一种用于SiCl4气体检测的电化学传感器及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种用于SiCl4气体检测的电化学传感器及其制备方法，所述传感器包括:固态电解质隔膜、工作电极、参比电极和对电极；所述工作电极包括金属和双钙钛矿材料，所述金属和双钙钛矿材料的质量比为1:(1～5)。本发明专利技术中的电化学传感器耐高温性能卓越，可以在1000～1500℃下稳定工作，并且具有检测精度高、响应速度快、选择性好的优点，具有广阔的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气体传感器，特别是涉及一种用于sicl4气体检测的电化学传感器及其制备方法。

技术介绍

1、sicl4作为重要的化工原料和半导体工艺气体，在多晶硅生产、化学气相沉积(cvd)等领域中广泛使用。在高温工艺环境中，准确监测sicl4气体浓度对于控制反应进程、保障产品质量以及预防安全事故具有重要意义。然而，在极端高温条件下(如1000℃以上)，sicl4气体检测面临诸多挑战。

2、一方面，传统气体传感器材料在高温下极易发生软化、挥发或化学腐蚀，导致传感器失效。例如，常见的金属电极材料在极端高温条件下会迅速熔化，无法维持稳定的电学性能；普通陶瓷材料也可能因高温氧化、热应力开裂而失去功能。另一方面，sicl4气体化学性质活泼，在高温下可能发生分解、水解等复杂反应，生成cl2、hcl、sicl2等产物，常规检测方法难以准确区分并定量检测sicl4的真实浓度。

3、目前，虽然固态电解质电化学传感器在高温气体检测方面展现出一定优势，但针对sicl4气体在极端高温条件下的特异性检测，仍缺乏有效的技术方案。现有相关传感器存在检测精度低、响本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于SiCl4气体检测的工作电极，其特征在于，所述工作电极包括金属和双钙钛矿材料，所述金属和双钙钛矿材料的质量比为1:(1～5)。

2.根据权利要求1所述工作电极，其特征在于，所述工作电极还包括Al2O3，所述Al2O3的量为金属和双钙钛矿材料的总质量的0.5～2倍；

3.根据权利要求2所述工作电极，其特征在于，所述催化剂为Ir；

4.一种电化学传感器，其特征在于，所述电化学传感器包括:固态电解质隔膜、如权利要求1～3任一项所述的工作电极、参比电极和对电极；所述工作电极、参比电极和对电极固定于所述固态电解质隔膜的表面。>

5.根据权利...

【技术特征摘要】

1.一种用于sicl4气体检测的工作电极，其特征在于，所述工作电极包括金属和双钙钛矿材料，所述金属和双钙钛矿材料的质量比为1:(1～5)。

2.根据权利要求1所述工作电极，其特征在于，所述工作电极还包括al2o3，所述al2o3的量为金属和双钙钛矿材料的总质量的0.5～2倍；

3.根据权利要求2所述工作电极，其特征在于，所述催化剂为ir；

4.一种电化学传感器，其特征在于，所述电化学传感器包括:固态电解质隔膜、如权利要求1～3任一项所述的工作电极、参比电极和对电极；所述工作电极、参比电极和对电极固定于所述固态电解质隔膜的表面。

5.根据权利要求4所述的电化学传感器，其特征在于，所述固定包括采用粘结剂将各电极粘附到固态电解质隔膜的表面，所述粘附方式包括如下任意一种或两种方式:

6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐先魁，于浩，彭寿，官敏，李红强，马桔萍，曹欣，陈淑勇，李佩悦，郑思平，艾晓晶，
申请(专利权)人：中国建材国际工程集团有限公司，
类型：发明
国别省市：