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介质薄膜透射型空间窄带滤光片组合器件制造技术

技术编号:13234299 阅读:57 留言:0更新日期:2016-05-14 21:52
一种介质薄膜透射型空间窄带滤光片组合器件,特点在于其构成是沿光路入射方向依次包括第一长波通透射截止滤光片,第二长波通透射截止滤光片,所述的第一长波通透射截止滤光片和第二长波通截止滤光片结构相同,角谱选择特性一致,截止角度大于45度,所述的第一截止滤光片和第二截止滤光片夹角大于90度,且小于截止角度的2倍,所述的长波通透射截止滤光片由多层介质薄膜透射截止滤光片或Rugate薄膜透射截止滤光片构成。本发明专利技术的角谱选择性带宽达到了亚毫弧度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术设计滤光片组合器件,特别是一种介质薄膜透射型空间窄带滤光片组合器件
技术介绍
激光具有亮度高、相干性好、方向性好的特点,使其在众多领域得到广泛应用,尤其是高功率激光在工业加工、惯性约束核聚变和国防军事等领域发挥了重要作用。激光技术的发展离不开光学仪器的发展,随着高功率激光朝着更高功率的迈进,对于光学仪器的各项指标,如:抗光损伤阈值、光谱选择特性,以及角谱选择特性提出了更高的要求。在高功率激光系统中,介质薄膜作为良好的光谱和角谱选择性器件,对系统整体性能的发挥起着决定性作用。介质薄膜可分为传统的多层介质薄膜和rugate薄膜,多层介质薄膜是由高低折射率薄膜交替镀制而成,而rugate薄膜是折射率随膜层厚度连续变化的薄膜结构。介质薄膜具有优良的角谱选择特性,尤其在光束斜入射时,其角谱选择性较好,因此可以利用介质薄膜的组合结构来实现非聚焦型光束空间低通滤波的效果。据我所知,迄今为止还没有人设计利用两片相同的介质薄膜来实现透射型光束空间低通滤波特性。
技术实现思路
本专利技术的目的是提出一种介质薄膜透射型空间窄带滤光片组合器件,该滤光片在光束倾斜入射时,会对s光或P光具有一维空间窄带滤光的效果。本专利技术的技术解决方案如下: 一种介质薄膜透射型空间窄带滤光片组合器件,特点在于其构成是沿光路入射方向依次包括第一长波通透射截止滤光片,第二长波通透射截止滤光片,所述的第一长波通透射截止滤光片和第二长波通截止滤光片结构相同,角谱选择特性一致,截止角度大于45度,所述的第一截止滤光片和第二截止滤光片夹角大于90度,且小于截止角度的2倍,所述的长波通透射截止滤光片由多层介质薄膜透射截止滤光片或Rugate薄膜透射截止滤光片构成。所述的第一长波通透射截止滤光片和第二长波通透射截止滤光片可为在玻璃基底上是由高折射率膜层和低折射率膜层交替制备而成,所述的高折射率材料为A1205、Nb205、Hf02、Ta205或T12,所述的低折射率材料为S12,或所述的第一长波通透射截止滤光片和第二长波通透射截止滤光片可为在玻璃基底上镀制的折射率渐变的Rugate薄膜。本专利技术的技术效果: 本专利技术介质薄膜透射型空间窄带滤光片在光束倾斜入射时,具有较好的角谱选择特性,并基于光束倾斜入射时会产生s光和P光的空间分离,可分别设计针对s光和P光的薄膜结构,在光路中插入两块相同的长波通截止滤光片就可实现光束一维空间低通滤波的效果O【附图说明】图1为本专利技术介质薄膜透射型空间窄带滤光片组合器件实施例1的示意图。图2为实施例1介质薄膜透射型空间窄带滤光片4的角谱图。图3为实施例1介质薄膜透射型空间窄带滤光片组合器件的角谱图。【具体实施方式】下面结合中心波长为1064nm的介质薄膜透射型空间窄带滤光片组合器件的具体事例来说明本专利技术。但不应此限制本专利技术的保护范围。先请参阅图1,图1为本专利技术介质薄膜透射型空间窄带滤光片组合器件实施例1的截面示意图,由图可见,本专利技术的介质薄膜透射型空间窄带滤光片组合器件,包括两片结构相同的长波通截止透射型滤光片,滤光片的截止角度大于45度,两滤光片之间的夹角大于90度,且小于截止角度的2倍。倾斜Θ放置的长波通截止滤光片4和倾斜β-θ放置的长波通截止滤光片5,大于Θ的角谱成分I被长波通截止滤光片4给高效率反射,在主光路中不含有I的成分,小于Θ的角谱成分3被长波通截止滤光片高效率透射而被长波通截止滤光片5高效率反射,因此在主光路中不含成分3,等于Θ的角谱成分2被长波通截止滤光片4和长波通截止滤光片5同时高效率透射,最后在主光路中只有成分2,达到了角谱选择的效果。理论和实验表明,所述的介质薄膜透射型空间窄带滤光片组合结构的角谱选择性带宽带到了亚毫弧度。上述的长波通截止滤光片4和5基本膜系结构为参考波长1064nm,设计的基本膜系:Glas s八0.5LH0.5L) ~ 100/Air,高折射率材料为Ta2O5,低折射率材料S12。上述各膜层的制备可采用离子束溅射法。除上述实施方式外,滤光片也可以采用等离子体增强化学气相沉积法制作的Rugate薄膜,可以实现同样的效果。综合以上的实施方法,本专利技术提出的介质薄膜透射型空间窄带滤光片组合器件一维空间滤波器的设计方法是切实可行的,表明这种器件在光束倾斜入射条件下确实可以起到亚毫弧度角谱选择性,在垂直如该入射面的另一维度上放置与该结构类似的器件,可实现光束另一维度的空间滤波,从而实现光束的二维空间低通滤波效果,因此本专利技术具有重要的应用前景。【主权项】1.一种介质薄膜透射型空间窄带滤光片组合器件,特点在于其构成是沿光路入射方向依次包括第一长波通透射截止滤光片(4),第二长波通透射截止滤光片(5),所述的第一长波通透射截止滤光片(4)和第二长波通透射截止滤光片(5)结构相同,角谱选择特性一致,截止角度大于45度,所述的第一长波通透射截止滤光片(4)和第二长波通透射截止滤光片(5)夹角大于90度,且小于截止角度的2倍。2.根据权利要求1所述的介质薄膜透射型空间窄带滤光片组合器件,其特点在于所述的第一长波通透射截止滤光片(4)和第二长波通透射截止滤光片(5)可为在玻璃基底上是由高折射率膜层和低折射率膜层交替制备而成,所述的高折射率材料为A1205、Nb205、Hf02、Ta205或Ti02,所述的低折射率材料为Si02。3.所述的第一长波通透射截止滤光片(4)和第二长波通透射截止滤光片(5)可为在玻璃基底上镀制的折射率渐变的Rugate薄膜。【专利摘要】一种介质薄膜透射型空间窄带滤光片组合器件,特点在于其构成是沿光路入射方向依次包括第一长波通透射截止滤光片,第二长波通透射截止滤光片,所述的第一长波通透射截止滤光片和第二长波通截止滤光片结构相同,角谱选择特性一致,截止角度大于45度,所述的第一截止滤光片和第二截止滤光片夹角大于90度,且小于截止角度的2倍,所述的长波通透射截止滤光片由多层介质薄膜透射截止滤光片或Rugate薄膜透射截止滤光片构成。本专利技术的角谱选择性带宽达到了亚毫弧度。【IPC分类】G02B5/20【公开号】CN105549142【申请号】CN201610120232【专利技术人】郑光威 【申请人】郑光威【公开日】2016年5月4日【申请日】2016年3月3日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种介质薄膜透射型空间窄带滤光片组合器件,特点在于其构成是沿光路入射方向依次包括第一长波通透射截止滤光片(4),第二长波通透射截止滤光片(5),所述的第一长波通透射截止滤光片(4)和第二长波通透射截止滤光片(5)结构相同,角谱选择特性一致,截止角度大于 45度,所述的第一长波通透射截止滤光片(4)和第二长波通透射截止滤光片(5)夹角大于90度,且小于截止角度的2倍。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:郑光威
申请(专利权)人:郑光威
类型:发明
国别省市:陕西;61

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