【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种图案化石墨烯薄膜的制作方法，其特征在于，该方法包括：首先，在基板上形成一层石墨烯，并在所述石墨烯上涂布感光材料；之后，采用构图工艺使需要形成石墨烯薄膜图形区域的感光材料被去除；然后，将已去除感光材料后裸露的石墨烯氧化成氧化石墨烯层；然后，对整个基板进行超声波清洗，除去基板上未被氧化的石墨烯和该未被氧化的石墨烯上的感光材料；最后，将氧化石墨烯层还原成石墨烯层，得到所述石墨烯薄膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李鸿鹏，宋省勋，肖昂，李建，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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