带干涉型滤光片层的基板及使用该基板的显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于获得能用较少的工序数来形成、且光利用效率较高的带干涉型滤光片层的基板、以及使用该基板的显示装置。该带干涉型滤光片层的基板包括：平板状的基板；以及滤光片层，该滤光片层包括第一反射层、透射层、以及第二反射层，其中，所述第一反射层设置于基板上，并具有光半透射性，所述透射层由设置于所述第一反射层上的具有光透射性的第一间隔层、及设置于第一反射层上的一部分上的具有光透射性的第二间隔层和第三间隔层所形成，并具有第一区域、第二区域、及第三区域，所述第一区域、第二区域、及第三区域共同具有第一间隔层，且它们的光学膜厚因第二间隔层和第三间隔层而各不相同，所述第二反射层设置于所述透射层上，并具有光半透射性，并且，所述滤光片层使得在第一区域至第三区域中透过不同波长的光。

【技术实现步骤摘要】
带干涉型滤光片层的基板及使用该基板的显示装置本申请是申请日为“2010年I月21日”、申请号为“201080055911.4”、题为“带干涉型滤光片层的基板及使用该基板的显示装置”的申请的分案申请。
本专利技术涉及带干涉型滤光片层的基板及使用该基板的显示装置。
技术介绍
随着开始进行地面数字广播和互联网、移动电话的普及，对液晶显示器、等离子体显示器等显示装置的需求正逐渐增大。虽然这些显示器的一部分是作为小型显示器而被装载于移动设备上，但另一方面，对大画面电视机的需求也正在扩大。 在现有的显示器中，在玻璃基板上设置矩阵布线，特别是在液晶显示器的情况下，在矩阵布线的交点处设置薄膜晶体管。与该阵列基板隔开微小间隙而配置相对基板。向阵列基板与相对基板之间的间隙内注入液晶，从而构成液晶显不装置。 对于液晶显示装置的颜色显示，一般是在相对基板上配置彩色滤光片，通过使红色、绿色、蓝色的光从使各色光透过的彩色滤光片射出，来对颜色进行控制。彩色滤光片使用采用了颜料、染料的吸收型彩色滤光片。因此，例如在从设置于液晶显示装置背面的背光源射入液晶显示装置的白色光透过蓝色滤光片的情况下，由于绿色、红色的光被蓝色滤光片所吸收，因此，会形成损耗。绿色、红色滤光片也相同，因此，最终滤光片中的光的利用效率会变成为3分之I。 为了解决该问题，如专利文献I所示，提出有使用干涉滤光片的方式。该方式是如下方法:即，根据各像素的颜色来设置的干涉滤光片选择性地使红色、绿色、或蓝色的光透过，无法通过干涉滤光片的光返回背光源侧，从而对光进行再利用。 专利文献1:日本专利特表平8 — 508114号公报
技术实现思路
然而，在如上所述的显示装置中，由于需要对各像素的每个像素形成使红色、绿色、蓝色透过的彩色滤光片层，因此，存在制造工艺极其复杂的问题。在重叠多层薄膜来形成干涉滤光片的情况下，为了形成红色、绿色、蓝色的各滤光片，需要重复三次以下工序:即，高精度重叠多层各薄膜的工序、以及对每个像素分离所重叠的多层膜的工序。在专利文献I中，尝试通过使用剥离工序来削减工序数，但在剥离工序中，有时在去除抗蚀剂的同时，所剥离的膜会再次附着于基板，从而导致成品率下降。因而，有时难以重新将剥离工序添加入液晶显示器制造工序。 因此，在本专利技术中，目的在于提供能用较少的工序数来形成、且光利用效率较高的带干涉型滤光片层的基板、以及使用该基板的显示装置。 本专利技术的带干涉型滤光片层的基板的特征在于，包括:平板状的基板；以及滤光片层，该滤光片层包括第一反射层、透射层、以及第二反射层，其中，所述第一反射层设置于基板上，并具有光半透射性，所述透射层由设置于所述第一反射层上的具有光透射性的第一间隔层、及设置于第一反射层上的一部分上的具有光透射性的第二间隔层和第三间隔层所形成，并具有第一区域、第二区域、及第三区域，所述第一区域、第二区域、及第三区域共同具有第一间隔层，且它们的光学膜厚因第二间隔层和第三间隔层而各不相同，所述第二反射层设置于所述透射层上，并具有光半透射性，并且，所述滤光片层使得在第一区域至第三区域中透过不同波长的光。 