光学滤波器装置、光模块及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供了光学滤波器装置、光模块及电子设备，该光学滤波器装置具备：波长可变干涉滤波器，具备设置有各电极垫（各电极垫563P、564P、551P、541P）的可动基板；底部基板，与可动基板相对，载置有所述波长可变干涉滤波器；固定部件7，配置于可动基板和底部基板之间，将这些基板固定，在俯视滤波器时，固定部件7配置于与上述各电极垫重叠的位置。

【技术实现步骤摘要】
光学滤波器装置、光模块及电子设备
[0001 ] 本专利技术涉及光学滤波器装置、光模块及电子设备。
技术介绍
以往已知一种干涉滤光器，其分别将反射膜隔开规定的间隙而相对配置于一对基板的相互相对的面。并且，已知将这种干涉滤光器收纳于壳体内的光学滤波器装置(例如，参照专利文献I及专利文献2)。 专利文献I中记载有红外线式气体检测器(光学滤波器装置)，其具备:具有板状的底座(底部基板)及圆筒状的盖的组件(壳体)。该壳体中，底部基板的周缘部分和盖的圆筒一端部通过被焊接或接合而被连接，在底部基板和盖之间，设置有收纳法布里-珀罗标准具(干涉滤波器)的空间。此外，干涉滤光器接合固定于检测部，该检测部接合固定于罐状组件的底座上。 专利文献2中记载有光学滤波器装置(光电子仪器)，其将可调谐的光学滤光器(干涉滤波器)固定及收纳于组件(壳体)的内部。在该光学滤波器装置中，干涉滤光器配置于壳体的端板(底部基板)上面安装的垂直组套(stack)内。 【现有技术文献】 【专利文献】 专利文献1:日本特开2008-70163号公报 专利文献2:日本特表2005-510756号公报 如上所述，专利文献I及专利文献2中记载了将干涉滤波器收纳以及固定于壳体内部的内容，但是没有记载具体的方法。 这里，存在如下情况:将用于变更例如反射膜间的间隙尺寸的驱动电极、用于除去反射膜的带电的带电除去电极设置于干涉滤波器的情况。设置有这种电极的情况下，存在如下问题:由于对电极进行配线时的按压力，而出现干涉滤波器倾斜或基板上产生挠曲的情况，其影响波及干涉滤波器的光学特性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供能够抑制光学特性下降的光学滤波器装置、光模块及电子设备。 本专利技术的光学滤波器装置其特征在于具备:干涉滤波器，具备设置有连接端子的基板；底部基板，与所述基板相对，所述底部基板载置有所述干涉滤波器；以及固定部件，配置于所述基板和所述底部基板之间，将所述基板固定于所述底部基板，所述固定部件在从基板的厚度方向俯视观察所述基板及所述底部基板时，配置于与所述连接端子重叠的位置。 这里，在本专利技术中，作为干涉滤光器，能够例示至少具备如下构成:上述基板；第一反射膜，设置于上述基板，使入射光的一部分反射且至少使一部分透过；以及第二反射膜，与上述第一反射膜相对，使入射光的一部分反射且至少使一部分透过。 此外，能够例示如下构成:电极设置于上述基板，上述连接端子与该电极电连接。 在本专利技术中，在将干涉滤光器的基板固定于底部基板时，在从基板的厚度方向俯视观察基板及底部基板时，固定基板和底部基板的固定部件配置于与设置于基板的连接端子重叠的位置。 在这种构成中，由于固定部件设置于与该连接端子重叠的位置，因此，向连接端子连接配线时，即便在按压力施加于连接端子的情况下，也能够抑制该按压力导致的干涉滤光器的倾斜。 在本专利技术的光学滤波器装置中，优选所述光学滤波器装置具备壳体，所述壳体具备所述底部基板，所述壳体收纳固定于所述底部基板的所述干涉滤波器，所述壳体具备通过引线接合而与所述连接端子电连接的壳体侧端子。 根据本专利技术，通过引线接合而电连接连接端子和壳体侧端子。在这种引线接合中，例如以钢丝钳保持前端形成有空气球的引线，按压钢丝钳而使空气球接触作为目标的连接端子而焊接。在这种引线接合中，即使在连接端子以微小尺寸形成的情况下，也能够精度良好地将接线连接于期望的位置。另一方面，将钢丝钳向连接端子按压时，向干涉滤光器施加压力，但如上所述，由于固定部件设置于俯视中与连接端子重叠的位置，因此能够抑制该按压力导致的干涉滤光器的倾斜或基板的翘曲以及挠曲。 在本专利技术的光学滤波器装置中，优选所述连接端子设置有多个，这些所述连接端子沿一方向配置，在所述俯视观察时，所述固定部件跨越多个所述连接端子而配置。 在本专利技术中，在俯视观察时，固定部件跨越多个所述连接端子而配置。 由此，由于通过对于多个连接端子配置一个固定部件，从而能够固定基板和底部基板，因此能够使制造工序简略化。 在本专利技术的光学滤波器装置中，优选所述连接端子设置有多个，在所述俯视观察时，所述固定部件单个配置于与多个的所述连接端子各自重叠的位置。 在本专利技术中，在俯视观察时，固定部件分别配置于与多个所述连接端子分别重叠的位置。 由此，由于能够在确保上述倾斜抑制效果的同时，减小固定部件所占的固定面积，因此，能够进一步减小上述的热膨胀系数之差产生的应力、粘结剂固化时的收缩应力，进一步抑制应力对于基板的影响，进一步抑制基板的翅曲。 在本专利技术的光学滤波器装置中，优选所述基板具有大致矩形状的外形，在所述矩形的一边侧具备端子设置部，所述端子设置部具有设置有所述连接端子的端子设置区域，与所述矩形的一边平行的第一方向上的所述端子设置区域的长度是所述端子设置部的长度的30%以下。 在本专利技术中，在大致矩形状的基板的一边侧设置端子设置部，在该端子设置部，沿着沿上述矩形的一边的第一方向设置所述多个连接端子。并且，沿作为与所述连接端子重叠的区域的端子设置区域的第一方向的长度是沿端子设置部的第一方向的长度的30%以下。 由此，由于能够在确保上述的倾斜抑制效果的同时，减小固定部件所占的固定面积，因此，能够进一步减小上述的热膨胀系数之差产生的应力、粘结剂固化时的收缩应力，进一步抑制应力对于基板的影响。 本专利技术的光学滤波器装置，优选所述固定部件是Ag膏。 干涉滤光器被收纳于壳体内部的情况下，通过将该壳体内部减压至例如大气压以下，能够有效地抑制大气中包含的气体等导致的反射膜的劣化、异物的附着。在这种情况下，通过将Ag膏用于固定部件，能够抑制固定部件的排出气体的产生(排气)，能够更切实地将壳体内部维持为减压状态。 本专利技术的光模块其特征在于具备:干涉滤波器，具备设置有连接端子的基板；底部基板，与所述基板相对，所述底部基板载置有所述干涉滤波器；固定部件，配置于所述基板和所述底部基板之间，将所述基板固定于所述底部基板；以及检测部，检测由所述干涉滤波器取出的光，所述固定部件在从基板的厚度方向俯视观察所述基板及所述底部基板时，配置于与所述连接端子重叠的位置。 在本专利技术中，与上述专利技术同样地，由于将固定部件设置于与连接端子重叠的位置，因此当向连接端子连接配线时，即便在按压力施加于连接端子的情况下，也能够抑制该按压力导致的干涉滤光器的倾斜，能够更切实地提供具有期望性能的光模块。 本专利技术的电子设备其特征在于具备:干涉滤波器，具备设置有连接端子的基板；底部基板，与所述基板相对，所述底部基板载置有所述干涉滤波器；固定部件，配置于所述基板和所述底部基板之间，将所述基板固定于所述底部基板；以及控制部，控制所述干涉滤波器，所述固定部件在从基板的厚度方向俯视观察所述基板及所述底部基板时，配置于与所述连接端子重叠的位置。 在本专利技术中，与上述专利技术同样地，由于将固定部件设置于与连接端子重叠的位置，因此当向连接端子连接配线时，即便在按压力施加于连接端子的情况下，也能够抑制该按压力导致的干涉滤光器的倾斜，能够更切实地提供具有期望性能的电子设备。 【附图说明】 图1是表示本专利技术涉及的第一实施方式的光学滤波器装置的概略构成的立体图。 图2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学滤波器装置，其特征在于，具备：干涉滤波器，具备设置有连接端子的基板；底部基板，与所述基板相对，所述底部基板载置有所述干涉滤波器；以及固定部件，配置于所述基板和所述底部基板之间，将所述基板固定于所述底部基板，在从基板的厚度方向俯视观察所述基板及所述底部基板时，所述固定部件配置于与所述连接端子重叠的位置。

【技术特征摘要】
2013.03.25 JP 2013-0615481.一种光学滤波器装置，其特征在于，具备: 干涉滤波器，具备设置有连接端子的基板； 底部基板，与所述基板相对，所述底部基板载置有所述干涉滤波器；以及 固定部件，配置于所述基板和所述底部基板之间，将所述基板固定于所述底部基板， 在从基板的厚度方向俯视观察所述基板及所述底部基板时，所述固定部件配置于与所述连接端子重叠的位置。2.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于， 所述光学滤波器装置具备壳体，所述壳体具备所述底部基板，所述壳体收纳固定于所述底部基板的所述干涉滤波器， 所述壳体具备通过引线接合而与所述连接端子电连接的壳体侧端子。3.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于， 所述连接端子设置有多个，这些所述连接端子沿一方向配置， 在所述俯视观察时，所述固定部件跨越多个所述连接端子而配置。4.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于， 所述连接端子设 置有多个， 在所述俯视观察时，所述固定部件单个配置于与多个的所述连接端子各自重叠的位置。5.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：斋藤大辅，松野靖史，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP