多层封装薄膜制造技术

本发明专利技术提供一种多层封装薄膜和用于制备多层封装薄膜的方法和装置。所述多层封装薄膜包含含有金属氧化物的无机薄膜和含有聚合物的在所述有机薄膜上形成的有机薄膜，其中，所述无机薄膜和所述有机薄膜以多层结构形式交替堆叠。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种多层封装薄膜和用于制备多层封装薄膜的方法和装置。所述多层封装薄膜包含含有金属氧化物的无机薄膜和含有聚合物的在所述有机薄膜上形成的有机薄膜，其中，所述无机薄膜和所述有机薄膜以多层结构形式交替堆叠。【专利说明】多层封装薄膜 相关申请的交叉引用根据35USC119(a)，本申请要求在韩国知识产权局于2014年2月11日提交的韩国专利申请第10-2014-0015730号以及于2013年4月30日提交的韩国专利申请第10-2013-0047933号的权益，上述专利申请的公开内容通过引用并入本文以实现本专利技术的所有目的。
以下描述涉及多层封装薄膜以及制备所述多层封装薄膜的方法和装置。
技术介绍
诸如有机发光二极管(OLED)、有机光伏电池(0PV电池)等等有机设备含有有机材料和金属电极，所述金属电极容易被氧化并且具有低逸出功以利于通过有机材料进行电荷转移。因此，所述有机设备非常容易受到诸如水蒸气或氧之类的氧化性物质的侵害。所以，如果将其暴露于氧或蒸汽，可发生功率降低或性能提早退化。为了防止退化，需要使用能够完全隔离有机设备与水蒸气或氧的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多层封装薄膜，所述多层封装薄膜包含：无机薄膜，所述无机薄膜含有金属氧化物；以及有机薄膜，所述有机薄膜含有聚合物，并且所述有机薄膜在所述无机薄膜上形成，其中，所述无机薄膜和所述有机薄膜以多层结构形式交替堆叠。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵成珉，郑昊均，蔡熙烨，徐祥准，徐昇旴，
申请(专利权)人：成均馆大学校产学协力团，
类型：发明
国别省市：韩国;KR