光学滤波器装置、光学模块以及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种光学滤波器装置、光学模块以及电子设备。该光学滤波器装置具备：壳体，具有能使光射入内侧的光通过孔；光圈，设置于壳体的外侧，用于限制向光通过孔射入的光；以及干涉滤波器，设置于壳体的内侧，具备固定反射膜以及与固定反射膜相对的可动反射膜，其中，在从膜厚方向观察固定反射膜以及可动反射膜的俯视观察中，光圈的开口、光通过孔和固定反射膜以及可动反射膜被设置为重叠，在将靠近光通过孔的固定反射膜的直径设为Φm、将光通过孔的口径设为Φp、将光圈的开口直径设为Φa时，满足Φa<Φm<Φp的关系。

【技术实现步骤摘要】
光学滤波器装置、光学模块以及电子设备
[0001 ] 本专利技术涉及光学滤波器装置、光学模块以及电子设备。
技术介绍
在现有技术中，已知有在一对基板的彼此相对的面上隔着规定间隙分别相对配置有反射膜的干涉滤波器。此外，还已知有将这样的干涉滤波器收纳于壳体内的光学滤波器装置(例如，参照专利文献I)。 该专利文献I记载的光学滤波器装置具备具有板状的基底、以及圆筒状的盖部的封装(壳体)。该壳体中，基底的周缘部分和盖部的圆筒一端部以焊接或粘着的方式连接，在基底部和盖部之间设置有用于收纳干涉滤波器的空间。此外，盖部的与基底部相对的上表面上设置有孔，在该孔中设置有用于使光通过的窗部。 在先技术文献 专利文献 专利文献1:日本专利特开2008-70163号公报 在这样的光学滤波器装置中，在反射膜上反射射入的光的一部分。在具有入射角度的情况下，在反射膜的表面反射的光在干涉滤波器或封装的内部反复反射而成为杂散光，会在未被分光的状态下从光学滤波器装置射出。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供可以抑制杂散光的产生的光学滤波器装置、光学模块以及电子设备。 本专利技术的光学滤波器装置其特征在于，具备:壳体，具有能使光射入内侧的入射光通过孔；光圈，设置于所述壳体的外侧，用于限制向所述入射光通过孔射入的光；以及干涉滤波器，设置于所述壳体的内侧，具备第一反射膜以及与所述第一反射膜相对的第二反射膜，其中，在从膜厚方向观察所述第一反射膜以及所述第二反射膜的俯视观察中，所述光圈的开口、所述入射光通过孔、和所述第一反射膜以及所述第二反射膜被设置为重叠，在将靠近所述入射光通过孔的所述第一反射膜的直径设为Φπκ将所述入射光通过孔的口径设为φρ、将所述光圈的开口直径设为Oa时，所述光学滤波器装置满足Φ8〈Φπι〈Φρ的关系。 通过入射光通过孔射入至第一反射膜的入射光在第一反射膜的表面反射。这里，在Φρ〈Φπι的情况下，反射后的光的一部分通过入射光通过孔射出到光学滤波器装置的外部，但是，剩余的大部分则碰到位于入射光通过孔的周围的壳体的内壁而再次反射，成为杂散光的可能性高。 针对于此，根据本专利技术，满足Φ8〈Φπι〈Φρ的关系，因此，在第一反射膜上反射的光的大部分通过入射光通过孔，射出到光学滤波器装置的外部、或者碰到在所述俯视观察中位于入射光通过孔内的光圈的表面而被吸收。由此，可以抑制杂散光的产生。此外，无需设置用于高精度地控制射入第一反射膜的光的入射角度的透镜、或对壳体的内壁实施防反射处理，可以降低成本。 在本专利技术的光学滤波器装置中，优选所述光圈的开口、所述入射光通过孔、所述第一反射膜、以及所述第二反射膜的在所述俯视观察中的各中心点位于同一轴上。 根据本专利技术，在第一反射膜上反射的光的大部分更加可靠地通过入射光通过孔，射出到光学滤波器装置的外部、或者碰到在所述俯视观察中位于入射光通过孔内的光圈的表面而被吸收。 在本专利技术的光学滤波器装置中，优选在将从所述入射光通过孔射入所述第一反射膜的光的入射角度设为Θ、将从所述第一反射膜至所述光圈的距离设为d时，所述光学滤波器装置满足(Φρ-ΦπΟ >2dtan Θ的关系。 根据本专利技术，在第一反射膜上反射的光全部通过入射光通过孔，因此，不会碰到壳体的内壁，可以更可靠地抑制杂散光的产生。 在本专利技术的光学滤波器装置中，优选满足(Φι?-Φβ) >2dtan Θ的关系。 根据本专利技术，通过入射光通过孔射入的光全部射入第一反射膜。由此，可以抑制通过入射光通过孔射入的光未射入第一反射膜而在干涉滤波器或壳体的内部反复反射而成为杂散光。 在本专利技术的光学滤波器装置中，优选在所述壳体的外侧设置有用于覆盖所述入射光通过孔的透光基板，所述光圈设置于所述透光基板。 根据本专利技术，例如可以通过膜来构成光圈，可以很薄。由此，可以使光学滤波器装置实现薄型化。 在本专利技术的光学滤波器装置中，优选在所述透光基板中的与所述第一反射膜相对的面上设置有反射防止膜。 根据本专利技术，可以抑制在第一反射膜上反射并通过入射光通过孔的光在透光基板的表面反射而成为杂散光。 在本专利技术的光学滤波器装置中，优选所述光圈中的与所述第一反射膜相对的面的光反射率为1%以下。 根据本专利技术，可以抑制在第一反射膜上反射并通过入射光通过孔的光在光圈的所述面上反射而成为杂散光。 在本专利技术的光学滤波器装置中，优选所述壳体具有出射光通过孔，相对于所述第一反射膜以及所述第二反射膜，所述出射光通过孔位于与所述入射光通过孔相反的一侧，在所述俯视观察中，所述出射光通过孔与所述第一反射膜以及所述第二反射膜重叠，在将所述出射光通过孔的口径设为Φο时，所述光学滤波器装置满足Φο〈Φρ的关系。 根据本专利技术，与Φο兰Φρ的情况相比，可以缩小Φο，因此，可以降低通过出射光通过孔从光学滤波器装置射出的杂散光。此外，在通过玻璃基板等透光性基板来封闭出射光通过孔而密封壳体内的情况下，可以缩小出射光通过孔的口径，密封区域的面积也可以与之相应地缩小，可以实现壳体内的气密性的提高。 本专利技术的光学模块其特征在于，具备:壳体，具有能使光射入内侧的入射光通过孔；光圈，设置于所述壳体的外侧，用于限制向所述入射光通过孔射入的光；干涉滤波器，设置于所述壳体的内侧，具备第一反射膜以及与所述第一反射膜相对的第二反射膜；以及检测部，对由所述干涉滤波器提取的光进行检测，其中，在从膜厚方向观察所述第一反射膜以及所述第二反射膜的俯视观察中，所述光圈的开口、所述入射光通过孔、和所述第一反射膜以及所述第二反射膜被设置为重叠，在将靠近所述入射光通过孔的所述第一反射膜的直径设为ΦΠΚ将所述入射光通过孔的口径设为φρ、将所述光圈的开口直径设为Oa时，所述光学模块满足ΦΒ〈Φηι〈Φρ的关系。 根据本专利技术，可以和上述光学滤波器装置的专利技术同样地抑制杂散光的产生。由此，通过检测部检测由干涉滤波器所提取的光，从而可以精度良好地检测期望的特定波长的光的光量。 本专利技术的电子设备其特征在于，具备:壳体，具有能使光射入内侧的入射光通过孔；光圈，设置于所述壳体的外侧，用于限制向所述入射光通过孔射入的光；干涉滤波器，设置于所述壳体的内侧，具备第一反射膜以及与所述第一反射膜相对的第二反射膜；以及控制部，对所述干涉滤波器进行控制，其中，在从膜厚方向观察所述第一反射膜以及所述第二反射膜的俯视观察中，所述光圈的开口、所述入射光通过孔、和所述第一反射膜以及所述第二反射膜被设置为重叠，在将靠近所述入射光通过孔的所述第一反射膜的直径设为Φπκ将所述入射光通过孔的口径设为Φρ、将所述光圈的开口直径设为Oa时，所述电子设备满足Φα〈Φπι〈Φρ的关系。 