温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供MEMS驱动装置、电子设备及MEMS驱动方法，即使施加有干扰振动的情况下也能够进行高精度地驱动控制。分光测定装置具备：波长可变干涉滤波器(5)，具有固定基板(51)、可动基板(52)、和改变基板(51)、(52)之间的间隙尺寸的静...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。