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本发明提供一种多层封装薄膜和用于制备多层封装薄膜的方法和装置。所述多层封装薄膜包含含有金属氧化物的无机薄膜和含有聚合物的在所述有机薄膜上形成的有机薄膜，其中，所述无机薄膜和所述有机薄膜以多层结构形式交替堆叠。...
该专利属于成均馆大学校产学协力团所有，仅供学习研究参考，未经过成均馆大学校产学协力团授权不得商用。

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