干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备。波长可变干涉滤波器(5)具备：固定基板(51)；固定反射膜(54)，设置于固定基板(51)的与可动基板(52)相对的整个面上，由多层膜构成；可动反射膜(55)，与固定反射膜(54)相对；以及第一镜电极(571)，设置在固定反射膜(54)上。【专利说明】干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备
本专利技术涉及干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备。
技术介绍
以往，已知有如下的干涉滤波器(例如，参照专利文献I):具有一对相互相对的反射膜，并通过改变此反射膜间的距离(间隙尺寸)，从而从测量对象的光选择规定波长的光并使其射出。 在此专利文献I记载的干涉滤波器中，在两块光学基板相对的面上设置一对反射膜，并在各光学基板的反射膜的外侧设置电容电极。 【现有技术文献】 【专利文献】 专利文献1:日本特开2002-277758号公报 可是，在专利文献I记载的干涉滤波器中，例示出金属膜与电介质多层膜作为反射膜。此处，当使用电介质多层膜作为反射膜时，一般，在光学基...
【技术保护点】
一种干涉滤波器，其特征在于，具备：基板；第一反射膜，设置于所述基板的一个面，且由多个层构成；第二反射膜，与所述第一反射膜相对；以及电极，设置于所述第一反射膜上，所述第一反射膜包括与所述第二反射膜相对的区域，且所述第一反射膜设置于从该区域至所述基板的外周缘的区域。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：新东晋，佐野朗，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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