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波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备制造技术
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文档序号:10360048
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本发明提供了波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备。第一驱动电极(36)的厚度尺寸形成得大于第一反射膜(35)的厚度尺寸及第一导电膜(37)的厚度尺寸的和,第一驱动电极(36)从固定基板(30)的表面延伸至第一导电膜(37)的外缘...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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