玻璃基板运送台车制造技术

本发明专利技术提供一种可减少收纳于玻璃基板收纳盒的大型玻璃基板上的异物附着并将其无损伤地运送的玻璃基板运送台车。收纳于玻璃基板收纳盒中的玻璃基板为一边的长度至少为1000mm、厚度超过10mm的大型方形玻璃基板，其特征是，包括能用叉状运送手段处理的框体；在该框体下部设置的车轮部；在将所述玻璃基板收纳盒进行固定保持的同时，由可以将运送时所述玻璃基板收纳盒以及所述方形玻璃基板产生的冲击进行减缓的弹簧常数不同的至少两种弹性体构成的冲击减缓机构。至少一个弹性体优选使用在受到2G冲击时该基板盒的伸缩量为20～30mm的金属弹簧。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种可减少收纳于玻璃基板收纳盒的大型玻璃基板上的异物附着并将其无损伤地运送的玻璃基板运送台车。收纳于玻璃基板收纳盒中的玻璃基板为一边的长度至少为1000mm、厚度超过10mm的大型方形玻璃基板，其特征是，包括能用叉状运送手段处理的框体；在该框体下部设置的车轮部；在将所述玻璃基板收纳盒进行固定保持的同时，由可以将运送时所述玻璃基板收纳盒以及所述方形玻璃基板产生的冲击进行减缓的弹簧常数不同的至少两种弹性体构成的冲击减缓机构。至少一个弹性体优选使用在受到2G冲击时该基板盒的伸缩量为20～30mm的金属弹簧。【专利说明】玻璃基板运送台车
本专利技术涉及在液晶显示器等的制造时作为灰尘除去器适用的光刻用防尘薄膜组件的制造中使用的、特别是运送大型的玻璃基板的运送台车。
技术介绍
LS1、超LSI等的半导体制造或液晶显示器等的制造中，要对半导体晶圆或液晶用原板进行光照射以制作图案，此时使用的光掩模或中间掩模(以下称“光掩模”)上如有灰尘附着，该灰尘就会对光进行吸收，或使光弯曲，由此转印的图案发生变形，边沿不齐，另外，还会造成基地发黑等，从而使尺寸、品质、外观等受损。因此，这样的操作通常在无尘室中进行，即使如此，要始终保持光掩模的清洁也是困难的，所以要在光掩模表面贴附作为除灰尘的防尘薄膜组件后在进行曝光。在该场合下，灰尘等异物就不会在光掩模的表面上直接附着，而附着在防尘薄膜组件上，在光刻时只要将焦点对准在光掩模的图案即可，防尘薄膜组件上的异物就与转印无关了。这样的防尘薄膜组件一般将由透光良好的硝化纤维素、醋酸纤维素或氟树脂等构成的透明防尘薄膜组件膜贴附或接着在由铝合金、不锈钢、聚乙烯等构成的防尘薄膜组件框架的上端面而成。另外，在防尘薄膜组件框架的下端具有为了进行光掩模装着的由聚丁烯树脂、聚醋酸乙烯基树脂、丙烯酸树脂等构成的粘着层以及以粘着层的保护为目的离型层(剥离片)。虽然这样的防尘薄膜组件在掩模贴附后对于防止异物从外部侵入封闭的内部的侵入是有效的，但是如在防尘薄膜组件本身有异物附着，而且该异物处于封闭的内部的情况下，难以防止异物向光掩模的异物附着。因此，不仅对于防尘薄膜组件本身，对于在构成防尘薄膜组件的防尘薄膜的制造中使用的玻璃基板也要求具有高的清洁性。最近，由于大型大画面的液晶显示器面板等的出现，在玻璃基板的表面具有遮光膜以及抗蚀膜叠层的掩模板以及有图案化的遮光膜形成的转印掩模等，为具有一边为700mm以上的大型尺寸的基板，对该基板进行表面不附着灰尘、污垢等且也没有损伤的运送的基板运送盒是已知的。例如，在专利文献I中记载了一种使具有轮的基板保持具从密闭型的收纳箱的侧方可收可放的基板运送盒。在该基板运送盒中，收纳箱内部的底面配置有橡胶材料等形成的可挠性的气体管，该气体管在运送中可以减轻震动。但可挠性的气体管对由于地板以及道路的凹凸所产生的冲击的缓和效果不够，另外，橡胶素材料随着时间的变化具有冲击减缓效果逐渐减弱的问题。另一方面，作为运送大型的玻璃基板的玻璃基板运送台车，为了对运送时的由于地板以及道路的凹凸而受到的冲击进行减缓，在台车以及玻璃基板收纳盒之间作为冲击减缓材料夹入正方体的泡沫聚氨酯的运送台车也是已知的。但是，即使使用该泡沫聚氨酯的冲击减缓材料的运送台车，在运送时在盒盖上使用的螺钉等会附着灰尘，在玻璃基板上会附着大量的异物，所以极少用于作为防尘薄膜组件膜的制造时使用的玻璃基板。另外，泡沫聚氨酯，也会随着时间的经过而老化，其冲击减缓效果也会逐渐减少，会由于弯曲玻璃基板收纳盒发生横向错离等，从而发生玻璃基板的损伤。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2007-250688号公报
