本发明专利技术公开了一种吸液芯的制造方法，通过对板基打磨，配置液态光致抗蚀剂溶液，板基涂油墨，板基风干，吸液芯图样打印，板基曝光、显影，腐蚀溶液配置，板基腐蚀、脱模等步骤，即可实现结构复杂的吸液芯，为产品的研发初期节省成本，由于吸液芯的槽道轮廓是打印而来，因而当槽道形状参数如宽度、角度发生变化时，只需要更改图纸即可，从而可以大大节约产品研发初期的成本。本发明专利技术工艺设备简单低廉，技术手段简便易行，可以实现大批量生产，具有较高的市场的需求量。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及均热板部件的制造，尤其涉及。
技术介绍
随着光电领域科学技术的迅猛发展，光电产品，如LED照明及显示技术、超高性能 微机CPU技术已取得巨大进步，而相应的散热技术却远远跟不上光电产品的发展速度，散 热问题日益严重。 目前，最具发展潜力和前景的散热设备是均热板。均热板是一种用于提供大等温 面的相变传热元件，是平板热管的一种特殊形式，主要由壁壳、毛细吸液芯和工作介质组 成。其外部的热量通过蒸发面的壁壳和吸液芯传递到液体工质中，促使液态工质气化；气态 工质在冷凝面释放出热量后重新凝结为液体；液态工质在吸液芯中依靠毛细作用重新回流 到热源蒸发面处，完成一个工作循环，如此反复。 目前，均热板吸液芯的制作方法主要有粉末烧结。粉末烧结可以降低金属损耗，大 批量生产时，可以降低成本，但是其仍存在以下不足： 如果要求槽道的最小宽度是0. 15mm，则其模具的制造难度大。 粉末烧结模具的制造成本高，只适用于大批量生产，对于小批量产品或者产品的 研发阶段不适应。 粉末烧结工艺相对复杂，对设备要求高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的缺点和不足，提供一种制备工艺简单、造 价低廉的吸液芯的制造方法。 本专利技术通过下述技术方案实现： ，如下步骤： (1)板基打磨：板基表面用细砂纸打磨，使其表面无氧化、被均匀粗化、表面无水 迹； (2)配置液态光致抗蚀剂溶液：按体积百分比取85 %?95 %的液态光致抗蚀剂与 稀释剂混合； (3)板基涂油墨：用软排笔将步骤（2)中配置好的液态光致抗蚀剂溶液均匀的涂 抹到步骤（1)中板基的打磨一面； (4)板基风干：将经过步骤（3)处理的板基放入暗箱，室温20°C，风干1小时； (5)吸液芯图样打印：将吸液芯图样用激光打印机打印在投影胶片； (6)板基曝光：将步骤（5)中吸液芯图样的投影胶片，覆盖在经过步骤⑷处理 后、板基涂有液态光致抗蚀剂溶液的一面上，然后连同板基放置在紫外线灯下曝光； (7)板基显影：将20g显影剂放入温度为20°C的500ml水中，搅拌均匀后，将步骤 (6)中完成曝光的板基放入清洗；5分钟后吸液芯图样显现； (8)完成步骤（7)后，待板基干燥，将步骤（2)中配置好的液态光致抗蚀剂溶液均 匀的涂抹到板基的另一面及边缘，板基放在阳光下晾晒至板基干燥； (9)腐蚀溶液配置：将三氯化铁与蒸馏水混合，得到腐蚀溶液； (10)板基腐蚀：将经过步骤⑶处理后的板基放入步骤（9)中的腐蚀液，用风扇 注风使腐蚀液流动，腐蚀100分钟?2. 5小时，腐蚀液温度控制在20°C?60°C ; (11)板基脱模：将20g显影剂放入温度为50°C的500ml水中，搅拌均勻，再将经过 步骤（10)处理的板基放入；5分钟后取出，得到所需图样的吸液芯。 所述步骤（9)腐蚀溶液，是三氯化铁与蒸馏水按浓度20%?80%进行配制。 