【技术实现步骤摘要】
本专利技术是关于，特别是一种适用于高温下使用的感应线圈表面绝缘处理的方法，尤其是适用于在碳化硅、氮化铝晶体高温下生长使用的感应线圈表面绝缘处理的方法。
技术介绍
目前常规的感应线圈表面绝缘处理方法，一般是在感应线圈外表面涂刷绝缘漆、用绝缘带和/或玻璃丝布缠绕包扎。经过这样处理，感应线圈外表面绝缘性很好，也可以在真空状态下正常使用，解决了感应线圈"打弧"问题。但是，其中起可靠绝缘作用的绝缘漆耐温不高( 一般低于300°C )，对于更高温度的使用环境，这种绝缘处理方法就不够可靠。
技术实现思路
本专利技术针对常规感应线圈表面绝缘处理方法存在的缺陷，提出了一种适合于高温(大于300°C )下使用的中频感应线圈(频率1000-lOOOOHz)表面绝缘处理的方法。尤其是适用于在碳化硅、氮化铝晶体高温下生长使用的中频感应线圈表面绝缘处理的方法。 本专利技术是这样实现的将绕制成形的感应线圈外表面先进行酸洗、钝化，然后在感应线圈所有外表面均匀形成一层致密的耐高温绝缘层。该绝缘层的材质为釉质，其体电阻率大于106欧姆*厘米；绝缘层的形成方法可以用浸蘸、喷涂、涂敷和/或烧结；绝缘层的...
【技术保护点】
一种感应线圈表面绝缘处理的方法，具体步骤为：将绕制成形的感应线圈外表面先进行酸洗、钝化，然后在感应线圈外表面设置绝缘层，绝缘层材质为釉质。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈小龙，倪代秦，吴星，李河清，彭同华，李龙远，崔建利，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，北京天科合达蓝光半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。