技术实现思路
因此，本专利技术就是要解决这样的问题，其目的是提供一种在大型玻璃基板运送时既可以减少在玻璃基板收纳盒以及玻璃基板上产生的冲击，也可以减少异物的附着，并且不发生由于横向错离产生的玻璃基板损伤的玻璃基板运送台车。本专利技术的玻璃基板运送台车为运送在玻璃基板收纳盒中收纳的一边的长度为至少1000mm、厚度超过IOmm的大型方形玻璃基板运送台车，其特征在于:具有可用叉状运送手段处理的框体；在该框体的下部设置的车轮部；在将所述玻璃基板收纳盒固定保持的同时，对在运送时所述玻璃基板收纳盒以及所述方形玻璃基板上所产生的冲击进行减缓的弹簧常数不同的至少两种弹性体构成的冲击减缓机构。另外，本专利技术优选在至少两种弹性体中至少一个弹性体，其在装载玻璃基板收纳盒时的自重下沉量为10?15mm的范围，在2G的冲击时的伸缩量为20?30mm的金属弹簧，与金属弹簧配合的弹性体，优选选自金属弹簧、空气弹簧或者防震橡胶。专利技术效果根据本专利技术，具有本专利技术的冲击减缓机构的玻璃基板运送台车，在可以对运送时的冲击减缓的同时，还可以减少在玻璃基板收纳盒内中收纳的大型玻璃基板上的异物，并且可以对玻璃基板无损伤地保管以及运送。【专利附图】【附图说明】图1为处于承载了基板收纳盒状态的玻璃基板运送台车的正面图。图2为本专利技术的一个实施方式的图1的A-A截面图。 图3为本专利技术的冲击减缓机构的详细图。图4为比较例的冲击减缓机构的详细图。【具体实施方式】以下，参照附图对本专利技术的玻璃基板运送台车的一个实施方式进行说明，但是本专利技术并不限于此。图1为处于承载了玻璃基板收纳盒41的状态的运送台车11的正面图，图2为图1中的A-A截面的平面图。图1中，玻璃基板运送台车11，具有在运送时将玻璃基板收纳盒41进行固定保持的盒载置部12，可以用叉状运送手段处理的框体13，车轮部14以及在所述盒载置部12以及所述框体13之间设置的冲击减缓机构15。另外，所谓玻璃基板收纳盒41和盒载置部12，用称作弹簧锁的紧固夹具16以及旋钮螺丝等(未图示)加以固定。图2，为冲击减缓机构15的配置的平面图。冲击减缓机构15的配置以及个数以及弹性体的配合，可以根据玻璃基板收纳盒41以及玻璃基板的形状以及重量进行适宜设计，并不限于图2的形态。另外，在运送中，为了对异物的附着加以减低，优选玻璃基板收纳盒41用带电防止带等进行覆盖。框体13优选在其内侧具有可以用叉车卸下的梁(未图示)，另外，为了防止从车轮部14进入异物，优选安装塞板17。图3为本专利技术的冲击减缓机构15的详细图。本专利技术的冲击减缓机构15，在盒载置部12以及框体13之间设置，由可以对运送中发生的大约2G程度的冲击进行减缓的弹性体A21以及可以对2G以上的冲击进行减缓的弹性体B22构成。虽然运送中发生的所有的冲击可以用一个弹性体进行减缓，但是在该场合，如弹性体的伸缩范围变大，冲击减缓机构15的尺寸变大，重心变高，运送台车会不安定，这一方案并不优选。作为弹性体，可以从金属弹簧，空气弹簧，防震橡胶等中进行适宜选择，但是A21优选为随时间变化少的便宜的金属弹簧，弹性体B22选用防震橡胶为好。金属弹簧的选定，在将弹簧常数2.61kgf/mm以及4.06kgf/mm的金属弹簧分别安装,运送台车上装上基板盒进行上下动作的实验中得知，2.61kgf/mm的金属弹簧过软，而4.06kgf/mm的金属弹簧过硬，冲击减缓的效果不好，弹簧常数3.38kgf/mm的金属弹簧的场合，可以得到好的结果。对这样弹簧常数的自重伸缩量进行测试的结果，弹簧常数2.61kg本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种运送在玻璃基板收纳盒中收纳的一边的长度至少为1000mm、厚度超过10mm的大型方形玻璃基板运送台车，其特征在于：包括能用叉状运送手段处理的框体；在该框体的下部设置的车轮部；在将所述玻璃基板收纳盒进行固定保持的同时，由能将运送时对所述玻璃基板收纳盒以及所述方形玻璃基板产生的冲击进行减缓的、弹簧常数不同的至少两种弹性体构成的冲击减缓机构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：影山洋，
申请(专利权)人：信越化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP