一种以蓝宝石为基底的短波红外带通滤光片制造技术

本发明专利技术公开了一种以蓝宝石为基底的短波红外带通滤光片，该滤光片使用了硅、一氧化硅和二氧化硅为不同折射率的膜层材料，在基底的两个表面分别沉积多层光学薄膜。一氧化硅作为间隔层膜层材料，降低了硅薄膜在带通区域存在吸收的影响。该滤光片元件可以使得在1.36～1.39微米(μm)区间具有良好的透光效果，平均透过率＞90％；在0.80～1.34μm和1.41～1.80μm区间截止，透过率小于1％。短波红外具有高灵敏度、高分辨率、昼夜成像等优点，广泛应用于遥感、测量等领域。该带通滤光片在短波红外具有很好的应用价值。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种以蓝宝石为基底的短波红外带通滤光片，其结构为：在基底的一面沉积正面带通膜系(1)，在基底的另一面沉积反面截止膜系(3)，其特征在于：a、所述的正面带通膜系(1)的膜系结构为：基底/H L H 2M H L H L H L H 2M H L H L H L H 2M H L H L/空气其中，H表示一个λ0/4光学厚度的Si膜层，L表示一个λ0/4光学厚度的SiO2膜层，M表示一个λ0/4光学厚度的SiO膜层，λ0为中心波长，M前的数字为膜层的厚度比例系数；b、所述的反面截止膜系(3)的膜系结构为：基底/.69H.76L 1.01H(1L 1H)4.99L.68H 2.38L/空气其中，H表示一个λ0/4光学厚度的Si膜层，L表示一个λ0/4光学厚度的SiO2膜层，λ0为中心波长，H与L前的数字为膜层的厚度比例系数。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：罗海瀚，刘定权，蔡清元，孔园园，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31