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本发明提供一种测定装置。该分光测定装置（1）具备：波长可变干涉滤波器（5），具备固定反射膜、可动反射膜、及使固定反射膜与可动反射膜间的间隙尺寸变更的静电致动器；检测器（12），接收入射光；滤波器控制部（22），将固定反射膜与可动反射膜间的间...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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