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本发明涉及干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及电子设备。波长可变干涉滤波器（5），具备：固定基板（51）；设置于固定基板（51）、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的固定反射膜（54）；与固定反射膜（54）对置、使入射光的一部分反射、至...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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