【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及MEMS驱动装置、电子设备及MEMS驱动方法。
技术介绍
在现有技术中，已知有高精度地控制彼此相对的一对基板间的间隙尺寸的装置 (例如，参照专利文献1)。 该专利文献1所记载的装置是用于控制法布里-珀罗标准具（波长可变干涉滤波 器）中一对反射膜间的间隙尺寸的装置。在该装置中，波长可变干涉滤波器中设置有控制 基板间的间隙尺寸的静电致动器、和用于检测基板间的间隙尺寸的电容电极。另外，设置有 控制静电致动器的控制电路、和检测电容电极间的静电电容的静电电容检测电路。并且，控 制电路根据通过静电电容检测电路检测出的静电电容（基板间的间隙尺寸），从而对施加 于静电致动器的电压进行反馈控制。 然而，上述专利文献1所记载的这种装置中存在如下问题，即，在从外部施加高频 振动（以下称为"干扰信号"）的情况下，仅通过反馈控制不足以应对，从而造成了基板间的 间隙尺寸的控制性能下降。例如，专利文献1所记载的装置中，由于未实施考虑到干扰振动 的反馈控制，所以在反馈控制时，存在基板由于干扰振动而发散振动的风险，从而导致需要 较长的时间才可以使基板间的间隙尺寸收敛到期...
【技术保护点】
一种MEMS驱动装置，其特征在于，具备：MEMS元件，具有一对基板、以及改变所述一对基板间的间隙尺寸的静电致动器；振动检测部，检测施加于所述MEMS元件的振动；以及，致动器控制部，将基于所述振动检测部的检测值的前馈电压施加于所述静电致动器。
【技术特征摘要】
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