光学滤波器装置、光学模块、以及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够抑制干涉滤波器的分辨率降低的光学滤波器装置、光学模块、以及电子设备。光学滤波器装置具备：波长可变干涉滤波器(5)，具备固定基板(51)、与固定基板相对且具有相对于固定基板进退的可动部(521)的可动基板(52)、设置在固定基板上的固定反射膜(54)、及设置在可动基板的可动部且与固定反射膜相对的可动反射膜(54)；固定波长可变干涉滤波器的底座(62)；以及固定材料(64)，将各基板(51、52)中的至少一方，在沿着基板厚度方向的一面侧的至少一个位置处固定在底座，其中，以通过固定材料固定的固定位置作为固定端的波长可变干涉滤波器的一阶共振频率，在可动部的一阶共振频率的一半以下。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学滤波器装置、光学模块、以及电子设备。
技术介绍
现有技术中，已知有将在一对基板彼此相对的面上隔着规定的间隙而分别相对配置有反射膜的干涉滤波器容纳于壳体的光学滤波器装置(例如，参考专利文献1)。专利文献1记载的光学滤波器装置中，壳体具有干涉滤波器由固定部件固定的底座基板。干涉滤波器的基板在与底座基板相对的相对面的沿基板厚度方向的一面侧，即干涉滤波器的一侧的至少一个位置处与该底座基板粘接固定。该光学滤波器装置，即使在例如使用粘合剂粘接固定的情况下，与和基板的相对面的大致整个表面粘接的结构相比，也能够使从粘接剂接收到的应力变小。即，基板的相对面的粘接面积越小，越能够抑制由硬化时来自收缩的粘接剂的拉伸应力和基板与底座基板的热膨胀系数的差产生的应力的影响。然而，由于在干涉滤波器的基板的一侧的至少一个位置处固定，因此例如，对光学滤波器装置施加与干涉滤波器的固有频率相近的频率的干扰信号时，该干涉滤波器有时以固定处为中心振动。这样的振动产生后，存在反射膜之间的间隙的尺寸发生变化，干涉滤波器的分辨率降低的可能性。在先技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2013-167701号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供能够抑制干涉滤波器的分辨率降低的光学滤波器装置、光学模块、以及电子设备。本专利技术的一个应用例的光学滤波器装置，其特征在于，具有：干涉滤波器，所述干涉滤波器具有第一基板、与所述第一基板相对且具有相对所述第一基板进退的可动部的第二基板、设置在所述第一基板上的第一反射膜、及设置在所述第二基板的所述可动部且与所述第一反射膜相对的第二反射膜；固定所述干涉滤波器的底座部；以及固定部件，将所述第一基板和所述第二基板中的至少一方，在沿着基板厚度方向的一面侧的至少一个位置处固定在所述底座部，以通过所述固定部件固定的固定位置作为固定端的所述干涉滤波器的一阶共振频率，在所述可动部的一阶共振频率的一半以下。在这里，沿着基板厚度方向的一面侧不仅是沿着基板厚度方向的一个面(侧面)，还包含与该一个侧面交叉的面(表面)的一个侧面的附近的区域。即，本应用例中，固定部件设置在第一基板和第二基板中的至少一个的侧面和其附近的至少一个位置处。例如，基板是矩形的情况下，从基板厚度方向观察时，干涉滤波器的一侧由固定材料固定在底座部。本应用例中，干涉滤波器构成为使设置在一对基板中的第二基板上的可动部相对第一基板进退，能够变更一对反射膜间的间隙尺寸。并且，光学滤波器装置中，这样的干涉滤波器在沿着基板厚度方向的面侧的至少一个位置处固定在底座部上。在这样的构成中，有时产生以与固定端距离最远的位置为自由端的一阶共振(芯片振动)的情况。与此相对，本应用例中，通过将芯片振动的一阶共振频率(芯片共振频率)设定在可动部的一阶共振频率(镜像共振频率)的一半以下，即使在由于干扰信号等激起芯片振动的情况下，也能够抑制由于该芯片振动而激起可动部的共振(镜像振动)，能够抑制间隙尺寸的变化。因此，能够抑制由于上述间隙尺寸的变化导致的干涉滤波器的分辨率降低。本应用例的光学滤波器装置中，优选地，所述固定部件具有由于与以所述固定位置为中心的所述干涉滤波器的旋转对应的应力而产生弹性变形的第一阈值以下的弹性模量。本应用例中，将固定材料的弹性模量设定为由于与芯片振动引起的干涉滤波器的转动对应的应力而产生弹性变形的第一阈值以下。在这里，第一阈值是与芯片振动对应固定材料可能弹性变形的弹性模量的上限值。由于这样的构成，能够降低芯片共振频率，并且，能够通过固定材料的弹性变形抑制芯片振动。因此，能够抑制由芯片振动激起镜像振动。本应用例的光学滤波器装置中，优选地，所述可动部的质量与除去所述可动部之外的所述干涉滤波器的质量的比，在所述干涉滤波器的一阶共振频率是所述可动部的一阶共振频率的一半的第二阈值以下。本应用例中，相对于除去可动部之外的干涉滤波器的质量减小可动部的质量，可动部的质量与除去可动部之外的干涉滤波器的质量的比在第二阈值以下，由此，能够增大芯片共振频率和镜像共振频率之间的差，能够抑制由芯片振动激起镜像振动。本应用例的光学滤波器装置中，优选地，所述第二基板具有保持所述可动部的保持部，对应于该保持部的变形，所述可动部相对于所述第一基板进退、在所述干涉滤波器的质量是所述可动部的质量的X倍的情况下，所述固定部件的刚性比所述保持部的刚性的X/4倍的值小。本应用例中，通过使保持可动部的保持部变形，使可动部进退。这样的构成中，通过将固定部件的刚性设定为比保持部的刚性的X/4倍的值小的值，能够使芯片共振频率在镜像共振频率的一半以下，能够抑制由芯片振动激起镜像振动。因此，即使由于干扰信号等产生芯片振动，通过对应于芯片振动经由保持部而使固定部件发生弹性变形，能够抑制激起镜像振动，并且，也能够使镜像振动衰减。因此，能够更可靠地抑制由芯片振动激起镜像振动。本专利技术的其他应用例的光学模块，其特征在于，具有：干涉滤波器，所述干涉滤波器具有第一基板、与所述第一基板相对且具有相对所述第一基板进退的可动部的第二基板、设置在所述第一基板上的第一反射膜、及设置在所述第二基板的所述可动部且与所述第一反射膜相对的第二反射膜；固定所述干涉滤波器的底座部；固定部件，将所述第一基板和所述第二基板的至少一方，在沿着基板厚度方向的一面侧的至少一个位置处固定在所述底座部；以及检测由所述干涉滤波器取出的光的检测部，以通过所述固定部件固定的固定位置作为固定端的所述干涉滤波器的一阶共振频率，在所述可动部的一阶共振频率的一半以下。本应用例中，如上所述，能够抑制光学滤波器装置的干涉滤波器的分辨率的降低，能够在维持分辨率的状态下从光学滤波器装置射出光。因此，光学模块中能够在光接收部以高分辨率检测所需波长的光的光量。本应用例的光学模块中，优选地，所述干涉滤波器具有使所述可动部进退而变更所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的间隙尺寸的间隙变更部，所述光学模块具备反馈回路，所述反馈回路具有所述干涉滤波器、检测所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的间隙尺寸的间隙检测部、以及向所述间隙变更部施加与所述间隙检测部的检测结果和所述间隙尺寸的目标值对应的反馈电压的反馈控制部。本应用例中，由波长可变干涉滤波器、间隙检测部、反馈控制部构成反馈回路，反馈控制部根据间隙检测部检测出的间隙尺寸的检测结果本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学滤波器装置，其特征在于，具备：干涉滤波器，所述干涉滤波器具有第一基板、与所述第一基板相对且具有相对于所述第一基板进退的可动部的第二基板、设置在所述第一基板上的第一反射膜、及设置在所述第二基板的所述可动部且与所述第一反射膜相对的第二反射膜；底座部，固定所述干涉滤波器；以及固定部件，将所述第一基板和所述第二基板中的至少一方，在沿着基板厚度方向的一面侧的至少一个位置处固定在所述底座部，其中，以通过所述固定部件固定的固定位置作为固定端的所述干涉滤波器的一阶共振频率，在所述可动部的一阶共振频率的一半以下。

【技术特征摘要】
2014.12.26 JP 2014-2640201.一种光学滤波器装置，其特征在于，具备：
干涉滤波器，所述干涉滤波器具有第一基板、与所述第一基板
相对且具有相对于所述第一基板进退的可动部的第二基板、设置在
所述第一基板上的第一反射膜、及设置在所述第二基板的所述可动
部且与所述第一反射膜相对的第二反射膜；
底座部，固定所述干涉滤波器；以及
固定部件，将所述第一基板和所述第二基板中的至少一方，在
沿着基板厚度方向的一面侧的至少一个位置处固定在所述底座部，
其中，以通过所述固定部件固定的固定位置作为固定端的所述
干涉滤波器的一阶共振频率，在所述可动部的一阶共振频率的一半
以下。
2.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于，
所述固定部件具有由于与以所述固定位置为中心的所述干涉
滤波器的旋转对应的应力而产生弹性变形的第一阈值以下的弹性模
量。
3.根据权利要求1或2所述的光学滤波器装置，其特征在于，
所述可动部的质量与除去所述可动部之外的所述干涉滤波器
的质量的比，在所述干涉滤波器的一阶共振频率是所述可动部的一
阶共振频率的一半的第二阈值以下。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的光学滤波器装置，其特征在于，
所述第二基板具有保持所述可动部的保持部，对应于所述保持
部的变形，所述可动部相对于所述第一基板进退，
在所述干涉滤波器的质量是所述可动部的质量的X倍的情况
下，所述固定部件的刚性比所述保持部的刚性的X/4倍的值小。
5.一种光学模块，其特征在于，具备：
干涉滤波器，所述干涉滤波器具备第一基板、与所述第一基板
相对且具有相对于所述第一基板进退的可动部的第二基板、设置在
所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：广久保望，松野靖史，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP