【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及红外滤光片，具体涉及一种温度探测用长波通红外滤光片及其制备方法。
技术介绍
由于红外测温技术具有响应速度快、准确、便捷和使用寿命长等特点，在冶金、电子、石化、交通、能源、橡胶、食品等行业均得到广泛应用，成为企业故障检测，产品质量控制和提高经济效益的重要手段。红外测温的主要原理是利用任何物体都会发出红外辐射，从而可以远距离、不接触、准确、实时、快速的，在不停电、不取样、不解体的情况下在线监测和诊断故障。同时，可以减少对设备的损害，避免停工停产造成的损失，节约人力和财力，某些领域还可以减少对人身的危害，对于各行业的现代化有着重要的意义。红外滤波片是红外测温技术中红外测温仪光电探测器的关键部分，通过滤光片可以使光电探测器排除环境中各种气体分子和其他影响因素，准确的接受特定物体对应波段的红外能量，提高测量的精度。但是，就目前用于温度探测用的5500～14000nm长波通红外滤光片，其通带透射率较低，截止波段不够宽，所以测量准确性、稳定性以及抗干扰的能力还有待提升，灵敏度差，不能满足市场发展的需要。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决上述现有技术的不足而提...
【技术保护点】
一种温度探测用长波通红外滤光片，其特征在于：(1)采用单晶Si作基板，硅双面抛光，厚度300±10μm，晶向<100>；(2)镀膜材料选择硫化锌ZnS和单晶锗Ge，在基板两个表面上分别沉积多层干涉薄膜；(3)一面膜系采用：以Sub/0.3L(0.5HL0.5H)6 0.3L 0.73(0.5HL0.5H)60.3L/Air，中心波长λ1＝4500nm为初始结构，利用膜系设计软件Essential Macloed中Refinement模块Simpex parameters和Optimac parameters优化得Sub/0.21L2.1H0.57L0.62H0....
【技术特征摘要】
1.一种温度探测用长波通红外滤光片，其特征在于：(1)采用单晶Si作基板，硅双面抛光，厚度300±10μm，晶向<100>；(2)镀膜材料选择硫化锌ZnS和单晶锗Ge，在基板两个表面上分别沉积多层干涉薄膜；(3)一面膜系采用：以Sub/0.3L(0.5HL0.5H)6 0.3L 0.73(0.5HL0.5H)60.3L/Air，中心波长λ1＝4500nm为初始结构，利用膜系设计软件Essential Macloed中Refinement模块Simpex parameters和Optimac parameters优化得Sub/0.21L2.1H0.57L0.62H0.61L0.24H0.91L0.58H2.3L0.83H0.91L0.86H0.98L1.02H0.72L1.01H0.97L0.92H0.91L1.5H0.95L3H0.7L0.91H0.8L2.1H0.56L2.74H0.12L/Air膜系；(4)另一面膜系采用：以Sub/(0.5HL0.5H)6 0.75(0.5HL0.5H)6/Air，中心波长λ2＝2400nm为初始结构，利用膜系设计软件Essential Macloed中Refinement模块Simpex parameters和Optimac parameters优化得Sub/0.57H1.5L0.92H0.71L0.64H0.91L0.58H1.3L0.83H0.91L0.86H0.98L1.02H0.32L0.64H0.78L0.72H0.81L0.59H0.75L0.68H0.75L0.71H0.75L0.75H0.76L0.74H0.32L/Air膜系；膜系中符号含义分别为：Sub为基板，Air为空气，H和L分别代表膜层Ge(高折射率材料层)和膜层ZnS(低折射率材料层)的一个1/4波长光学厚度，中心波长λ1＝4500nm，λ2＝2400nm，1H＝(4nH d)/λ；1L＝(4nL d)/λ，结构式中数字为膜层的厚度系数、结构式中的指数是膜堆镀膜的周期数。2.如权利要求1所述的一种温度探测用长波通红外滤光片，其特征在于：采用真空热蒸...
【专利技术属性】
技术研发人员：乔冠军，侯海港，刘桂武，邵海成，王明松，
申请(专利权)人：江苏大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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