另外，本专利技术的显示装置的特征在于，包括:带滤光片层的基板；平板状的第二基板；以及光调制层，其中，所述带滤光片层的基板的特征在于，包括:平板状的第一基板；以及滤光片层，该滤光片层包括第一反射层、透射层、以及第二反射层，其中，所述第一反射层设置于基板上，并具有光半透射性，所述透射层由设置于所述第一反射层上的具有光透射性的第一间隔层、及设置于第一反射层上的一部分上的具有光透射性的第二间隔层和第三间隔层所形成，并具有第一区域、第二区域、及第三区域，所述第一区域、第二区域、及第三区域共同具有第一间隔层，且它们的光学膜厚因第二间隔层和第三间隔层而各不相同，所述第二反射层设置于所述透射层上，并对光进行反射，并且，所述滤光片层使得在第一区域至第三区域中透过不同波长的光，所述平板状的第二基板与所述第一基板的设置有滤光片层的主面相对，将所述光调制层保持于所述第一基板与所述第二基板之间。 根据本专利技术，能提供能用较少的工序数来形成、且光利用效率较高的带干涉型滤光片层的基板、以及使用该基板的显示装置。 【附图说明】 图1是表示本专利技术所涉及的带干涉型滤光片层的基板的结构的剖视图。 图2是表示本专利技术所涉及的带干涉型滤光片层的基板的光学特性的图。 图3是表示本专利技术所涉及的显示装置的结构的剖视图。 图4是表示彩色滤光片的光学特性的图。 图5是表示本专利技术所涉及的干涉型滤光片层的特性与效率之间的关系的图。 图6是表示带干涉型滤光片层的基板的光学特性的比较例的图。 图7(a)是表示图1的带干涉型滤光片层的基板的制造工序的图。 图7(b)是表示图1的带干涉型滤光片层的基板的制造工序的图。 图7(c)是表示图1的带干涉型滤光片层的基板的制造工序的图。 图8(a)是表示本专利技术所涉及的带干涉型滤光片层的基板的定位标记的结构的图。 图8(b)是表示本专利技术所涉及的带干涉型滤光片层的基板的定位标记的结构的剖视图。 图9(a)是表示本专利技术所涉及的干涉型滤光片层的结构的制造工序的图。 图9(b)是表示本专利技术所涉及的干涉型滤光片层的结构的制造工序的图。 图9(c)是表示本专利技术所涉及的干涉型滤光片层的结构的制造工序的图。 图10是表示本专利技术所涉及的其他带干涉型滤光片层的基板的结构的图。 图11是表示本专利技术所涉及的其他显示装置的结构的图。 图12是表示本专利技术所涉及的其他带干涉型滤光片层的基板的结构的图。 【具体实施方式】 下面，对本专利技术的一个实施方式进行详细说明。 图1是本专利技术的实施例所涉及的带滤光片层的基板22沿垂直于一个主面的方向的剖视图。图3是将该带滤光片层的基板22用于液晶面板29的一部分的液晶显示装置的剖视图。该带滤光片层的基板22是如图3所示那样隔着液晶层13与相对基板17相对的、作为液晶显示装置的显示面板29来使用的阵列基板。在相对基板17上设置有吸收型的彩色滤光片26。首先，利用图1，对带滤光片层的基板22进行说明。 这里，图1的带滤光片层的基板22采用干涉型的法布里一珀罗型滤光片来作为滤光片层25。 具体而言，滤光片层25由第一反射层2、第一间隔层4、第二间隔层5、第三间隔层6、以及第二反射层3形成。滤光片层25具有三种光学膜厚不同的区域。滤光片层25是一种干涉型的滤光片，该干涉型的滤光片利用因两个平行面(第一反射层2和第二反射层3)之间的光的多重反射而产生的干涉，来使反射率、透射率具有波长依存性。即，滤光片层25使得在三种区域中分别透过波长不同的光。 带滤光片层的基板22的具体结构如图1所示，由基板1、设置于基板I的一个主面上的滤光片层25、形成于滤光片层25上的外涂层8、设置于外涂层8上的栅极绝缘膜28、设置于栅极绝缘膜28上的像素电极9、以及设置于外涂层8上的一部分上的薄膜晶体管11构成。 在透明的玻璃基板I上利用硅氧化膜形成有底涂层7。在底涂层7上形成有滤光片层25。即，在底涂层7上形成有对可见光区域进行半透射、反射的第一反射层2。此外，作为第一间隔层4，在第一反射层2上形成有硅氧化膜。作为第二间本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带干涉型滤光片层的基板，其特征在于，包括：平板状的基板；以及滤光片层，该滤光片层包括第一反射层、透射层、以及第二反射层，其中，所述第一反射层设置于所述基板上，并具有光半透射性，所述透射层由设置于所述第一反射层上的具有光透射性的第一间隔层、及设置于第一反射层上的一部分上的具有光透射性的第二间隔层和第三间隔层所形成，并具有第一区域、第二区域、及第三区域，所述第一区域、第二区域、及第三区域共同具有第一间隔层，且它们的光学膜厚因第二间隔层和第三间隔层而各不相同，所述第二反射层设置于所述透射层上，并具有光半透射性，并且，所述滤光片层使得在所述第一区域至第三区域中透过不同波长的光。

【技术特征摘要】
1.一种带干涉型滤光片层的基板，其特征在于，包括: 平板状的基板；以及 滤光片层，该滤光片层包括第一反射层、透射层、以及第二反射层，其中，所述第一反射层设置于所述基板上，并具有光半透射性，所述透射层由设置于所述第一反射层上的具有光透射性的第一间隔层、及设置于第一反射层上的一部分上的具有光透射性的第二间隔层和第三间隔层所形成，并具有第一区域、第二区域、及第三区域，所述第一区域、第二区域、及第三区域共同具有第一间隔层，且它们的光学膜厚因第二间隔层和第三间隔层而各不相同，所述第二反射层设置于所述透射层上，并具有光半透射性，并且，所述滤光片层使得在所述第一区域至第三区域中透过不同波长的光。2.如权利要求1所述的带干涉型滤光片层的基板，其特征在于， 所述第一间隔层设置于所述第一反射层上， 所述第二间隔层设置于所述第一间隔层上的一部分上， 所述第三间隔层设置于所述第二间隔层上、以及未设置所述第二间隔层的范围内的所述第一间隔层上的一部分上。3.如权利要求1所述的带干涉型滤光片层的基板，其特征在于， 所述第一间隔层设置于所述第一反射层上， 所述第二间隔层设置于所述第一间隔层上的一部分上， 所述第三间隔层设置于未设置所述第二间隔层的范围内的所述第一间隔层上的一部分上。4.一种显示装置，其特征在于，包括: 平板状的第一基板； 滤光片层，该滤光片层包括第一反射层、透射层、以及第二反射层，其中，所述第一反射层设置于所述第一基板上，并具有光半透射性，所述透射层由设置于所述第一反射层上的具有光透射性的第一间隔层、及设置于第一反射层上的一部分上的具有光透射性的第二间隔层和第三间隔层所形成，并具有第一区域、第二区域、及第三区域，所述第一区域、第二区域、及第三区域共同具有第一间隔层，且它们的光学膜厚因第二间隔层和第三间隔层而各不相同，所述第二反射层设置于所述透射层上，并具有光半透射性，并且，所述滤光片层使得在所述第一区域至第三区域中透过不同波长的光； 平板状的第二基板，该平板状的第二基板与所述第一基板的设置有滤光片层的主面相对；以及 光调制层，将该光调制层保持于所述第一基板的设置有滤光片层的一个主面、和与所述一个主面相对的所述第二基板的另一个主面之间。5.如权利要求4所述的显示装置，其特征在于， 在所述第二基板上，设置有着色层，该...

【专利技术属性】
技术研发人员：中井　豊，小野　富男，本宫　佳典，额田　秀记，平山　雄三，永户　一志，宫崎　崇，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：日本;JP