本发明专利技术涉及干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及电子设备。波长可变干涉滤波器（5），具备：固定基板（51）；设置于固定基板（51）、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的固定反射膜（54）；与固定反射膜（54）对置、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的可动反射膜（55）；设置于固定反射膜（54）的周围，具备光吸收层（571）和金属层（572）的固定电极（561），光吸收层（571）相比金属层（572）设置于距离固定基板（51）近的位置。
【技术实现步骤摘要】
干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及电子设备
本专利技术涉及干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及电子设备。
技术介绍
过去，已知一种波长可变干涉滤波器，具有相互对置的一对反射膜，通过使该反射 膜间的距离发生变化，从测定对象的光中取出规定波长的光(例如，参照专利文献1)。波长 可变干涉滤波器，对置配置一对反射膜，通过使入射的光发生干涉，使对应于反射膜间空隙 的尺寸的波长的光透过。 在这种波长可变干涉滤波器中，未通过一对反射膜所对置配置的区域的光，即未 被分光的光，透过波长可变干涉滤波器，由受光器接收时，分光精度下降。 为了抑制这种分光精度的下降，在专利文献1中，将为了用于使反射膜间的空隙 尺寸发生变化而设置的金属电极作为孔径(光圈）而使用。 现有技术文献 专利文献 专利文献1 :日本特开2003-57571号公报
技术实现思路
(专利技术所要解决的课题） 但是，在专利文献1中，作为孔径而使用的金属电极，由反射率比较高的金属材料 (例如，铝、金、铬及钛等）形成。因此，将金属电极作为孔径而使用的情况下，存在入射的光 发生反射而产生反射光的可能。并且，该反射光通过封入有波长可变干涉滤波器的壳体或 具备该波长可变干涉滤波器的光学模块等的装置的内壁等反射而成为杂散光，被受光器接 收，分光精度有可能下降。 本专利技术的目的在于提供一种能够抑制杂散光的产生的干涉滤波器、光学滤波器装 置、光学模块及电子设备。 (解决课题的技术方案） 本专利技术的干涉滤波器，其特征在于，具备：基板；设置于所述基板、使入射光的一 部分反射、至少一部分透过的第一反射膜；与所述第一反射膜对置、使入射光的一部分反 射、至少一部分透过的第二反射膜；设置于所述第一反射膜的周围，具备光吸收层和金属层 的第一电极，所述光吸收层，相比所述金属层，设置于距离所述基板近的位置。 在本专利技术中，第一电极设置于第一反射膜的周围。该第一电极，具备设置于基板侧 的光吸收层和相对于光吸收层而设置于基板的相反侧的金属层。 如此构成的第一电极，作为通过其内周缘而规定入射至第一反射膜的光的入射范 围的孔径而发挥作用。如此，通过规定入射至第一反射膜的光的入射范围，能够抑制光入射 至不与反射膜对置的区域等，能够抑制分光精度的下降。 此外，在第一电极中，由于透过基板、入射至第一电极的光吸收层的光，被光吸收 层吸收，因此能够降低被金属层反射而再次射向基板侧的光的光量。由此，能够抑制由于第 一电极的金属层的反射所产生的杂散光，能够抑制分光精度的降低。 在本专利技术的干涉滤波器中，优选：所述第一电极中的内周缘的至少一部分与所述 第一反射膜接触。 在本专利技术中，第一电极的内周缘的至少一部分与第一反射膜接触。由此，由于第一 电极和第一反射膜的一部分重合，因此在第一反射膜和第一电极之间没有间隙，能够抑制 光从该间隙透过。 在本专利技术的干涉滤波器中，优选：所述第一电极以框状包围所述第一反射膜。 在本专利技术中，第一电极以框状包围第一反射膜地构成，以第一电极包围第一反射 膜的周围的方式配置。由此，第一电极作为孔径，其遮光性能提高，能够更有效地抑制分光 精度的下降。 在本专利技术的干涉滤波器中，优选具备可动部，所述可动部，设置有所述第二反射 膜，在所述第二反射膜的厚度方向能够位移地设置，从所述厚度方向观察时，所述第一反射 膜和所述第一电极的外周缘的最小距离，大于所述第一反射膜和所述可动部的外周缘的最 小距离。 在本专利技术中，构成为：从第二反射膜的度方向观察时（即，从基板的厚度方向观察 的俯视中)，第一反射膜和第一电极的外周缘的最小距离，大于第一反射膜和可动部的外周 缘的最小距离。换言之，第一电极，在上述俯视中，从可动部的外周缘的内侧跨至外侧而设 置，第一电极的外周缘相比可动部的外周缘而位于外侧。因此，能够抑制光向可动部的外周 缘的入射，能够抑制杂散光。 在本专利技术的干涉滤波器中，优选具备应力缓和膜，所述应力缓和膜与所述第一电 极对置地设置在所述基板的设置有所述第一电极的面的相反面，所述应力缓和膜，具备：两 个光吸收层和设置于所述两个光吸收层之间的金属层。 在本专利技术中，在基板上，在设置有第一电极的面的相反面上与第一电极对置地设 置有应力缓和膜，并且应力缓和膜具备两个光吸收层和设置于光吸收层之间的金属层。 这样，应力缓和膜由于具备与第一电极同样的金属层，所以通过与第一电极的金 属层产生的内部应力大致相同大小的内部应力，能够抵消对于基板的应力，从而能够抑制 基板的变形。 此外，应力缓和膜具备夹持金属膜的一对光吸收层。