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干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备制造方法及图纸
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下载干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备的技术资料
文档序号:11304292
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本发明提供了干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备。波长可变干涉滤波器(5)具备:固定反射膜(54),由多个层构成,且该多个层的最外面的层为固定导电层(542);以及可动反射层(55),固定反射膜(54)具有:第一区域(54A),与...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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