波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块及电子设备技术

本发明专利技术提供了波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块及电子设备。波长可变干涉滤波器（5）具备：具有固定反射膜（55）的第一基板（51）、与第一基板（5）1接合且具备可动部（522）及固定于可动部（522）的可动反射膜（56）的第二基板（52）、以及在第一基板（51）的相反侧与第二基板（52）接合的第三基板（53），且波长可变干涉滤波器（5）还包括：通过第一基板（51）和第二基板（52）夹着的第一内部空间（581）、连通第一内部空间（581）和外部的第一间隙（591）、通过第二基板（52）和第三基板（53）夹着的第二内部空间（582）、连通第二内部空间（582）和外部的第二间隙（592），第一间隙（591）和第二间隙（592）通过密封材料（518）密封。

【技术实现步骤摘要】
波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块及电子设备
本专利技术涉及从入射光选择想要的目标波长的光并射出的波长可变干涉滤波器、具备该波长可变干涉滤波器的光模块、具备该光模块的电子设备以及波长可变干涉滤波器的制造方法。
技术介绍
以往，公 知有如下的光谱滤波器:使光在一对反射膜之间反射，使指定波长的光透过，干涉其他波长的光以抵消，从而从入射光取得指定波长的光。并且，作为这样的光谱滤波器，公知有通过调整反射膜之间的距离，从而对射出的光进行选择并射出的波长可变干涉滤波器。在专利文献I中记载的波长可变干涉滤波器中，具备形成在透光性基板上的固定反射膜(miiTor)以及与固定反射膜相对配置的可动反射膜。该波长可变干涉滤波器通过静电引力驱动可动反射膜，从而调整反射膜间的距离，选择射出的光。这样的波长可变干涉滤波器担心由于湿度、异物等环境因素而使驱动特性、光学特征劣化，可靠性降低。因此，为了提高波长可变干涉滤波器的可靠性，公知有将波长可变干涉滤波器密封在封装件(package)内的方法(例如参考专利文献2)。在专利文献2中记载的封装件具备头部(header)、多个导电销、具有光学窗的盖，在其内部内置波长可变干涉滤波器，且形成通过盖和头部被密封的内部。【现有技术文献】【专利文献】专利文献1:日本特开昭62-257032号公报专利文献2:日本特表2005-510756号公报但是，在专利文献2中记载的封装件内，需要独立于波长可变干涉滤波器另外准备封装件，并分别组装。因此，为了确保波长可变干涉滤波器的可靠性，需要另外的封装件以及组装所需较多的成本和时间。并且，另外的封装件由于具有用于收容波长可变干涉滤波器且密封其周围的隔壁，所以存在具有封装件的波长可变干涉滤波器的尺寸变大的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种小型、能以低成本构造且确保可靠性的波长可变干涉滤波器、光模块以及电子设备。本专利技术为了解决上述问题的至少一部分而提出，能作为以下的方式或适用例而实现。[适用例I]本适用例涉及的波长可变干涉滤波器具备:第一基板，具有透光性；第二基板，与所述第一基板相对，与所述第一基板接合且具有透光性；第三基板，与所述第二基板的设置有所述第一基板侧的相反侧相对，与所述第二基板接合且具有透光性；可动部，设置于所述第二基板，具有与所述第一基板相对的可动面；保持部，设置于所述第二基板，保持所述可动部能沿所述第二基板的厚度方向移动；两个反射膜，在所述可动部的所述可动面以及所述第一基板的第二基板侧的面，隔着规定的反射膜间间隔相对配置；以及静电致动器，在所述第一基板和所述第二基板相互相对的面上，具有分别相互相对的两个位移用电极，通过对这些所述位移用电极施加规定的电压，从而通过静电引力使所述可动部向基板厚度方向位移，在所述第一基板和所述第二基板、所述第二基板和所述第三基板之间分别通过接合层接合，具有通过所述第一基板和所述第二基板夹着的第一内部空间、及所述第二基板和所述第三基板夹着的第二内部空间，在所述第一基板和所述第二基板之间具有连通所述第一内部空间和外部的第一间隙，在所述第二基板和所述第三基板之间具有连通所述第二内部空间和外部的第二间隙，所述第一间隙及所述第二间隙通过密封所述第一内部空间和所述第二内部空间的密封材料而被密封。在本适用例中，通过密封材料密封形成在第一基板和第二基板间的连通了第一内部空间和外部的第一间隙、以及形成在第二基板和第三基板间的连通了第二内部空间和外部的第二间隙，从而密封由第一基板和第二基板夹着的第一内部空间、以及由第二基板及第三基板夹着的第二内部空间。在这种情况下，可以将设置有反射膜的可动部配置在密封的内部空间内，可以防止由于外部的湿度、异物引起的驱动特征、光学特征的劣化。因此，可以确保波长可变干涉滤波器的可靠性。并且，无需另外设置封装件就可以将设置有反射膜的可动部配置在密封的空间，所以可以进行小型化、低成本化。并且，由于通过密封材料密封接合层的周围，所以不依靠接合方法就可以通过密封材料确保密封品质。并且，由于可以在大气压环境和减压环境中任一个环境下进行基板的接合，所以可以使用采用了等离子体聚合膜、金属膜等的各种接合方法，且可确保各基板间的接合品质。[适用例2]在上述适用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选所述第一间隙和所述第二间隙在所述第一内部空间和所述第二内部空间相对于外部处于减压状态下，被所述密封材料密封。在本适用例中，所述第一间隙和所述第二间隙在第一内部空间和第二内部空间处于减压状态下，被密封材料密封。在这种情况下，可以防止在设置有反射膜的可动部配置在减压状态的内部空间内，驱动时空气阻力向可动反射膜作用，可以提高可动反射膜的响应性，且可充分地确保可动反射膜的响应性。[适用例3]在上述适用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选具备连通所述第一内部空间和所述第二内部空间的贯通孔，所述第一间隙和所述第二间隙通过所述密封材料密封。在本适用例中，连通第一内部空间和第二内部空间的贯通孔形成于第二基板，在各内部空间处于减压状态下，通过密封材料密封各基板间的间隙。在这种情况下，由于通过贯通孔连通第一内部空间和第二内部空间，所以可以设定第一内部空间和第二内部空间内为减压状态且均匀的压力。因此，可以抑制由于第一内部空间和第二内部空间的压差而引起的可动反射膜的变动，且可以高精度地驱动可动反射膜。[适用例4]在上述适用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选所述第一具备所述位移用电极的引出电极，且当从第二基板的厚度方向俯视观察时，在所述第二基板的与所述引出电极重叠的区域具备第一贯通部，在所述俯视观察时在所述第三基板的与所述引出电极重叠的区域具备第二贯通部，在所述第一基板和所述第二基板间的所述第一间隙的外周部具备与所述第一贯通部和所述第二贯通部连通的第一密封槽，在所述第二基板和所述第三基板间的所述第二间隙的外周部具备与所述第一贯通部和所述第二贯通部连通的第二密封槽，所述第一间隙和所述第二间隙通过所述密封材料被密封。在本适用例中，在第一基板形成有位移用电极的引出电极，在从基板厚度方向俯视观察时与第二基板的引出电极重叠的区域形成有第一贯通部，在从基板厚度方向俯视观察时与第三基板的引出电极重叠的区域形成有第二贯通部。并且，在各间隙的外周具备与第一贯通部及第二贯通部连通的第一密封槽、第二密封槽，第一内部空间、第二内部空间通过第一间隙、第一密封槽、第一贯通部、第二间隙、第二密封槽、第二贯通部与外部连通。并且，密封材料通过第一贯通部、第二贯通部以及第一密封槽、第二密封槽密封各基板间的第一间隙和第二间隙，从而可以将各内部空间密封设为减压状态。因此，可以通过第一贯通部、第二贯通部、第一密封槽、第二密封槽，使密封材料有效地浸透间隙，且可以确保密封品质。并且，即使在将元件多个排列为阵列的状态下，也可以通过各贯通部和各密封槽高效地一并密封各元件的各间隙。因此，可以提高制造效率。[适用例5]在上述适用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选所述密封材料是合成树脂。在本适用例中，适用以石油等作为原料制造的粘结剂等合成树脂作为密封材料，在各基板的接合工序后，密封各基板间的第一间隙及第二间隙。此时，通过使用合成树脂作为密封材料，从而可以在各种环境下进行密封工序。因此，可以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板，具有第一反射膜；第二基板，具有可动部，所述可动部设置有与所述第一反射膜相对的第二反射膜，所述第二基板接合于所述第一基板；第三基板，与所述第二基板的设置有所述第一基板侧的相反侧相对，所述第三基板接合于所述第二基板；第一内部空间，设置在所述第一基板和所述第二基板之间；第一间隙，连通所述第一内部空间和外部；第二内部空间，设置在所述第二基板和所述第三基板之间；以及第二间隙，连通所述第二内部空间和外部，其中，在所述第一间隙设置有密封所述第一内部空间的密封材料，在所述第二间隙设置有密封所述第二内部空间的所述密封材料。

【技术特征摘要】
2012.08.30 JP 2012-1896261.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备: 第一基板，具有第一反射膜； 第二基板，具有可动部，所述可动部设置有与所述第一反射膜相对的第二反射膜，所述第二基板接合于所述第一基板； 第三基板，与所述第二基板的设置有所述第一基板侧的相反侧相对，所述第三基板接合于所述第二基板； 第一内部空间，设置在所述第一基板和所述第二基板之间； 第一间隙，连通所述第一内部空间和外部； 第二内部空间，设置在所述第二基板和所述第三基板之间；以及 第二间隙，连通所述第二内部空间和外部， 其中，在所述第一间隙设置有密封所述第一内部空间的密封材料， 在所述第二间隙设置有密封所述第二内部空间的所述密封材料。2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于， 所述第一内部空间及所述第二内部空间相对于外部处于减压状态。3.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于， 连通所述第一内部空间和所述第二内部空间的贯通孔被设置于所述第二基板。4.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于， 所述第一基板和所述第二基板具备相互相对的位移用电极和与所述位移用电极导通的引出电极， 所述波长可变干涉滤波器还具备:第一贯通部，当从基板厚度方向俯视观察时，在所述第二基板的与所述引出电极重叠的区域除去所述第二基板的一部分而形成； 第二贯通部，在所述俯视观察时，在所述第三基板的与所述引出电极重叠的区域除去所述第三基板的一部分而形成； 第一密封槽，在所述第一间隙的外周部与所述第一贯通部及所述第二贯通部连通；以及 第二密封槽，在所述第二间隙的外周部与所述第一贯通部及所述第二贯通部连通， 所述第一密封槽被所述密封材料密闭，所述第二密封槽被所述密封材料密封。5.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于， 所述密封材料是合成树脂。6.根据权利要求5所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于， 所述合成树脂是对二甲苯类聚合物。7.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于， 所述密封材料是无机薄膜。8.一种光模块，其特征在于，具有: 根据权利要求1至7中任一项所述的波长可变干涉滤波器；以及 检测部，检测光， 其中，通过所述一对反射膜构成光干涉区域，所述检测部检测通过所述光干涉区域取出的光。9.一种电子设备,其特征在于,包括:根据权利要求1至7中任一项所述的波长可变...

【专利技术属性】
技术研发人员：广久保望，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：