板 20,而后再经由底板110透过另一电路板20流向另一电极板12的正极，使 这些电路板20与框架120形成一导电通路。当电流通过这些电路板20时， 因为电流会加热这些电路板20，而使得这些电路板20产生爆板的现象。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种装载基板的运送车，其借由绝缘夹具使基 板与框架模块电性绝缘，以避免等离子处理时形成高危险性的导电通路。本技术提供一种装载基板的运送车，适于将多个基板运送至一等离 子清洁室，用以清洁这些基板的表面。等离子清洁室具有多个平行排列的电 极板。装载基板的运送车包括一框架模块以及多个绝缘夹具。框架模块具有 彼此相对的一上框架与一下框架。绝缘夹具配置于框架模块上，并分别固定 于上框架与下框架，用以夹持这些基板，并分别电性绝缘于这些基板与这些 电拟j反之间。在本技术的一实施例中，上述的每一绝缘夹具包括一固定部以及一 连接于固定部的夹持部。这些固定部分别固定于上框架与下框架。这些挟持 部分别夹持这些基板的相对两侧缘。在本技术的一实施例中，上述的框架模块包括一底板以及多个侧框架。底板、上框架与下框架相互平行。这些侧框架垂直连接底板、上框架与 下框架。在本技术的一实施例中，上述的这些侧框架、上框架以及下框架形成一容置空间，用以并排放置这些基板。在本技术的一实施例中，上述的装载基板的运送车，还包括至少一驱动轮。驱动轮设置于底板上，用以顺利推动装载基板的运送车。 在本技术的一实施例中，上述的框架模块的材质为金属。 在本技术的一实施例中，上述的这些绝缘夹具的材质包括陶瓷。 基于上述，由于本技术的绝缘夹具能使这些基板与框架模块间呈现电性绝缘状态，因此当两个或两个以上的基板碰触到电极板时，电流不会通过这些基板，可以避免这些基板因电流加热而产生爆板的现象。为让本技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细i兌明如下。附图说明图1为传统的一种对装载电路板的运送车上的电路板进行等离子处理的 示意图。图2A为本技术的一实施例的一种装载基净反的运送车的示意图。 图2B为对图2A的装载基板的运送车上的基板进行等离子处理的示意图。主要元件符号说明10:等离子清洁室12:电极板20:电路板100:装载电路板的运送车110:底板120:框架122:金属夹具130:驱动轮200:装载基板的运送车210:框架模块212:底板214:上框架216:下框架218:侧框架220:绝纟彖夹具222:固定部224:夹持部230:驱动轮300:基板400:等离子清洁室410:电极板S:容置空间具体实施方式图2A为本技术的一实施例的一种装载基^^反的运送车的示意图，图 2B为对图2A的装载基板的运送车上的基板进行等离子处理的示意图。在此 必须说明的是，为了方便说明起见，图2A省略所示为部分基板，图2B省5略所示为部分框架模块。请同时参考图2A与图2B,在本实施例中，装载基 板的运送车200适于将多个基板300 (图2B中仅示意地所示为五个)运送 至一等离子清洁室400,用以清洁这些基板300的表面，其中等离子清洁室 400具有多个平行排列的电扨i反410 (图2B中4叉示意地所示为五个)，这些 基板300例如是电路板或待清洁的物体。装载基板的运送车200包括一框架模块210以及多个绝缘夹具220 (图 2B中仅示意地所示为十个)。框架模块210具有一底板212、彼此相对的一 上框架214与一下框架216以及多个侧框架218。底才反212、上框架214与 下框架216相互平行排列。这些侧框架218垂直连4妻底板212、上框架214 与下框架216,其中这些侧框架218、上框架214与下框架216形成一容置 空间S，用以并排放置这些基板300 (图2A仅示意地所示为二个)。在本实 施例中，框架模块210的材质为金属。具体而言，在本实施例中，这些侧框架218、上框架214、下框架216 与底板212为一体成型的结构，也就是说，这些侧才医架218、上框架214、 下框架216与底板212均是由金属材质所构成。在其他未所示为的实施例中， 这些侧框架218、上框架214、下框架216与底4反212也可以是可拆卸式的 构件。另外，绝缘夹具220配置于框架模块210上，且绝缘夹具220分别固定 于上框架214与下框架216。详细地说，每一绝缘夹具220包括一固定部222 以及一夹持部224，其中夹持部224连接于固定部222。这些固定部222分 别固定于上框架214与下框架216,而这些夹持部224分别夹持这些基板300 的相对两侧缘，用以将这些基板300 (图2A仅示意地所示为二个)并排固 定于容置空间S内。在本实施例中，这些绝缘夹具220的材质例如是陶瓷或 耐高热、抗等离子蚀刻的材质。利用陶瓷所制成的绝缘夹具220除了电性绝 缘的功效之外，更具有耐热、抗腐蚀的特性，可承受高温的等离子气体而避 免劣化、老化现象发生，并可提高耐腐蚀性以及使用寿命。具体来说,在本实施例中，这些固定部222分别对称地固定于上框架214 与下框架216,且这些夹持部224分别将这些基板300固定悬挂于这些侧框 架218、上框架214与下框架216所组成的容置空间S内。由于这些这些固 定部222分别对称地固定于上框架214与下框架216，因此这些基板300能 稳固地并排于容置空间S内。此外，在本实施例中，装载基板的运送车200，还包括至少一驱动4仑230 (图2A仅示意地所示为二个)。驱动轮230设置于底板212上，用以顺利推 动装载基板的运送车200。当装载基板的运送车200借由驱动轮230将这些基板300运送至等离子 清洁室400时，等离子清洁室400内的这些电极本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种装载基板的运送车，适于将多个基板运送至一等离子清洁室，用以清洁该些基板的表面，其特征在于，该等离子清洁室具有多个平行排列的电极板，该装载基板的运送车包括：　一框架模块，具有彼此相对的一上框架与一下框架；以及　多个绝缘夹具，配 置于该框架模块上，并分别固定于该上框架与该下框架，用以夹持该些基板，并分别电性绝缘于该些基板与该些电极板之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈侹叡，
申请(专利权)人：欣兴电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]