5020纳米带通红外滤光片制造技术

本实用新型专利技术公开了一种5020纳米带通红外滤光片，包括以Si为原材料的基板，以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、SiO为第二镀膜层，且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间，其特征是所述第一镀膜层与第二镀膜层均由不同厚度的Ge和SiO交互排列而成，且第一镀膜层中的Ge层和SiO层，第二镀膜层中的Ge层和SiO层，所述第一镀膜层最内侧为SiO，所述第二镀膜层最内侧为Ge。本实用新型专利技术得到的5020纳米带通红外滤光片，通过上述的设计，该红外滤波片实现了一种适合于火焰探测检测领域的应用，且中心波长定位为5020纳米，透过率为90％，可增强对火焰探测的分辨能力，提高检测精度，更好的满足实际中的使用要求。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种红外滤光片，特别是5020纳米带通红外滤光片。
技术介绍
在自然界，任何物体在绝对零度(-273度)以上，都有红外谱线发出，而每种物质都有其特殊的发射或吸收特征峰。带通红外滤光片过滤、截止可见光同时允许特定的红外线通过。利用带通红外滤光片的这种允许物体的特征红外谱线透过的特性，可以探测出特定物质的存在，广泛应用于安防、环保、工业、科研等。带通红外滤光片的质量直接影响探测的精度和灵敏度。由于任何物体都在发出红外线，温度越高，辐射的红外线越强。在用于火焰探测中红外滤光片可以通过指定的红外线，因此对滤光片检测的要求精度要高。就目前用于火焰探测中的5020纳米带通红外滤光片，检测精度不高、透过率和信噪比低，精度差， 有时候出现误测的现象，不能满足市场发展的需要。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述现有技术的不足而提供一种峰值透过率高，能极大的提高信噪比，提高火焰探测精度的5020纳米带通红外滤光片。为了实现上述目的，本技术所设计的5020纳米带通红外滤光片，包括以Si为原材料的基板，以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、SiO为第二镀膜层,且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间，其特征是所述第一镀膜层由内向外依次排列有196nm厚度的SiO层、91nm厚度的Ge层、250nm厚度的SiO层、146nm厚度的Ge层、396nm厚度的SiO层、155nm厚度的Ge层、310nm厚度的SiO层、107nm厚度的Ge层、304nm厚度的SiO层、162nm厚度的Ge层、373nm厚度的SiO层、188nm厚度的Ge层、616nm厚度的SiO层、127nm厚度的Ge层、593nm厚度的SiO层、216nm厚度的Ge层、29Inm厚度的SiO层、292nm厚度的Ge层、298nm厚度的SiO层、308nm厚度的Ge层、275nm厚度的SiO层、76nm厚度的Ge层和427nm厚度的SiO层；所述第二镀膜层由内向外依次排列有153nm厚度的Ge层、716nm厚度的SiO层、309nm厚度的Ge层、1433nm厚度的SiO层、309nm厚度的Ge层、716nm厚度的SiO层、309nm厚度的Ge层、716nm厚度的SiO层、1238nm厚度的Ge层、426nm厚度的SiO层、407nm厚度的Ge层和464nm厚度的SiO层。上述各材料对应的厚度，其允许在公差范围内变化，其变化的范围属于本专利保护的范围，为等同关系。通常厚度的公差在IOnm左右。本技术得到的5020纳米带通红外滤光片，该红外滤波片实现了一种适合于火焰探测检测领域的应用，也可以用于气体测量。且中心波长定位为5020±1%纳米，峰值透过率达90 %以上，截止区透过率小于O. I %，大大提高了信噪比，可增强对火焰探测的分辨能力，提高检测精度，更好的满足实际中的使用要求。附图说明图I是实施例的整体结构示意图；图2是实施例提供的红外光谱透过率实测曲线图。图中第一镀膜层I、基板2、第二镀膜层3。具体实施方式以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。实施例 如图I所示，本实施例提供的5020纳米带通红外滤光片，包括以Si为原材料的基板2，以Ge、SiO为第一镀膜层I和以Ge、SiO为第二镀膜层3，且基板2设于第一镀膜层I与第二镀膜层3之间，第一镀膜层I由内向外依次排列镀有196nm厚度的SiO层、91nm厚度的Ge层、250nm厚度的SiO层、146nm厚度的Ge层、396nm厚度的SiO层、155nm厚度的Ge层、310nm厚度的SiO层、107nm厚度的Ge层、304nm厚度的SiO层、162nm厚度的Ge层、373nm厚度的SiO层、188nm厚度的Ge层、616nm厚度的SiO层、127nm厚度的Ge层、593nm厚度的SiO层、216nm厚度的Ge层、291nm厚度的SiO层、292nm厚度的Ge层、298nm厚度的SiO层、308nm厚度的Ge层、275nm厚度的SiO层、76nm厚度的Ge层和427nm厚度的SiO层；第二镀膜层3由内向外依次排列镀有153nm厚度的Ge层、716nm厚度的SiO层、309nm厚度的Ge层、1433nm厚度的SiO层、309nm厚度的Ge层、716nm厚度的SiO层、309nm厚度的Ge层、716nm厚度的SiO层、1238nm厚度的Ge层、426nm厚度的SiO层、407nm厚度的Ge层和464nm厚度的SiO层。如图2所示，本实施例得到的5020纳米带通红外滤光片，能实现中心波长定位在5020 土 I %纳米，峰值透过率达90 %以上，截止区透过率小于0.1%，大大提高了信噪比。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种5020纳米带通红外滤光片，包括以Si为原材料的基板(2)，以Ge、SiO为第一镀膜层(1)和以Ge、SiO为第二镀膜层(3)，且所述基板(2)设于第一镀膜层(1)与第二镀膜层(3)之间，其特征是所述第一镀膜层(1)由内向外依次排列有196nm厚度的SiO层、91nm厚度的Ge层、250nm厚度的SiO层、146nm厚度的Ge层、396nm厚度的SiO层、155nm厚度的Ge层、310nm厚度的SiO层、107nm厚度的Ge层、304nm厚度的SiO层、162nm厚度的Ge层、373nm厚度的SiO层、188nm厚度的Ge层、616nm厚度的SiO层、127nm厚度的Ge层、593nm厚度的SiO层、216nm厚度的Ge层、291nm厚度的SiO层、292nm厚度的Ge层、298nm厚度的SiO层、308nm厚度的Ge层、275nm厚度的SiO层、76nm厚度的Ge层和427nm厚度的SiO层；所述第二镀膜层(3)由内向外依次排列有153nm厚度的Ge层、716nm厚度的SiO层、309nm厚度的Ge层、1433nm厚度的SiO层、309nm厚度的Ge层、716nm厚度的SiO层、309nm厚度的Ge层、716nm厚度的SiO层、1238nm厚度的Ge层、426nm厚度的SiO层、407nm厚度的Ge层和464nm厚度的SiO层。...

【技术特征摘要】
1.一种5020纳米带通红外滤光片，包括以Si为原材料的基板(2)，以Ge、SiO为第一镀膜层(I)和以Ge、SiO为第二镀膜层(3)，且所述基板(2)设于第一镀膜层(I)与第二镀膜层(3)之间，其特征是所述第一镀膜层(I)由内向外依次排列有196nm厚度的SiO层、91nm厚度的Ge层、250nm厚度的SiO层、146nm厚度的Ge层、396nm厚度的SiO层、155nm厚度的Ge层、310nm厚度的SiO层、107nm厚度的Ge层、304nm厚度的SiO层、162nm厚度的Ge层、373nm厚度的SiO层、188nm厚度的Ge层、616nm厚度的SiO层、127nm厚度的Ge...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕晶，
申请(专利权)人：杭州麦乐克电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：