波长可变干涉滤波器、光学模块以及电子设备制造技术

本发明专利技术涉及波长可变干涉滤波器、光学模块以及电子设备。波长可变干涉滤波器(5)具备多个滤波器部(50)，所述滤波器部(50)具备：相互相对的一对反射膜(54、55)、以及变更一对反射膜(54、55)的间隔的间隙变更部，多个所述滤波器部(50)相对于与反射膜(54、55)的反射面平行的配置面二维配置，从沿配置面的规定方向(第一方向(V))观察时，在沿与规定方向(第一方向(V))交叉的第一假想直线(L1)以规定的间隔相邻的两个反射膜(54、55)之间，配置于与第一假想直线(L1)上不同的位置的其他滤波器部(50C)的反射膜(54、55)与第一假想直线(L1)上的反射膜(54、55)的一部分重叠并且无间隙地配置。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备多个滤波器部，所述滤波器部具备：相互相对的一对反射膜、以及变更所述一对反射膜的间隔的间隙变更部，多个所述滤波器部二维配置于所述反射膜的反射面平行的配置面，从沿所述配置面的规定方向观察时，在沿与所述规定方向交叉的第一假想直线以规定的间隔相邻的两个反射膜之间，配置于与所述第一假想直线上不同的位置的其他滤波器部的反射膜与所述第一假想直线上的所述反射膜的一部分重叠并且无间隙地配置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：佐野朗，牧垣奉宏，樱井和徳，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP