用于显示装置的倾斜小面制造方法及图纸

本发明专利技术提供用于经压印衬底上的所提供经掩蔽结构的系统、方法及设备。在一个方面中，这些经掩蔽结构可为供用作前灯膜的部分的反射小面。在另一方面中，这些经掩蔽结构可为供用作电容性触摸屏阵列的部分的经掩蔽布线。在一个方面中，所述结构可具有形成于其上的离散掩模，而在其它方面中，这些结构可具有自掩蔽属性且可包含干涉式黑色掩模。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于显示装置的倾斜小面
本专利技术涉及形成机电系统装置的组件的方法及借此形成的组件。
技术介绍
机电系统包含具有电及机械元件、致动器、换能器、传感器、光学组件(例如，镜)及电子器件的装置。可以多种尺寸制造机电系统，包含但不限于微米尺寸及纳米尺寸。举例来说，微机电系统(MEMS)装置可包含具有介于从约一微米到数百微米或更大的范围内的大小的结构。纳米机电系统(NEMS)装置可包含具有小于一微米的大小(举例来说，包含小于数百纳米的大小)的结构。可使用沉积、蚀刻、光刻及/或蚀刻掉衬底及/或所沉积材料层的部分或添加层以形成电装置及机电装置的其它微机械加工工艺形成机电元件。一种类型的机电系统装置称作干涉式调制器(IMOD)。如本文中所用，术语干涉式调制器或干涉式光调制器是指使用光学干涉原理选择性地吸收及/或反射光的装置。在一些实施方案中，干涉式调制器可包含一对导电板，所述对导电板中的一者或两者可为全部或部分透明的及/或反射的且能够在施加适当电信号时相对运动。在实施方案中，一个板可包含沉积于衬底上的固定层且另一板可包含通过气隙与所述固定层分离的反射膜。一个板相对于另一板的位置可改变入射于干涉式调制器上的光的光学干涉。干涉式调制器装置具有广泛的应用，且预期用于改进现有产品及形成新产品，尤其是具有显示能力的那些产品。
技术实现思路
本专利技术的系统、方法及装置各自具有数个创新性方面，所述方面中的单个方面均不单独地决定本文中所揭示的所要属性。本专利技术中所描述的标的物的一个创新性方面可实施于一种设备中，所述设备包含具有形成于衬底的第一表面中的多个凹痕的柔性衬底及至少部分位于所述凹痕内的反射小面，其中所述反射小面包含位于所述小面的面向所述凹痕的侧上的反射表面及安置于所述衬底的相对侧上的小面掩蔽结构，其中所述小面掩蔽结构的反射性小于所述反射表面。所述小面掩蔽结构可包含光致抗蚀剂层或干涉式黑色掩模。另外，所述设备可包含位于所述柔性衬底上的多个经掩蔽导线，其中所述多个经掩蔽导线中的每一者包含导电材料条带及导线掩蔽结构，其中导线掩蔽层的反射性小于所述导电材料条带。本专利技术中所描述的标的物的另一创新性方面可实施于一种制作设备的方法中，所述方法包含：提供衬底，所述衬底具有形成于所述衬底的第一表面上的多个凹痕；在所述衬底的所述第一表面上方形成反射层；在所述反射层上方形成经图案化掩蔽层；及使用所述经图案化掩蔽层作为掩模来图案化所述反射层以在所述衬底的所述第一表面中的所述凹痕内形成经掩蔽反射小面。所述衬底可为柔性的或可为实质上刚性的。图案化所述反射层还可包含使用所述掩蔽层作为掩模来图案化所述反射层以形成在所述衬底的所述第一表面的位于所述衬底的所述第一表面中的所述凹痕之间的平坦部分上方延伸的经掩蔽布线。在随附图式及以下描述中阐明本说明书中所描述的标的物的一或多个实施方案的细节。根据所述描述、图式及权利要求书将明了其它特征、方面及优点。注意，以下各图的相对尺寸可能并未按比例绘制。附图说明图1展示描绘干涉式调制器(IMOD)显示装置的一系列像素中的两个邻近像素的等角视图的实例。图2展示图解说明并入有3×3干涉式调制器显示器的电子装置的系统框图的实例。图3展示图解说明图1的干涉式调制器的可移动反射层位置对所施加电压的图的实例。图4展示图解说明当施加各种共用电压及分段电压时干涉式调制器的各种状态的表的实例。图5A展示图解说明在图2的3×3干涉式调制器显示器中的显示数据帧的图的实例。图5B展示可用于写入图5A中所图解说明的显示数据帧的共用信号及分段信号的时序图的实例。图6A展示图1的干涉式调制器显示器的部分横截面的实例。图6B到6E展示干涉式调制器的不同实施方案的横截面的实例。图7展示图解说明用于干涉式调制器的制造工艺的流程图的实例。图8A到8E展示制作干涉式调制器的方法中的各种阶段的横截面示意性图解说明的实例。图9A到9E展示用于在柔性衬底上形成经掩蔽结构的工艺的实例。图10A展示图9A的区段10的细节视图的实例。图10B展示类似于图10A的区段的区段的替代细节视图的实例。图11A及11B展示用于在柔性衬底上形成经自掩蔽结构的工艺中的两个步骤的实例。图12A到12C展示用于在相同柔性衬底上制作经掩蔽小面及经掩蔽导线的工艺的实例。图13展示并入有具有形成于其上的经掩蔽特征的衬底的显示装置的实例。图14展示图解说明用于在柔性衬底上形成经掩蔽结构的制造工艺的流程图的实例。图15A及15B展示图解说明包含多个干涉式调制器的显示装置的系统框图的实例。在各图式中，相似参考编号及名称指示相似元件。具体实施方式以下详细描述出于描述创新性方面的目的而针对于某些实施方案。然而，可以多种不同方式应用本文中的教示。所描述的实施方案可在经配置以显示图像(无论是处于运动(例如，视频)还是静止的(例如，静止图像)，且无论是文本、图形的还是图片的)的任一装置中实施。更特定来说，本专利技术预期：所述实施方案可实施于以下多种电子装置中或可与所述电子装置相关联：例如(但不限于)，移动电话、具有多媒体因特网能力的蜂窝式电话、移动电视接收器、无线装置、智能电话、装置、个人数据助理(PDA)、无线电子邮件接收器、手持式或便携式计算机、上网本、笔记本计算机、智能本、平板计算机、打印机、复印机、扫瞄仪、传真装置、GPS接收器/导航器、相机、MP3播放器、摄录像机、游戏控制台、手表、钟表、计算器、电视监视器、平板显示器、电子阅读装置(例如，电子阅读器)、计算机监视器、汽车显示器(例如，里程表显示器等等)、驾驶舱控制件及/或显示器、相机视图显示器(例如，车辆的后视相机的显示器)、电子照片、电子告示牌或标牌、投影仪、建筑结构、微波炉、冰箱、立体声系统、盒式录音机或播放器、DVD播放器、CD播放器、VCR、无线电设备、便携式存储器芯片、洗衣机、干衣机、洗衣机/干衣机、停车计时器、封装(例如，MEMS及非MEMS)、美学结构(例如，一件珠宝上的图像显示器)及多种机电系统装置。本文中的教示还可用于非显示应用中，例如(但不限于)：电子切换装置、射频滤波器、传感器、加速计、陀螺仪、运动感测装置、磁力计、消费型电子器件的惯性组件、消费型电子产品的部件、变容二极管、液晶装置、电泳装置、驱动方案、制造工艺及电子测试设备。因此，所述教示并不意欲限制于仅描绘于各图中的实施方案，而是具有所属领域的技术人员将容易明了的宽广适用性。显示装置可包含形成于其上的互补结构以补充显示装置的操作。举例来说，可在显示装置的前面放置前灯系统以照明反射式显示器，且可在显示装置的前面放置触摸屏阵列以接收用户输入。这些结构及类似结构通常具备补充掩模或包含自掩蔽属性，使得可将所述结构放置于显示器与观看者之间的位置中而不显著影响显示器的外观。这些互补结构可形成于与显示装置相异的一或多个衬底上。这些衬底可为柔性塑料衬底或者可为柔性或刚性的玻璃衬底。接着，可将具有互补结构的衬底附接(例如，通过粘附、接合等)到显示装置或紧密接近(靠近)于显示装置而放置。可实施本专利技术中所描述的标的物的特定实施方案以实现以下潜在优点中的一或多者。由于这些互补结构(例如触摸屏与前灯膜)不需要如显示装置本身的组件的那样精确对准，因此其可形成于一或多个单独衬底上且接着附接到显示装置。通过使用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种设备，其包括：柔性衬底，其具有形成于所述衬底的第一表面中的多个凹痕；及反射小面，其至少部分地位于所述凹痕内，其中所述反射小面包含：反射表面，其位于所述小面的面向所述凹痕的侧上；及小面掩蔽结构，其在所述反射小面的与所述衬底相对的侧上，其中所述小面掩蔽结构的反射性小于所述反射表面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.12.22 US 61/579,554;2012.09.21 US 13/624,3331.一种显示设备，其包括：柔性衬底，其具有形成于所述柔性衬底的第一表面中的多个凹痕；及反射小面，其至少部分地位于所述凹痕内，其中所述反射小面包含：反射表面，其位于所述反射小面的面向所述凹痕的侧上；及小面掩蔽结构，其在所述反射小面的与所述柔性衬底相对的侧上，其中所述小面掩蔽结构的反射性小于所述反射表面，且其中所述小面掩蔽结构包含光致抗蚀剂层，且所述小面掩蔽结构为实质上非反射不透明材。2.根据权利要求1所述的显示设备，其中所述柔性衬底的所述第一表面包含位于所述柔性衬底中的所述凹痕之间的平坦区域，且其中所述反射小面包含经定向而与所述柔性衬底的所述平坦区域成角度的倾斜侧壁。3.根据权利要求2所述的显示设备，其中所述反射小面具有高度为至少0.5μm的截头圆锥形形状。4.根据权利要求2所述的显示设备，其中所述倾斜侧壁相对于所述衬底的所述平坦区域定向的所述角度在40°与50°之间。5.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的显示设备，其中所述反射表面包含铝。6.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的显示设备，其中所述反射表面包含金属油墨。7.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的显示设备，其另外包括：多个经掩蔽导线，其位于所述柔性衬底上，其中所述多个经掩蔽导线中的每一者包含：导电材料条带；及导线掩蔽结构，其具有至少一个导线掩蔽层，其中所述导线掩蔽层的反射性小于所述导电材料条带。8.根据权利要求7所述的显示设备，其中所述导电材料条带位于所述导线掩蔽结构与所述柔性衬底之间。9.根据权利要求7所述的显示设备，其中所述多个经掩蔽导线彼此实质上平行地延伸。10.根据权利要求7所述的显示设备，其中所述柔性衬底的所述第一表面包含位于所述柔性衬底中的所述凹痕之间的平坦区域，且其中所述多个经掩蔽导线在所述柔性衬底的所述第一表面的所述平坦区域上方延伸。11.根据权利要求7所述的显示设备，其中所述导线掩蔽结构包含光致抗蚀剂层。12.根据权利要求7所述的显示设备，其中所述导线掩蔽结构包含干涉式暗掩模。13.根据权利要求7所述的显示设备，其中所述多个经掩蔽导线的宽度小于5μm。14.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的显示设备，其另外包括：显示器衬底，其中所述柔性衬底位于所述显示器衬底与所述反射小面之间，且其中所述反射小面的所述反射表面面向所述显示器衬底；及反射式显示器，其位于所述显示器衬底的与所述柔性衬底相对的侧上。15.根据权利要求14所述的显示设备，其中所述柔性衬底另外包含形成于所述柔性衬底上的多个经掩蔽导线。16.根据权利要求15所述的显示设备，其另外包括位于所述柔性衬底的与所述显示器衬底相对的侧上的第二柔性衬底，其中所述第二柔性衬底包含形成于所述第二柔性衬底上的第二多个经掩蔽导线，且其中第一多个经掩蔽导线实质上正交于第二多个经掩蔽导线而延伸。1...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗伯特·L·霍尔曼，克里斯托弗尔·A·莱弗里，汤民豪，
申请(专利权)人：高通MEMS科技公司，
类型：发明
国别省市：美国;US