波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备制造技术

本发明专利技术提供了波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备。第一驱动电极（36）的厚度尺寸形成得大于第一反射膜（35）的厚度尺寸及第一导电膜（37）的厚度尺寸的和，第一驱动电极（36）从固定基板（30）的表面延伸至第一导电膜（37）的外缘部的表面并接触，第二驱动电极（46）的厚度尺寸形成得大于第二反射膜（45）的厚度尺寸及第二导电膜（47）的厚度尺寸的和，第二驱动电极（46）从可动基板（40）的表面延伸至第二导电膜（47）的外缘部的表面并接触。

【技术实现步骤摘要】
波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备
[0001 ] 本专利技术涉及波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备。
技术介绍
公知有使用波长可变干涉滤波器来测定入射的光的光谱的装置。在专利文献I中记载的可变干涉装置公开了使反射膜作为驱动用电极而发挥功能的结构、以及使反射膜作为静电电容监视器而发挥功能的结构。【先行技术文献】【专利文献】专利文献1:日本特开平1-94312号公报在上述专利文献I的构造中，对于使反射膜作为驱动用电极、静电电容监视器而发挥功能则需要布线与反射膜连接的连接电极。反射膜为了兼具光的透过特性和反射特性的厚度尺寸而相对于连接电极形成得较薄。但是，在重叠形成了厚的膜厚的连接电极和薄的膜厚的反射膜的情况下，由于热等外在因素、随时间变化，所以存在薄的膜厚的反射膜的金属原子在连接电极侧扩散而发生断线这样的问题。
技术实现思路
本专利技术为了解决上述问题而提出，其可以作为以下的实施方式或适用例而实现。[适用例I]本适用例涉及的波长可变干涉滤波器具备:第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置于所述第一基板，反射入射的光的一部分并使一部分透过；第二反射膜，设置于所述第二基板，与反射入射的光的一部分并使一部分透过的所述第一反射膜相对配置；导电性的第一导电膜，层叠于所述第一反射膜；导电性的第二导电膜，层叠于所述第二反射膜；第一连接电极，设置于所述第一基板，在所述第一基板上与所述第一导电膜电连接；以及第二连接电极，设置于所述第二基板，在所述第二基板上与所述第二导电膜电连接，所述第一连接电极的厚度尺寸形成得大于所述第一反射膜的厚度尺寸和所述第一导电膜的厚度尺寸的和，所述第一连接电极从所述第一基板的表面延伸至所述第一导电膜的外缘部的表面并接触，所述第二连接电极的厚度尺寸形成得大于所述第二反射膜的厚度尺寸和所述第二导电膜的厚度尺寸的和，所述第二连接电极从所述第二基板的表面延伸至所述第二导电膜的外缘部的表面并接触。根据该结构，第一连接电极从第一基板的表面延伸至第一导电膜的外缘部的表面并接触，第一连接电极的厚度尺寸也大于第一反射膜及第一导电膜的厚度尺寸的和。并且，第二连接电极从第二基板的表面延伸至第二导电膜的外缘部的表面并接触，第二连接电极的厚度尺寸也大于第二反射膜及第二导电膜的厚度尺寸的和。 这样，通过第一导电膜、第二导电膜连接厚度尺寸小的第一反射膜、第二反射膜、以及厚度尺寸大的第一连接电极、第二连接电极。通过设置该第一导电膜、第二导电膜，从而可以确保连接部中的第一反射膜、第二反射膜和第一反射膜、第二反射膜之间的电连接。并且，可以防止第一导电膜、第二导电膜从连接部中的第一反射膜、第二反射膜向第一连接电极、第二连接电极的金属原子的扩散，且可以抑制布线的断线。据此，可以确保第一反射膜和第一连接电极之间的导通、第二反射膜和第二连接电极之间的导通，且可以提高布线的连接可靠性。[适用例2]在上述适用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选至少所述第一连接电极及所述第二连接电极中的一个与所述第一导电膜或所述第二导电膜的外缘部的整周接触。根据该结构，第一连接电极、第二连接电极覆盖第一导电膜、第二导电膜的外缘部的整周而接触。据此，可以降低布线连接中的电阻抗，且可以进行良好的连接。[适用例3]在上述适用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选所述第一导电膜及所述第二导电膜是透明导电膜。根据该结构，第一导电膜及第二导电膜是透明导电膜。据此，可以通过不会损坏第一反射膜及第二反射膜的透光特性的方式形成导电膜。[适用例4]在上述适用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选所述第一导电膜及所述第二导电膜的材料是从铟类氧化物、锡类氧化物、锌类氧化物及他们的混合物中选择的材料。根据该结构，第一导电膜及所述第二导电膜的材料是从铟类氧化物、锡类氧化物、锌类氧化物及他们的混合物中选择的材料。通过使用这些材料作为第一导电膜及第二导电膜，从而可以有效地防止从第一反射膜、第二反射膜向第一驱动电极、第二驱动电极的扩散。并且，通过使用这些材料，从而可以从制造工序中的药液中保护第一反射膜、第二反射膜。[适用例5]在上述适用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选所述第一反射膜及所述第二反射膜的材料是Ag或以Ag为主成分的合金。根据该结构，第一反射膜及第二反射膜的材料是Ag或以Ag为主成分的合金。通过使用Ag或以Ag为主成分的合金作为第一反射膜及第二反射膜,从而可以获得透光特性、反射特性两者都卓越的特性。[适用例6]在上述适用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选所述第二基板具备:可动部，设置有所述第二反射膜；以及保持部，在从基板厚度方向俯视观察所述第二基板时，设置在所述可动部的外侧，所述保持部的厚度尺寸小于所述可动部的厚度尺寸，所述保持部保持所述可动部能进退。根据该结构，具备:可动部，设置有第二反射膜；以及保持部，设置在外动部的外侦牝小于可动部的厚度尺寸，保持可动部能进退。在该构造中，通过外力挠曲保持部从而使可动部位移。并且，通过该位移使第一反射膜和第二反射膜之间的间隔变化，且可以容易地构成设反射膜间间隔可变的波长可变干涉滤波器。[适用例7]本适用例涉及的波长可变干涉滤波器具备:反射膜，反射入射的光的一部分并使一部分透过；导电性的导电膜，层叠于所述反射膜；以及连接电极，与所述导电膜电连接，所述连接电极的厚度尺寸形成得大于所述反射膜的厚度尺寸和所述导电膜的厚度尺寸的和，所述连接电极与所述导电膜的外缘部的表面重叠接触。根据该结构，具备层叠于反射膜的导电性的导电膜，连接电极的厚度尺寸形成得大于反射膜的厚度尺寸及导电膜的厚度尺寸的和，连接电极与导电膜的外缘部的表面重叠接触。通过设置该导电膜，从而可以确保连接部中的反射膜和反射膜之间的电连接。并且，可以防止导电膜从连接部中的反射膜向连接电极的金属原子的扩散，且可以抑制布线的断线。据此，可以确保反射膜和连接电极之间的导通，且可以提高布线的连接可靠性。[适用例8]本适用例涉及的滤光器设备具备:波长可变干涉滤波器；以及壳体，收容所述波长可变干涉滤波器，所述波长可变干涉滤波器具备:第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置于所述第一基板，反射入射的光的一部分并使一部分透过；第二反射膜，设置于所述第二基板，与反射入射的光的一部分并使一部分透过的所述第一反射膜相对配置；导电性的第一导电膜，层叠于所述第一反射膜；导电性的第二导电膜，层叠于所述第二反射膜；第一连接电极，设置于所述第一基板，在所述第一基板上与所述第一导电膜电连接；以及第二连接电极，设置于所述第二基板，在所述第二基板上与所述第二导电膜电连接，所述第一连接电极的厚度尺寸形成得大于所述第一反射膜的厚度尺寸和所述第一导电膜的厚度尺寸的和，所述第一连接电极从所述第一基板的表面延伸至所述第一导电膜的外缘部的表面并接触，所述第二连接电极的厚度尺寸形成得大于所述第二反射膜的厚度尺寸和所述第二导电膜的厚度尺寸的和，所述第二连接电极从所述第二基板的表面延伸至所述第二导电膜的外缘部的表面并接触。根据该结构，第一连接电极从第一基板的表面延伸至第一导电膜的外缘部的表面并接触，第一连接电极的厚度尺寸也大于第一反射膜及第一导电膜的厚度尺寸的和。