测定装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种测定装置。该分光测定装置（1）具备：波长可变干涉滤波器（5），具备固定反射膜、可动反射膜、及使固定反射膜与可动反射膜间的间隙尺寸变更的静电致动器；检测器（12），接收入射光；滤波器控制部（22），将固定反射膜与可动反射膜间的间隙尺寸设定为与比测定对象波长区域小的第一波长的光相应的第一尺寸；截止滤波器（11），阻截比测定对象波长区域小的波长的光；以及光量获取部（23），获取在将间隙尺寸设为第一尺寸时由检测器（12）接收的杂散光的光量。

【技术实现步骤摘要】
测定装置
[0001 ] 本专利技术涉及测定光量的测定装置。
技术介绍
目前，公认的有如下测定装置:其接收透过光学元件的光，并测定其受光量。(例如，参照专利文献I)。在该专利文献I中记载的测定装置是如下装置:其使光射入法布里-珀罗滤波器，通过红外检测器接收透过该法布里-珀罗滤波器的测定光后，测定其受光量。现有技术文献专利文献【专利文献I】:日本特开2002-71562号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题在上述专利文献I中，通过检测器检测透过法布里-珀罗滤波器(波长可变干涉滤波器)的测定光，但是 也会存在没有透过波长可变干涉滤波器的杂散光与测定光同时地在检测器中被接收的情况。如此，杂散光便成为噪声成分，因而存在导致测定精度劣化这样的问题。本专利技术的目的在于提供能够进行高测定精度的光量测定的测定装置。解决课题的手段本专利技术的测定装置其特征在于，具备:截止滤波器，使入射光中的规定波长区域的光减少；第一反射膜，使透过所述截止滤波器的光的一部分反射，一部分透过；第二反射膜，与所述第一反射膜相对，使透过所述第一反射膜的光的一部分反射，一部分透过；间隙变更部，变更所述第一反射膜与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测定装置，其特征在于，具备：截止滤波器，使入射光中的规定波长区域的光减少；第一反射膜，使透过所述截止滤波器的光的一部分反射，一部分透过；第二反射膜，与所述第一反射膜相对，使透过所述第一反射膜的光的一部分反射，一部分透过；间隙变更部，变更所述第一反射膜与所述第二反射膜间的间隙尺寸；受光部，接收透过所述第二反射膜的光；以及间隙设定部，控制所述间隙变更部，将所述间隙尺寸设定为与所述规定波长区域内的第一波长相应的第一尺寸。

【技术特征摘要】
2013.02.25 JP 2013-0342591.一种测定装置，其特征在于，具备: 截止滤波器，使入射光中的规定波长区域的光减少； 第一反射膜，使透过所述截止滤波器的光的一部分反射，一部分透过； 第二反射膜，与所述第一反射膜相对，使透过所述第一反射膜的光的一部分反射，一部分透过； 间隙变更部，变更所述第一反射膜与所述第二反射膜间的间隙尺寸； 受光部，接收透过所述第二反射膜的光；以及 间隙设定部，控制所述间隙变更部，将所述间隙尺寸设定为与所述规定波长区域内的第一波长相应的第一尺寸。2.一种测定装置，其特征在于，具备: 第一反射膜； 第二反射膜，与所述第一反射膜相对； 间隙变更部，变更所述第一反射膜与所述第二反射膜间的间隙尺寸； 受光部，接收透过所述第二反射膜的光；以及 间隙设定部，控制所述间隙变更部，将所述间隙尺寸设定为与规定波长区域内的第一波长相应的第一尺寸， 所述第一波长为所述受光部的受光灵敏度在规定的灵敏度阈值以下的波长。3.根据权利要求1所述的测定装置，其特征在于，还具备: ...

【专利技术属性】
技术研发人员：松下友纪，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP