提供能够抑制性能降低的光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS设备。光学滤波器装置(600)具备：波长可变干涉滤波器(5)，具备设置有固定反射膜的固定基板(51)和设置有可动反射膜的可动基板(52)；壳体(610)，具有可容纳波长可变干涉滤波器(5)的内部空间(611)；以及固定部(7)，将波长可变干涉滤波器(5)固定于壳体(610)。固定部(7)设置在沿着固定基板(51)的厚度方向的侧面(517)与壳体(610)(内面(627B))之间。
【技术实现步骤摘要】
光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS设备相关申请的交叉参考2013年7月26日申请的日本专利申请N0.2013-155345的全部公开内容结合于此作为参考。
本专利技术涉及光学滤波器装置、光学模块、电子设备以及MEMS设备。
技术介绍
现有技术中，已知有在一对基板彼此相对的面上隔着规定的间隙分别相对配置有反射膜的干涉滤波器、在基板上配置有反射膜的反射镜元件以及在基板上配置有水晶振动片等压电体的压电振动元件等各种MEMS (Micro Electro Mechanical Systems:微机电系统)元件。并且已知有将这样的MEMS元件容纳在容纳用容器内的MEMS设备(例如参考专利文献I)。 在专利文献I中记载有具有板状的底座和圆筒状的盖的组件(壳体)的红外气体检测仪(光学滤波器装置)。该壳体的底部基板的周缘部分与盖的圆筒一端部焊接或粘合地连接，在底部基板与盖之间设置容纳法布里-珀罗滤波器(干涉滤波器)的空间。该干涉滤波器在构成该干涉滤波器的基板的下表面侧被粘合固定。 如上所述，专利文献I所记载的干涉滤波器在基板的下表面侧被粘合固定，在与基板的厚度方向正交的面方向与粘合剂粘合。粘合剂通常在固化时收缩，因此基板上被施加收缩产生的应力。因此，基板的下表面沿着面方向以粘合位置为中心受到应力，基板有可能产生挠曲。如果基板挠曲，则存在设置在基板上的反射膜变形，或反射膜间的间隙尺寸发生变化，干涉滤波器的分光精度下降的问题。 在上述的各种MEMS设备中同样，如果构成MEMS元件的基板产生挠曲，则存在因该挠曲的影响而导致MEMS元件的性能降低的问题。 在先技术文献 专利文献 专利文献1:日本专利特开2008-70163号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供能够抑制性能降低的光学滤波器装置、光学模块、电子设备以及MEMS设备。 本专利技术的光学滤波器装置，其特征在于，具备:干涉滤波器，具备第一反射膜、与上述第一反射膜相对的第二反射膜、及设置有上述第一反射膜和上述第二反射膜中的任意一个的基板；壳体，具有可容纳上述干涉滤波器的内部空间；以及固定部，将上述干涉滤波器固定在上述壳体，上述固定部设置在沿着上述基板的厚度方向的上述基板的侧面与上述壳体之间。 此外，作为固定部可以例示出各种粘合剂。在此，通常基板厚度方向的尺寸形成与正交于厚度方向的平面方向的尺寸相比足够小的尺寸。因此，相对于基板厚度方向的刚性(耐挠曲性)低于相对于平面方向的刚性。因此，如上所述，如果在基板的下表面等与侧面正交的基板表面设置固定部，则由于受到固定部施加的应力，基板有可能挠曲。 相对于此，根据本专利技术，干涉滤波器的基板通过设置在侧面的固定部固定于壳体。因此，通过将固定部设置在与基板表面相比针对挠曲的刚性更高的侧面，不容易受到应力的影响。因此，可以抑制因固定部的收缩应力和基板与固定部之间的线膨胀系数差产生的基板的挠曲。由此，可以抑制设置在基板上的反射膜的变形和反射膜间的间隙尺寸的变化，可以抑制干涉滤波器的分光精度的下降。 在本专利技术的光学滤波器装置中优选，上述干涉滤波器具备第一基板和第二基板作为上述基板，上述第一基板设置有上述第一反射膜，上述第二基板与上述第一基板相对并设置有上述第二反射膜，上述固定部设置在上述第一基板和上述第二基板中的任意一方的上述侧面。 在本专利技术中，干涉滤波器具有第一基板和第二基板。这些第一基板和第二基板彼此相对地配置。在这样的结构中，如果在第一基板和第二基板双方的侧面设置固定部，则来自固定部的应力施加在使第一基板和第二基板接触和分离的方向，有可能不能维持第一基板和第二基板的平行或反射膜间的间隙尺寸发生变化。 与此相对，在本专利技术中，通过在第一基板和第二基板中的任意一方的侧面设置固定部，可以维持基板间的平行，也可以抑制反射膜间的间隙尺寸的变化，可以维持干涉滤波器的分光精度。 在本专利技术的光学滤波器装置中优选，上述第一基板和上述第二基板中的任意一方的基板，在从厚度方向观察到的上述基板的俯视观察中，具有向另一方的基板突出的突出部，上述固定部设置于上述突出部。 在本专利技术中，一方的基板具有向另一方的基板突出的突出部。并且，固定部设置于该突出部。由此，可以抑制在第一基板和第二基板双方设置固定部，可以更可靠地将固定部只设置在一方的基板的侧面。因此，如上所述，可以更可靠地维持基板间的平行。 在本专利技术的光学滤波器装置中优选，上述第二基板具备:可动部，设置有上述第二反射膜；以及保持部，上述保持部使上述可动部在上述厚度方向上能够位移地保持上述可动部，上述固定部设置于上述第一基板的上述侧面。 [0021 ] 在本专利技术中，第二基板具有使上述可动部在上述厚度方向上能够位移地保持上述可动部的保持部。这样的干涉滤波器通过保持部使可动部在厚度方向上位移，从而可以改变形成在第一反射膜与第二反射膜之间的间隙的尺寸(以下也称为间隙尺寸)。另一方面，在这种干涉滤波器中，由于在第二基板上设置有保持部，因此与相对于第一基板的基板厚度方向上的刚性相比，相对于第二基板的基板厚度方向的刚性变小。因此，如果在第二基板上设置固定部，则有可能由于固定部的应力第二基板发生挠曲。对此，在本专利技术中，通过在刚性大于第二基板的第一基板上设置固定部，可以抑制基板发生挠曲，可以抑制干涉滤波器的分光精度降低。 在本专利技术的光学滤波器装置中优选，上述侧面的一部分构成平面形状的第一侧面，上述固定部设置在上述第一侧面上。 在本专利技术中，基板在侧面的至少一部分上具有平面形状的第一侧面，在该第一侧面上设置固定部。在这种结构中，在上述第一侧面配置形成固定部的粘合剂等部件之后，在将第一侧面按压在壳体的内壁等上的状态下形成固定部。此时，通过平面形状的第一侧面与壳体的内面在两点以上或整个抵接，决定基板相对于壳体的固定位置。在此，整个侧面由曲面构成的情况下，在设置用于定位的突出部等时，需要考虑侧面的曲面形状后决定突出部的形状。与此相对，在平面形状的第一侧面中，即使在设置上述突出部这种情况下，也容易设定突出部的尺寸等。另外，即使将壳体内面形成平面的情况下也容易定位。根据以上情况，通过具有第一侧面，基板的定位变得容易，使基板相对于壳体既容易定位又可以固定。因此，可以提高光学滤波器装置的设计简单性和组装效率。 在本专利技术的光学滤波器装置中优选，上述基板在从基板厚度方向观察到的该基板的俯视观察中，在沿着该基板的外周缘的一部分上具备电装部，所述电装部具有与设置于上述壳体的壳体侧端子电连接的连接端子，上述第一侧面是上述电装部的侧面。 在本专利技术中，电装部的侧面形成设置有固定部的第一侧面。从而，电装部的侧面通过固定部固定在壳体上，因此即使光学滤波器装置受到撞击、或因光学滤波器装置的驱动而使光学滤波器装置产生振动的情况下，也可以抑制设置有连接端子的电装部的振动。因此，可以抑制连接端子与壳体侧端子的配线断线等不良情况。 在本专利技术的光学滤波器装置中，上述固定部优选设置在上述第一侧面的一个位置。 在本专利技术中，在第一侧面上，固定部被设置在一个位置。由此，可以减少固定部对基板施加的应力，可以更有效地抑制基板的挠曲。 在本专利技术的光学滤波器装置中，上述固定部优选设置在上述第一侧面的本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种光学滤波器装置，其特征在于，具备：干涉滤波器，具备第一反射膜、与所述第一反射膜相对的第二反射膜、以及设置有所述第一反射膜和所述第二反射膜中的任意一个的基板；壳体，具有能够容纳所述干涉滤波器的内部空间；以及固定部，将所述干涉滤波器固定于所述壳体，所述固定部设置在沿着所述基板的厚度方向的所述基板的侧面与所述壳体之间。
【技术特征摘要】
2013.07.26 JP 2013-1553451.一种光学滤波器装置，其特征在于， 具备: 干涉滤波器，具备第一反射膜、与所述第一反射膜相对的第二反射膜、以及设置有所述第一反射膜和所述第二反射膜中的任意一个的基板； 壳体，具有能够容纳所述干涉滤波器的内部空间；以及 固定部，将所述干涉滤波器固定于所述壳体， 所述固定部设置在沿着所述基板的厚度方向的所述基板的侧面与所述壳体之间。2.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于， 所述干涉滤波器具备第一基板和第二基板作为所述基板，所述第一基板设置有所述第一反射膜，所述第二基板与所述第一基板相对并设置有所述第二反射膜， 所述固定部设置在所述第一基板和所述第二基板中的任意一方的所述侧面。3.根据权利要求2所述的光学滤波器装置，其特征在于， 所述第一基板和所述第二基板中的任意一个基板在从厚度方向观察到的所述基板的俯视观察中具有向另一个基板突出的突出部， 所述固定部设置于所述突出部。4.根据权利要求2所述的光学滤波器装置，其特征在于， 所述第二基板具备:可动部，所述可动部设置有所述第二反射膜；以及保持部，所述保持部使所述可动部在所述厚度方向上能够位移地保持所述可动部， 所述固定部设置在所述第一基板的所述侧面。5.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于， 所述侧面的一部分构成平面形状的第一侧面， 所述固定部设置在所述第一侧面。6.根据权利要求5所述的光学滤波器装置，其特征在于， 所述基板在从基板厚度方向观察到的该基板的俯视观察中，在沿着该基板的外周缘的一部分上具备电装部，所述电装部具有与设置于所述壳体的壳体侧端子电连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：广久保望，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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