一种常压化学气相沉积装置制造方法及图纸

为克服现有技术中常压化学气相沉积装置在运行过程中，只能在化学气相沉积结束后检查晶圆才能察觉到异常，不能及时发觉异常，也无法及时采取保护措施的问题，本实用新型专利技术提供了一种常压化学气相沉积装置，其包括一报警保护模块，所述报警保护模块包括可编程控制器、信号检测单元、报警单元；所述信号检测单元连接与所述可编程控制器的输入接口相连；所述报警单元与可编程控制器的输出接口连接。本实用新型专利技术实施例提供的常压化学气相沉积装置，由于在其上集成了报警保护模块，可以检测气体喷嘴的喷气状态及沉积尾气排放口的排气状态。当出现异常时，可编程控制器可及时通过报警单元进行警示，提醒操作人员及时采取措施。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种常压化学气相沉积装置
本技术涉及化学气相沉积领域，具体涉及一种常压化学气相沉积装置。
技术介绍
在半导体领域中，一般通过化学气相沉积方法在晶圆表面沉积薄膜。化学气相沉积(英文全称:Chemical Vapor Deposition,简称CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，制备材料的气相生长方法，它是把一种或几种含有构成薄膜元素的化合物、单质气体通入放置有基材的反应室，借助空间气相化学反应在基体表面上沉积固态薄膜的工艺技术。它本质上属于原子范畴的气态传质过程。低压化学气相沉积(英文全称:Low PressureChemical Vapor Deposition,简称:LPCVD):在低压环境下的CVD制程。降低压力可以减少不必要的气相反应，以增加晶圆上薄膜的一致性。现有的常压化学气相沉积装置如图1所示，包括一反应机台1，所述反应机台I内设有反应腔10 ;所述反应腔10内设有进料口 la、反应传送带17、出料口 lb、加热装置lc、若干气体喷嘴12及若干沉积尾气排放口 14 ；所述进料口 Ia处设有用于从送料盒中向进料口 Ia载入晶圆的进料口机械手臂11 ;所述出料口 Ib处设有用于从出料口 Ib向收料盒中收集晶圆的出料口机械手臂16 ；所述加热装置Ic设置在反应传送带17下，用于加热所述晶圆；所述反应传送带17通过一马达驱动,将所述晶圆从进料口 Ia传送向出料口 Ib ；所述若干气体喷嘴12设置在所述反应传送带17上方，并靠近所述反应传送带17，用于向所述晶圆上喷射反应气体；所述若干沉积尾气排放口 14将化学气压沉积反应后的废气排出。同时，还设有其他部件，所述气体喷嘴两边设有气帘13，比如设有清洗所述反应传送带的清洗水槽18。所述反应腔10内，在所述反应传送带17和出料口 Ib之间，还设有一冷却传送带15。然而，现有的运行过程中易频繁出现气体喷嘴12停止喷气、沉积尾气排放口 14不能进行排放等异常状况，会导致晶圆在工序后会产生沉积不完全或者厚度不均匀等问题，需要重新返工，甚至导致晶圆报废。当在运行过程中出现异常时，只能在化学气相沉积结束后，检查芯片才能察觉到，不能及时发觉，也无法及时采取保护措施。
技术实现思路
为克服现有技术中常压化学气相沉积装置在运行过程中，只能在化学气相沉积结束后检查晶圆才能察觉到异常，不能及时发觉异常，也无法及时采取保护措施的问题，本技术提供了 一种常压化学气相沉积装置。一种常压化学气相沉积装置，包括一反应机台，所述反应机台内设有反应腔；所述反应腔内设有进料口、反应传送带、出料口、加热装置、若干气体喷嘴及若干沉积尾气排放Π ；所述进料口处设有用于从送料盒中向进料口载入晶圆的进料口机械手臂；所述出料口处设有用于从出料口向收料盒中收集晶圆的出料口机械手臂；所述加热装置设置在反应传送带下，用于加热所述晶圆；所述反应传送带通过一马达驱动，以载着所述晶圆从进料口传送向出料口 ；所述若干气体喷嘴设置在所述反应传送带上方，并靠近所述反应传送带，用于向所述晶圆上喷射反应气体；所述若干沉积尾气排放口将化学气压沉积反应后的废气排出；其中，还包括一报警保护模块，所述报警保护模块包括可编程控制器、信号检测单元、报警单元；所述信号检测单元连接与所述可编程控制器的输入接口相连；所述报警单元与可编程控制器的输出接口连接；所述信号检测单元包括气体喷嘴传感器、排放口传感器；所述气体喷嘴传感器设置在气体喷嘴上，以检测所述气体喷嘴的喷气状态；所述排放口传感器设置在沉积尾气排放口，以检测所述沉积尾气排放口的排气状态。本技术实施例提供的常压化学气相沉积装置，由于在其上集成了报警保护模块，该报警保护模块上设有气体喷嘴传感器和排放口传感器，可以检测气体喷嘴的喷气状态及沉积尾气排放口的排气状态。当出现异常时，可编程控制器可及时通过报警单元进行警示，提醒操作人员及时采取措施。优选地，所述报警单元包括蜂鸣器、LED指示灯。当常压化学气相沉积装置在运行过程中出现异常时，可及时提供声光报警。优选地，所述可编程控制器上设有输出引脚连接至所述气体喷嘴上的喷嘴控制按钮、及进料口机械手臂上的控制按钮。当常压化学气相沉积装置在运行过程中出现异常时，可根据机台运行程式停止气体喷嘴供应气体，停止进料口机械手臂载入晶圆。优选地，所述气体喷嘴上设有控制所述气体喷嘴开关的电磁阀；所述气体喷嘴传感器为继电器，所述继电器的控制线圈连接至电磁阀，以检测所述电磁阀的开关。优选地，所述沉积尾气排放口安装有驱动马达；所述排放口传感器为一光电传感器，所述光电传感器检测所述驱动马达上的小叶片的转动状态，以检测所述沉积尾气排放口的排气状态。优选地，所述气体喷嘴为3个，每个气体喷嘴对应设有2个所述沉积尾气排放口 ；在第一个气体喷嘴处设有一个气体喷嘴传感器，以检测喷入的娃烧气体；在第二、第三个气体喷嘴处各设有2个气体喷嘴传感器，分别检测该第二、第三个气体喷嘴喷入的娃烧气体和硼烧气体。优选地，所述LED指示灯的个数为9个，分别对应3个气体喷嘴和6个沉积尾气排放口。优选地，所述气体喷嘴两边设有气帘，所述气帘将每个气体喷嘴通过保护气体隔离，在气帘间形成独立的反应腔室。优选地，所述反应腔内设有清洗所述反应传送带的清洗水槽。[0031 ] 优选地，所述反应腔内，在所述反应传送带和出料口之间，还设有一冷却传送带。【附图说明】图1是现有技术中提供的一种常压化学气相沉积装置示意图；图2是本技术【具体实施方式】中提供的一种常压化学气相沉积装置示意图；图3是本技术【具体实施方式】中提供的一种报警保护模块示意图；图4是图3的具体连接电路示意图；图5是本技术【具体实施方式】中提供的气体喷嘴停止喷气后报警保护流程图；图6是本技术【具体实施方式】中提供的沉积尾气排放口停止排气后报警保护流程图。其中，1、反应机台；2、报警保护模块；10、反应腔；la、进料口 ；lb、出料口 ；lc、加热装置；11、进料口机械手臂；12、气体喷嘴；13、气帘；14、沉积尾气排放口 ；15、冷却传送带；16、出料口机械手臂；17、反应传送带；18、清洗水槽；19、反应传送带驱动马达；21、可编程控制器；22、LED指示灯；23、蜂鸣器；24、气体喷嘴传感器；25、排放口传感器；26、喷嘴控制按钮；27、进料控制按钮。【具体实施方式】为了使本技术所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。实施例1如图2所示，本例提供了一种常压化学气相沉积装置，包括一反应机台1，所述反应机台I内设有反应腔10 ;所述反应腔10内设有进料口 la、反应传送带17、出料口 lb、力口热装置、若干气体喷嘴12及若干沉积尾气排放口 14 ;当然，常压化学气相沉积装置除上述反应机台I外，还包括其他的辅助设备，比如气体供应设备等，其均为本领域技术人员所公知，且与本技术关联较小，因此不做具体说明。所述进料口 Ia用于向反应腔10内载入晶圆，所述出料口 Ib用于将化学气相沉积后的晶圆从反应腔10中运出。所述进料口 Ia处设有用于从送料盒中向进料口 Ia载本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种常压化学气相沉积装置，包括一反应机台，所述反应机台内设有反应腔；所述反应腔内设有进料口、反应传送带、出料口、加热装置、若干气体喷嘴及若干沉积尾气排放口；所述进料口处设有用于从送料盒中向进料口载入晶圆的进料口机械手臂；所述出料口处设有用于从出料口向收料盒中收集晶圆的出料口机械手臂；所述加热装置设置在所述反应传送带下，用于加热所述反应腔；所述反应传送带通过一马达驱动，以载着所述晶圆从进料口传送向出料口；所述若干气体喷嘴设置在所述反应传送带上方，并靠近所述反应传送带，用于向所述晶圆上喷射反应气体；所述若干沉积尾气排放口将化学气压沉积反应后的尾气排出；其特征在于，还包括一报警保护模块，所述报警保护模块包括可编程控制器、信号检测单元、报警单元；所述信号检测单元与所述可编程控制器的输入接口相连；所述报警单元与可编程控制器的输出引脚连接；所述信号检测单元包括气体喷嘴传感器、排放口传感器；所述气体喷嘴传感器设置在气体喷嘴上，以检测所述气体喷嘴的喷气状态；所述排放口传感器设置在沉积尾气排放口，以检测所述沉积尾气排放口的排气状态。

【技术特征摘要】
1.一种常压化学气相沉积装置，包括一反应机台，所述反应机台内设有反应腔；所述反应腔内设有进料口、反应传送带、出料口、加热装置、若干气体喷嘴及若干沉积尾气排放Π ； 所述进料口处设有用于从送料盒中向进料口载入晶圆的进料口机械手臂；所述出料口处设有用于从出料口向收料盒中收集晶圆的出料口机械手臂； 所述加热装置设置在所述反应传送带下，用于加热所述反应腔； 所述反应传送带通过一马达驱动，以载着所述晶圆从进料口传送向出料口 ； 所述若干气体喷嘴设置在所述反应传送带上方，并靠近所述反应传送带，用于向所述晶圆上喷射反应气体；所述若干沉积尾气排放口将化学气压沉积反应后的尾气排出； 其特征在于，还包括一报警保护模块，所述报警保护模块包括可编程控制器、信号检测单元、报警单元； 所述信号检测单元与所述可编程控制器的输入接口相连；所述报警单元与可编程控制器的输出引脚连接； 所述信号检测单元包括气体喷嘴传感器、排放口传感器；所述气体喷嘴传感器设置在气体喷嘴上，以检测所述气体喷嘴的喷气状态； 所述排放口传感器设置在沉积尾气排放口，以检测所述沉积尾气排放口的排气状态。2.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积装置，其特征在于，所述报警单元包括蜂鸣器和LED指示灯。3.根据权利要求2所述的常压化学气相沉积装置，其特征在于，所述可编程控制器上设有输出引脚连接至所述气体喷嘴上的喷嘴控制按钮、及进料口机械手臂上的控制按钮。4.根据权利要求3中任...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹达，陈昱，方必勇，于星辰，
申请(专利权)人：比亚迪股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44