所述步骤（6)中所述曝光的时间为15分钟。 所述板基采用铜板，如紫铜板或者黄铜板等。 本专利技术相对于现有技术，具有如下的优点及效果： 本专利技术通过化学腐蚀的方法，利用简单的生产设备，快速地制出所需形状图案的 槽道，如叶脉形状的槽道可以做到宽度在0. 15mm以上，槽道深度70 μ m至500 μ m的吸液 芯。为产品的研发初期节省成本，由于吸液芯的槽道轮廓是打印而来，因而当槽道的宽度、 深度或者角度等发生变化时，只需要更改图纸即可，从而可以大大节约产品研发初期的成 本。 本专利技术工艺设备简单低廉，技术手段简便易行，可以实现大批量生产，具有较高的 市场的需求量。 【附图说明】 图1是采用本专利技术制造方法，所制得的具有叶脉形状槽道的吸液芯；其他形状可 根据实际需要，改变图样即可得到所需形状。 图2是图1局部放大示意图；图中：1为抗腐蚀模；2为立柱；3为槽道。 【具体实施方式】 下面结合具体实施例对本专利技术作进一步具体详细描述。 实施例 如图1、2所示。本专利技术吸液芯的制造方法，采用下述步骤： (1)板基打磨：板基表面用细砂纸打磨，使其表面无氧化、被均匀粗化、表面无水 迹；板基可选用铜板，如紫铜板或者黄铜板。板基形状可根据要求配备。 (2)配置液态光致抗蚀剂溶液：按体积百分比取85 %?95 %的液态光致抗蚀剂与 稀释剂混合； (3)板基涂油墨：用软排笔将步骤（2)中配置好的液态光致抗蚀剂溶液均匀的涂 抹到步骤（1)中板基的打磨一面； (4)板基风干：将经过步骤（3)处理的板基放入暗箱，室温20°C，风干1小时； (5)吸液芯图样打印：将吸液芯图样用激光打印机打印在投影胶片； (6)板基曝光：将步骤（5)中吸液芯图样的投影胶片，覆盖在经过步骤（4)处理 后、板基涂有液态光致抗蚀剂溶液的一面上，然后连同板基放置在紫外线灯下曝光；曝光的 时间根据紫外线灯瓦数决定，如为8W时，曝光时间为12分钟一15分钟左右。 (7)板基显影：将20g显影剂放入温度为20°C的500ml水中，搅拌均匀后，将步骤 (6)中完成曝光的板基放入清洗；5分钟后吸液芯图样显现； (8)完成步骤（7)后，待板基干燥，将步骤（2)中配置好的液态光致抗蚀剂溶液均 匀的涂抹到板基的另一面及边缘，板基放在阳光下晾晒至板基干燥； (9)腐蚀溶液配置：将三氯化铁与蒸馏水混合，得到腐蚀溶液； (10)板基腐蚀：将经过步骤（8)处理后的板基放入步骤（9)中的腐蚀液，用风扇 注风使腐蚀液流动，腐蚀100分钟?2. 5小时，腐蚀液温度控制在20°C?60°C ; (11)板基脱模：将20g显影剂放入温度为50°C的500ml水中，搅拌均匀，再将经过 步骤（10)处理的板基放入；5分钟后取出，得到所需图样的吸液芯。 所述步骤（9)腐蚀溶液，是三氯化铁与蒸馏水按浓度20%?80%进行配制。 本专利技术的板基尺寸可以选如图1所述的圆形，直径为40mm?100mm，厚度为1mm? 2mm，材质为黄铜或者紫铜。如图2所示，槽道3的宽度0· 15mm，去除深度达到70μπι至 500 μ m。 以下几个实施例：通过板基在腐蚀溶液内腐蚀的具体时间、以及腐蚀溶液的配制、 腐蚀溶液的温度等分配，说明得到所需吸液芯的槽道宽度。 实施例1:三氯化铁与蒸馏水按浓度20%进行配制腐蚀溶液；腐蚀温度为60°C;腐 蚀时间为2小时，最小槽道宽度为0· 13mm。 实施例2:三氯化铁与蒸馏水按浓度20%进行配制腐蚀溶液；腐蚀温度为40°C;腐 蚀时间为2. 5小时，最小槽道宽度为0· 13mm。 实施例3:三氯化铁与蒸馏水按浓度20%进行配制腐蚀溶液；腐蚀温度为20°C;腐 蚀时间为3小时，最小槽道宽度为0· 13mm。 实施例4:三氯化铁与蒸馏水按浓度20%进行配制腐蚀溶液；腐蚀温度为60°C;腐 蚀时间为2小时，最小槽道宽度为0· 1mm。 实施例5:三氯化铁与蒸馏水按浓度40%进行配制腐蚀溶液；腐蚀温度为60°C;腐 蚀时间为100分钟，最小槽道宽度为〇· 13mm。 实施例6:三氯化铁与蒸馏水按浓度40%进行配制腐蚀本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种吸液芯的制造方法，其特征在于如下步骤：(1)板基打磨：板基表面用细砂纸打磨，使其表面无氧化、被均匀粗化、表面无水迹；(2)配置液态光致抗蚀剂溶液：按体积百分比取85％～95％的液态光致抗蚀剂与稀释剂混合；(3)板基涂油墨：用软排笔将步骤(2)中配置好的液态光致抗蚀剂溶液均匀的涂抹到步骤(1)中板基的打磨一面；(4)板基风干：将经过步骤(3)处理的板基放入暗箱，室温20℃，风干1小时；(5)吸液芯图样打印：将吸液芯图样用激光打印机打印在投影胶片；(6)板基曝光：将步骤(5)中吸液芯图样的投影胶片，覆盖在经过步骤(4)处理后、板基涂有液态光致抗蚀剂溶液的一面上，然后连同板基放置在紫外线灯下曝光；(7)板基显影：将20g显影剂放入温度为20℃的500ml水中，搅拌均匀后，将步骤(6)中完成曝光的板基放入清洗；5分钟后吸液芯图样显现；(8)完成步骤(7)后，待板基干燥，将步骤(2)中配置好的液态光致抗蚀剂溶液均匀的涂抹到板基的另一面及边缘，板基放在阳光下晾晒至板基干燥；(9)腐蚀溶液配置：将三氯化铁与蒸馏水混合，得到腐蚀溶液；(10)板基腐蚀：将经过步骤(8)处理后的板基放入步骤(9)中的腐蚀液，用风扇注风使腐蚀液流动，腐蚀100分钟～2.5小时，腐蚀液温度控制在20℃～60℃；(11)板基脱模：将20g显影剂放入温度为50℃的500ml水中，搅拌均匀，再将经过步骤(10)处理的板基放入；5分钟后取出，得到所需图样的吸液芯。...
【技术特征摘要】
1. 一种吸液芯的制造方法，其特征在于如下步骤： (1) 板基打磨：板基表面用细砂纸打磨，使其表面无氧化、被均匀粗化、表面无水迹； (2) 配置液态光致抗蚀剂溶液：按体积百分比取85 %?95 %的液态光致抗蚀剂与稀释 剂混合； (3) 板基涂油墨：用软排笔将步骤（2)中配置好的液态光致抗蚀剂溶液均匀的涂抹到 步骤（1)中板基的打磨一面； (4) 板基风干：将经过步骤（3)处理的板基放入暗箱，室温20°C，风干1小时； (5) 吸液芯图样打印：将吸液芯图样用激光打印机打印在投影胶片； (6) 板基曝光：将步骤（5)中吸液芯图样的投影胶片，覆盖在经过步骤（4)处理后、板 基涂有液态光致抗蚀剂溶液的一面上，然后连同板基放置在紫外线灯下曝光； (7) 板基显影：将20g显影剂放入温度为20°C的500ml水中，搅拌均匀后，将步骤（6) 中完成曝光的板基放入清洗；5分钟后吸液芯图样显现； (8) 完成步骤（...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘旺玉，刘彬，黄凯东，彭毅，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：发明
国别省市：广东;44
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