【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种CIS产品TSV孔底部PAD表面绝缘层的刻蚀方法,其特征在于:其包括以下步骤:(1)、在晶圆背表面沉积第一绝缘层;(2)、通过黄光和蚀刻工艺刻蚀出TSV孔;(3)、在TSV孔内和第一上沉积第二绝缘层;(4)、对开TSV孔的一面进行整面刻蚀,将孔内PAD上面绝缘层去除。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:冯光建,张文奇,
申请(专利权)人:华进半导体封装先导技术研发中心有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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