并且，第二连接电极从第二基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置于所述第一基板；第二反射膜，设置于所述第二基板，与所述第一反射膜相对配置；导电性的第一导电膜，层叠于所述第一反射膜；导电性的第二导电膜，层叠于所述第二反射膜；第一连接电极，设置于所述第一基板，在所述第一基板上与所述第一导电膜电连接；以及第二连接电极，设置于所述第二基板，在所述第二基板上与所述第二导电膜电连接，所述第一连接电极的厚度尺寸形成得大于所述第一反射膜的厚度尺寸和所述第一导电膜的厚度尺寸的和，所述第一连接电极从所述第一基板的表面延伸至所述第一导电膜的外缘部的表面并接触，所述第二连接电极的厚度尺寸形成得大于所述第二反射膜的厚度尺寸和所述第二导电膜的厚度尺寸的和，所述第二连接电极从所述第二基板的表面延伸至所述第二导电膜的外缘部的表面并接触。

【技术特征摘要】
2013.02.22 JP 2013-0329361.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备: 第一基板； 第二基板，与所述第一基板相对； 第一反射膜，设置于所述第一基板； 第二反射膜，设置于所述第二基板，与所述第一反射膜相对配置； 导电性的第一导电膜，层叠于所述第一反射膜； 导电性的第二导电膜，层叠于所述第二反射膜； 第一连接电极，设置于所述第一基板，在所述第一基板上与所述第一导电膜电连接；以及 第二连接电极，设置于所述第二基板，在所述第二基板上与所述第二导电膜电连接，所述第一连接电极的厚度尺寸形成得大于所述第一反射膜的厚度尺寸和所述第一导电膜的厚度尺寸的和， 所述第一连接电极从所述第一基板的表面延伸至所述第一导电膜的外缘部的表面并接触， 所述第二连接电极的 厚度尺寸形成得大于所述第二反射膜的厚度尺寸和所述第二导电膜的厚度尺寸的和， 所述第二连接电极从所述第二基板的表面延伸至所述第二导电膜的外缘部的表面并接触。2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于， 至少所述第一连接电极及所述第二连接电极中的一个与所述第一导电膜或所述第二导电膜的外缘部的整周接触。3.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于， 所述第一导电膜及所述第二导电膜是透明导电膜。4.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于， 所述第一导电膜及所述第二导电膜的材料是从铟类氧化物、锡类氧化物、锌类氧化物及他们的混合物中选择的材料。5.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于， 所述第一反射膜及所述第二反射膜的材料是Ag或以Ag为主成分的合金。6.根据权利要求1至5中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于， 所述第二基板具备: 可动部，设置有所述第二反射膜；以及 保持部，在从基板厚度方向俯视观察所述第二基板时，设置在所述可动部的外侧，所述保持部的厚度尺寸小于所述可动部的厚度尺寸，所述保持部保持所述可动部能进退。7.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备: 反射膜，反射入射的光的一部分并使一部分透过； 导电性的导电膜，层叠于所述反射膜；以及 连接电极，与所述导电膜电连接， 所述连接电极的厚度尺寸形成得大于所述反射膜的厚度尺寸和所述导电膜的厚度尺寸的和，所述连接电极与所述导电膜的外缘部的表面重叠接触。8.—种滤光器设备,其特征在于,具备: 波长可变干涉滤波器；以及 壳体，收容所述波长可变干涉滤波器， 所述波长可变干涉滤波器具备: 第一基板； 第二基 板，与所述第一基板相对； 第一反射膜，设置于所述第一基板； 第二反射膜，设置于所述第二基板，与所述第一反射膜相对配置； 导电...

【专利技术属性】
技术研发人员：新东晋，坂下友树，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP