【技术实现步骤摘要】
磁控溅射圆柱靶的靶芯结构
本技术涉及一种磁控溅射镀膜装置的阴极靶心结构，尤其是一种应用于太阳集热真空管镀膜和建筑玻璃镀膜生产线以及装饰材料镀膜等领域的磁控溅射圆柱靶的靶芯结构。
技术介绍
目前，在太阳集热管镀膜和建筑玻璃镀膜及装饰材料镀膜过程中，采用最先进镀膜工艺就是真空磁控溅射的方法，使用的设备是磁控溅射圆柱靶镀膜机，其使用的靶材主要是铝、紫铜、不锈钢、钛、银、镍等，靶芯上的磁钢是强磁钢，为钕铁硼材料，磁钢采用直接水冷方式。这样的结构带来以下两种缺点:第一磁钢浸在水里冷却，使磁钢容易被腐蚀粉碎，使用寿命缩短；第二最主要是在靶管溅射放电时，靶管两端出现半圆弧放电，靶管两端造成很深的凹槽，缩短了靶材的使用寿命，靶材利用率约为35%，靶材利用率低。
技术实现思路
本技术的目的是为克服上述现有技术的不足，提供一种磁控溅射圆柱靶的靶芯结构，它具有提高靶材利用率，延长磁钢使用寿命，降低运行成本。为实现上述目的，本技术采用下述技术方案:磁控溅射圆柱靶的靶芯结构，包括圆柱靶管以及其内设的靶芯，所述靶芯包括芯铁、至少三条长条形强磁钢以及配重，所述芯铁上设置有至少三条长条形沟槽，所...
【技术保护点】
磁控溅射圆柱靶的靶芯结构，包括圆柱靶管以及其内设的靶芯，所述靶芯包括芯铁、至少三条长条形强磁钢以及配重，其特征在于，所述芯铁上设置有至少三条长条形沟槽，所述长条形沟槽的上面安装有强磁场均匀的长条形强磁钢，所述长条形强磁钢的两端各安装有弱磁钢，所述弱磁钢的磁场强度为位于中间安装的长条形强磁钢的磁场强度的30%至60%，所述芯铁的外面设置有只用来密封长条形强磁钢和弱磁钢的不锈钢罩装置，该装置是由不锈钢薄板偎成盒子，罩在长条形强磁钢和弱磁钢上，不锈钢盒子与芯铁之间通过橡胶板密封，并使用螺钉压紧固定，所述长条形强磁钢、弱磁钢和配重的外面罩有热缩管，并通过热缩管将靶芯、长条形强磁钢、...
【技术特征摘要】
1.磁控溅射圆柱靶的靶芯结构，包括圆柱靶管以及其内设的靶芯，所述靶芯包括芯铁、至少三条长条形强磁钢以及配重，其特征在于，所述芯铁上设置有至少三条长条形沟槽，所述长条形沟槽的上面安装有强磁场均匀的长条形强磁钢，所述长条形强磁钢的两端各安装有弱磁钢，所述弱磁钢的磁场强度为位于中间安装的长条形强磁钢的磁场强度的...
【专利技术属性】
技术研发人员：万光辉，梁君，平杰，
申请(专利权)人：山东亿家能太阳能有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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