基板侧的光吸收层能够吸收 来自基板侧的入射光，即便在向干涉滤波器的入射光的一部分入射至应力缓和膜的情况 下，也能够通过另一方的光吸收层将其吸收。 如上所述，根据本专利技术的应力缓和膜，在缓和第一电极产生的应力的同时，能够更 加可靠地抑制杂散光。 在本专利技术的干涉滤波器中，优选：所述第一反射膜具有导电性，所述第一电极与所 述第一反射膜导通。 在本专利技术中，由于第一反射膜和第一电极导通，因此能够经由第一电极将第一反 射膜作为电极使用。此外，通过将第一电极设定为例如接地电位，也能够除去第一反射膜的 带电。 在本专利技术的干涉滤波器中，优选：所述第二反射膜具有导电性，具备连接于所述第 二反射膜的镜电极。 在本专利技术中，由于第二反射膜连接至镜电极，因此能够使第二反射膜作为电极而 发挥作用。这种情况下，例如，使第一电极及镜电极为相同电位(例如，接地电位)，能够抑制 第一反射膜及第二反射膜间的静电力的产生。此外，也可以使第一反射膜及第二反射膜作 为静电电容的检测用电极发挥作用。此外，也能够将驱动电压施加于第一反射膜及第二反 射膜之间，这种情况下，也能够使其作为用于变更第一反射膜及第二反射膜的空隙的尺寸 的驱动电极而发挥作用。 [0031 ] 在本专利技术的干涉滤波器中，优选：具备第二电极，所述第二电极设置于所述可动部 上，与所述第一电极的至少一部分对置。 在本专利技术中，通过第一电极和第二电极，能够构成变更反射膜间空隙的尺寸的空 隙变更部。由此，由于没有必要分别设置驱动电极和作为孔径的第一电极，因此能够实现干 涉滤波器的小型化。 在本专利技术的干涉滤波器中，优选：所述第二电极具备电独立的多个部分电极，所述 第一电极是所述多个部分电极的公用电极。 在本专利技术中，使第一电极作为这些部分电极的公用电极，通过对各部分电极分别 设定不同的电位，从而在各部分电极和第一电极之间，能够分别作用不同的静电引力。艮P， 能够通过多个部分电极和与其对置的第一电极，构成多个静电激励器，能够高精度地控制 反射膜间的空隙的尺寸。 在本专利技术的干涉滤波器中，优选：所述基板通过玻璃材料形成，所述光吸收层通过 TiW、TiN、NiCr、Ti02、A1203、MgF2、Nd 203及Ta205中的至少一种形成于所述基板上，所述金属 层形成于所述光吸收层上。 在本专利技术中，基板由玻璃材料形成。此外，光吸收层通过TiW、TiN、NiCr、Ti02、 Al203、MgF2、Nd203及Ta 205中的至少一种形成于基板上。此外，金属层形本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种干涉滤波器，其特征在于，具备：基板；第一反射膜，设置在所述基板上；第二反射膜，与所述第一反射膜对置；以及第一电极，设置于所述第一反射膜的周围，并且具备光吸收层和金属层，其中，所述光吸收层比所述金属层设置在距离所述基板更近的位置。
【技术特征摘要】
2013.03.18 JP 2013-0546781. 一种干涉滤波器，其特征在于，具备： 基板； 第一反射膜，设置在所述基板上； 第二反射膜，与所述第一反射膜对置；以及 第一电极，设置于所述第一反射膜的周围，并且具备光吸收层和金属层， 其中，所述光吸收层比所述金属层设置在距离所述基板更近的位置。2. 根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，所述第一电极的内周缘的至少一 部分与所述第一反射膜接触。3. 根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，所述第一电极以框状包围所述第 一反射膜。4. 根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，具备： 可动部，设置有所述第二反射膜，并且被设置为能够在所述第二反射膜的厚度方向上 位移， 其中，从所述厚度方向观察时，所述第一反射膜和所述第一电极的外周缘的最小距离 大于所述第一反射膜和所述可动部的外周缘的最小距离。5. 根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，具备： 应力缓和膜，与所述第一电极对置地设置在所述基板的设置有所述第一电极的面的相 反面上， 其中，所述应力缓和膜具备两个光吸收层和设置于所述两个光吸收层之间的金属层。6. 根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于， 所述第一反射膜具有导电性，并且 所述第一电极与所述第一反射膜导通。7. 根据权利要求6所述的干涉滤波器，其特征在于， 所述第二反射膜具有导电性，并且 所述干涉滤波器具备连接至所述第二反射膜的镜电极。8. 根据权利要求4所述的干涉滤波器，其特征在于，具备： 第二电极，设置在所述可动部上，并且与所述第一电极的至少一部分对置。9. 根据权利要求8所述的干涉滤波器，其特征在于， 所述第二电极具备电独立的多个部分电极，并且 所述第一电极为所述多个部分电极的公用电极。10. 根据权利要求1所述的干涉滤波器...
【专利技术属性】
技术研发人员：佐野朗，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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