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本发明涉及干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备。波长可变干涉滤波器(5)具备：固定基板(51)；固定反射膜(54)，设置于固定基板(51)的与可动基板(52)相对的整个面上，由多层膜构成；可动反射膜(55)，与固定反射膜(54)相...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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