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本实用新型公开了一种磁控溅射圆柱靶的靶芯结构，它是真空镀膜技术中磁控溅射镀圆柱靶的核心部分，它在靶管内部，在芯铁上面安装有多条长条形强磁钢，两个端部装有两条弱磁钢，芯铁外面有封闭的不锈钢罩隔水装置，防止磁钢浸在水里，这样可以延长磁钢的使用寿...
该专利属于山东亿家能太阳能有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东亿家能太阳能有限公司授权不得商用。

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