根据本专利技术，可以和上述光学滤波器装置的专利技术同样地抑制杂散光的产生。由此，可以由干涉滤波器精度良好地提取期望的特定波长的光，可以根据所提取的光实施高精度的电子处理(例如色度测定、成分分析等)。 【附图说明】 图1是示出本专利技术所涉及的第一实施方式的光学滤波器装置的概略构成的立体图。 图2是示出第一实施方式的光学滤波器装置的概略构成的截面图。 图3是示出第一实施方式的光学滤波器装置所收纳的干涉滤波器的概略构成的俯视图。 图4是示出第一实施方式的干涉滤波器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学滤波器装置，其特征在于，具备：壳体，具有能使光射入内侧的入射光通过孔；光圈，设置于所述壳体的外侧，用于限制向所述入射光通过孔射入的光；以及干涉滤波器，设置于所述壳体的内侧，具备第一反射膜以及与所述第一反射膜相对的第二反射膜，其中，在从膜厚方向观察所述第一反射膜以及所述第二反射膜的俯视观察中，所述光圈的开口、所述入射光通过孔、和所述第一反射膜以及所述第二反射膜被设置为重叠，在将靠近所述入射光通过孔的所述第一反射膜的直径设为Φm、将所述入射光通过孔的口径设为Φp、将所述光圈的开口直径设为Φa时，所述光学滤波器装置满足Φa<Φm<Φp的关系。

【技术特征摘要】
2013.03.14 JP 2013-0513711.一种光学滤波器装置，其特征在于，具备: 壳体，具有能使光射入内侧的入射光通过孔； 光圈，设置于所述壳体的外侧，用于限制向所述入射光通过孔射入的光；以及 干涉滤波器，设置于所述壳体的内侧，具备第一反射膜以及与所述第一反射膜相对的第二反射膜， 其中，在从膜厚方向观察所述第一反射膜以及所述第二反射膜的俯视观察中，所述光圈的开口、所述入射光通过孔、和所述第一反射膜以及所述第二反射膜被设置为重叠， 在将靠近所述入射光通 过孔的所述第一反射膜的直径设为Φπκ将所述入射光通过孔的口径设为Φρ、将所述光圈的开口直径设为Oa时，所述光学滤波器装置满足Φβ<Φι?<Φρ 的关系。2.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于， 所述光圈的开口、所述入射光通过孔、所述第一反射膜、以及所述第二反射膜的在所述俯视观察中的各中心点位于同一轴上。3.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于， 在将从所述入射光通过孔射入所述第一反射膜的光的入射角度设为Θ、将从所述第一反射膜至所述光圈的距离设为d时，所述光学滤波器装置满足(Op-Om)>2dtan Θ的关系。4.根据权利要求3所述的光学滤波器装置，其特征在于， 所述光学滤波器装置满足(Φπι-Φ&) >2dtan Θ的关系。5.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于， 在所述壳体的外侧设置有用于覆盖所述入射光通过孔的透光基板， 所述光圈设置于所述透光基板。6.根据权利要求5所述的光学滤波器装置，其特征在于， 在所述透光基板中的与所述第一反射膜相对的面上设置有反射防止膜。7.根据权利要求1至6中任一项所述的光学滤波器装置，其特征在于， 所述光圈中的与所述第一反射膜相对的面的光...

【专利技术属性】
技术研发人员：松下友纪，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP