【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及氧化锌基透明导电膜玻璃的制备方法，尤其涉及利用常压化学气相沉积法，在移动的热玻璃表面沉积氧化锌掺杂透明导电氧化物薄膜，该薄膜主要应用于薄膜太阳能电池等领域。
技术介绍
随着能源危机及传统能源对环境污染的日趋严重，开发可再生洁净能源成为国际范围内的重大战略课题之一，太阳能是取之不尽、用之不竭的洁净能源，因此，研究与开发利用太阳能成为世界各国政府可持续发展的能源战略决策。其中，薄膜太阳能电池以其低成本、易大面积实现等优点，太阳能电池中占据重要位置，应用前景广阔，而氧化锌掺杂透明导电膜具有高透过率、高电导率以及低成本的优点，使其在薄膜太阳能电池中得到广泛应用。中国专利CN101140143阐述了超声喷雾法制备大面积透明导电膜的方法及装备。该方法通过超声喷雾法，在静止的热玻璃表面上沉积了氧化锡掺杂氟透明导电膜，膜层电导率及透过率较高，但该方法未涉及中间屏蔽层的制备，同时，该方法得到的样品膜层不够均匀且尺寸较小，不宜进行工业化生产；中国专利CN101188149阐述了一种利用射频磁控溅射法在玻璃表面共沉积Ce掺杂的ΑΖ0透明导电膜的方法，得到了电阻率...
【技术保护点】
一种常压化学气相沉积法制备氧化锌基透明导电膜玻璃的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将玻璃板加热到预先设定好的温度；(2)使用反应性气体前驱物在所述玻璃板表面先后快速均匀沉积中间层薄膜和透明导电层薄膜；并且(3)将镀完膜的所述玻璃板进行冷却退火，所述退火的温度设定在一个渐变梯度范围。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：金良茂，王萍萍，操芳芳，汤永康，
申请(专利权)人：中国建材国际工程集团有限公司，蚌埠玻璃工业设计研究院，
类型：发明
国别省市：上海;31
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