【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供了干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备。波长可变干涉滤波器(5)具备：固定反射膜(54)，由多个层构成，且该多个层的最外面的层为固定导电层(542)；以及可动反射层(55)，固定反射膜(54)具有：第一区域(54A)，与可动反射膜(55)相对；以及第二区域(54B)，从第一区域(54A)的外周缘连续至该第一区域(54A)外，第二区域(54B)的固定导电层(542)的一部分为能配线连接的端子部。【专利说明】干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备
本专利技术涉及干涉滤波器、光学滤波器设备、光模块以及电子设备。
技术介绍
以往，已知有如下的干涉滤波器(例如，参照专利文献I):具有一对相互相对的反射膜，并通过改变此反射膜间的距离(间隙尺寸)，从而从测量对象的光选择规定波长的光并使其射出。 此专利文献I的干涉滤波器中，在各反射膜上配置有电极，通过向电极间施加电压，从而可以改变反射膜间的间隙尺寸。另外，使用电介质多层膜作为反射膜，能够使光谱的半值宽度小的(分辨率高的)光透过。 【现有技术文献】 【专利文...
【技术保护点】
一种干涉滤波器，其特征在于，具备：第一反射膜，由多个层构成，且该多个层的最外面的层是导电层；以及第二反射膜，与所述第一反射膜相对，所述第一反射膜具有：第一区域，与所述第二反射膜相对；以及第二区域，从所述第一区域的外周缘连续至该第一区域外，所述第二区域的所述导电层的一部分是能配线连接的端子部。
【技术特征摘要】
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