光学滤波器、光模块、电子设备及光学滤波器的制造方法技术

本发明专利技术提供了光学滤波器、光模块、电子设备及光学滤波器的制造方法，该光学滤波器具备：相互对向配置的固定基板(15)及可动基板(16)；设置于固定基板(15)的可动基板(16)侧的第一反射膜(18)；设置于可动基板(16)的固定基板(15)侧且与第一反射膜(18)相对的第二反射膜(19)；重叠设置于第一反射膜(18)且具有透光性及导电性的第一导电膜(26)；重叠设置于第二反射膜(19)且具有透光性及导电性的第二导电膜(27)；与第一保护膜(26)连接的第一端子(29)；与第二保护膜(27)连接的第二端子(32)，其中，第一端子(29)和第二端子(32)被电性地开闭。

【技术实现步骤摘要】
在2013年7月8日提交日本专利申请N0.2013-163945的全部内容结合于此。
本专利技术涉及。
技术介绍
以往，从入射光中选择指定的波长的光并射出的光学滤波器被活用。而且，在专利文献I中公开有射出指定的波长的光的光学滤波器。据此，光学滤波器对向配置一对基板，将反射膜设置于这些基板的相对的各个面上。光学滤波器成为在这些反射膜的周围分别设置电极的同时将隔膜部设置于反射膜的周围的构造。 该光学滤波器能够选择性地取出与对向的一对反射膜间的间隙相对应的波长的光。就反射膜间的间隙而言，能够通过将电压施加于设置于一侧基板的固定电极和设置于另一侧的基板的可动电极，从而可以通过静电驱动将间隙控制为期望值。 【现有技术文献】 【专利文献】 专利文献1:日本特开2012-27224号公报 光学滤波器也使用于包含水分的空气中。水分子在空气中移动时，分子彼此反复碰撞而带电。带电的水分子附着于反射膜时，反射膜带电。并且，在对向的反射膜之间产生电压差，静电力作用于反射膜间。由此，对向的反射膜的间隔变动。反射膜的间隔其影响波及至透过光学滤波器的光的波长，因此，当反射膜的间隔变动时，透过光学滤波器的光的波长变动。因此，期望一种透过光学滤波器的光的波长难以变动的光学滤波器和高效率地制造该光学滤波器的方法。
技术实现思路
本专利技术为了解决上述问题而提出，其能够通过以下的实施方式或者适用例而实现。 [适用例I] 本适用例涉及的光学滤波器的特征在于，具备:第一反射膜；第二反射膜，与所述第一反射膜相对；第一导电膜，重叠设置于所述第一反射膜的与所述第二反射膜相对的面，所述第一导电膜具有透光性及导电性；第二导电膜，重叠设置于所述第二反射膜的与所述第一反射膜相对的面，所述第二导电膜具有透光性及导电性；第一端子，与所述第一导电膜连接；以及第二端子，与所述第二导电膜连接，所述第一端子和所述第二端子被电性地开闭。 根据本适用例，光学滤波器具备第一反射膜及第二反射膜，第一反射膜和第二反射膜被相对配置。第一反射膜及第二反射膜将入射光的一部分反射且一部分透过。在第一反射膜和第二反射膜之间产生光的多重反射，相位吻合的光向入射光行进的方向透过并行进。第一导电膜重叠设置于第一反射膜，第二导电膜重叠设置于第二反射膜。各反射膜由于导电膜而难以产生经时变化。 第一反射膜及第二反射膜具有导电性。并且，第一端子连接于第一导电膜，第二端子连接于第二导电膜。并且，第一端子和第二端子被电性地开闭。水分附着于第一反射膜和第二反射膜而会带电。此时，在第一反射膜和第二反射膜之间产生电位差时，静电力作用于第一反射膜和第二反射膜之间。第一反射膜和第二反射膜的距离由于静电力而变化。此时，第一反射膜和第二反射膜被短路，因此，第一反射膜和第二反射膜的电位差消失。从而，由于静电力不再作用于第一反射膜和第二反射膜之间，因此能够精度良好地维持第一反射膜和第二反射膜的距离。其结果是，能够抑制透过光学滤波器的光的波长变动。 [适用例2] 在上述适用例涉及的光学滤波器中，其特征在于，所述第一反射膜及所述第二反射膜是包含银的膜，所述第一导电膜及所述第二导电膜中的至少一个是以In-Ga-O为主要成分的膜。 根据本适用例，第一反射膜及第二反射膜为含有银的膜，为反射率高的膜。并且，第一反射膜和第二反射膜为以In-Ga-O为主成分的膜。由于In-Ga-O和银难以反应，因此，能够抑制第一反射膜及第二反射膜的劣化。 [适用例3] 在上述适用例涉及的光学滤波器中，其特征在于，所述第一反射膜及所述第二反射膜中的至少一个的侧面露出。 根据本适用例，第一反射膜和第二反射膜的侧面露出。也就是说，第一反射膜的侧面不被第一导电膜所覆盖，第二反射膜的侧面不被第二导电膜所覆盖。第一反射膜及第一导电膜的形状通过层叠第一反射膜的材料的固态膜和第一导电膜的材料的固态膜且形成图案而形成。从而，与将第一反射膜形成图案之后再将第一导电膜形成图案时相比，能够减少工序。第二反射膜和第二导电膜的形态与第一反射膜和第一导电膜的形态相同。从而，与将第二反射膜形成图案之后再将第二导电膜形成图案时相比，能够减少工序。其结果是，能够高效率地制造光学滤波器。 [适用例4] 在上述适用例涉及的光学滤波器中，其特征在于，使用所述第一端子和所述第二端子检测所述第一导电膜和所述第二导电膜之间的静电电容。 根据本适用例，第一端子和第一导电膜连接，第二端子和第二导电膜连接。并且，使用第一端子和第二端子检测第一导电膜和第二导电膜之间的静电电容。静电电容、第一反射膜和第二反射膜之间的距离存在负的相关关系。从而，通过检测静电电容，能够检测第一反射膜和第二反射膜之间的距离。通过从第一反射膜和第二反射膜之间的距离减去第一反射膜和第二反射膜的膜厚而算出第一反射膜和第二反射膜之间的距离。其结果是，能够检测第一反射膜和第二反射膜之间的距离。 [适用例5] 在上述适用例涉及的光学滤波器中，其特征在于，所述第一反射膜及所述第二反射膜具备:被照射光的有效范围、以及在包围所述有效范围的地方不被照射光的预备范围。 根据本适用例，第一反射膜及第二反射膜具备有效范围和预备范围。有效范围为光所照射的范围，预备范围为光所不照射的范围。预备范围包围有效范围而配置。第一反射膜及第二反射膜的侧面露出而存在反射率下降的可能性。此时，反射率降低的是预备范围，由于有效范围远离侧面，因此反射率难以下降。从而，光学滤波器能够提高反射率的长期可靠性。 [适用例6] 本适用例涉及的光模块的特征在于，具备:第一反射膜；第二反射膜，与所述第一反射膜相对；第一导电膜，重叠设置于所述第一反射膜的与所述第二反射膜相对的面，所述第一导电膜具有透光性及导电性；第二导电膜，重叠设置于所述第二反射膜的与所述第一反射膜相对的面，所述第二导电膜具有透光性及导电性；以及电开闭部，电性地开闭所述第一导电膜和所述第二导电膜。 根据本适用例，第一基板和第二基板相互相对配置。第一反射膜设置于第一基板的第二基板侧，第二反射膜设置于第二基板的第一基板侧。由此，第一反射膜和第二反射膜相对配置。第一反射膜和第二反射膜反射入射光的一部分且使一部分透过。在第一反射膜和第二反射膜之间光发生多重反射，沿吻合相位的光行进的方向透过而行进。第一导电膜重叠设置于第一反射膜，第二导电膜重叠设置于第二反射膜。各反射膜由于导电膜难以产生经时变化。 第一导电膜及第二导电膜具有导电性。并且，电开闭部电性地开闭第一导电膜和第二导电膜。第一导电膜和第二导电膜有时由于水分附着而带电。此时，在第一导电膜和第二导电膜之间产生电位差，所以静电力作用域第一导电膜和第二导电膜之间。由于静电力，第一反射膜和第二反射膜之间的距离变短。此时，由于第一导电膜和第二导电膜被短路，所以第一导电膜和第二导电膜之间的电位差变没。因此，由于在第一导电膜和第二导电膜之间静电力变得不作用，所以可以高精度地维持第一反射膜和第二反射膜之间的距离。其结果是，可以抑制透过滤波器的光的波长变动。 [适用例7] 在上述适用例涉及的光学滤波器中，其特征在于，所述光模块具备电容检测部，所述电容检测部检测所述第一导电膜和所述第二导电膜之间的静电电容。 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学滤波器，其特征在于，具备：第一反射膜；第二反射膜，与所述第一反射膜相对；第一导电膜，重叠设置于所述第一反射膜的与所述第二反射膜相对的面，所述第一导电膜具有透光性及导电性；第二导电膜，重叠设置于所述第二反射膜的与所述第一反射膜相对的面，所述第二导电膜具有透光性及导电性；第一端子，与所述第一导电膜连接；以及第二端子，与所述第二导电膜连接，所述第一端子和所述第二端子被电性地开闭。

【技术特征摘要】
2013.08.07 JP 2013-1639451.一种光学滤波器，其特征在于，具备: 第一反射膜； 第二反射膜，与所述第一反射膜相对； 第一导电膜，重叠设置于所述第一反射膜的与所述第二反射膜相对的面，所述第一导电膜具有透光性及导电性； 第二导电膜，重叠设置于所述第二反射膜的与所述第一反射膜相对的面，所述第二导电膜具有透光性及导电性； 第一端子，与所述第一导电膜连接；以及 第二端子，与所述第二导电膜连接， 所述第一端子和所述第二端子被电性地开闭。2.根据权利要求1所述的光学滤波器，其特征在于， 所述第一反射膜及所述第二反射膜是包含银的膜，所述第一导电膜及所述第二导电膜中的至少一个是以In-Ga-O为主要成分的膜。3.根据权利要求1所述的光学滤波器，其特征在于， 所述第一反射膜及所述第二反射膜中的至少一个的侧面露出。4.根据权利要求1所述的光学滤波器，其特征在于， 使用所述第一端子和所述第二端子检测所述第一导电膜和所述第二导电膜之间的静电电容。5.根据权利要求1所述的光学...

【专利技术属性】
技术研发人员：新东晋，北原浩司，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP