本发明提供一种能高精度地检测衬底收容器内的衬底在前后方向上的位置的衬底搬送装置。本发明涉及一种衬底搬送装置及衬底搬送方法。衬底搬送装置(TID)具有机械手(1)、进退机构(31)、升降机构((32))、移动机构(33)及检测部(2)。进...

曝光装置具有圆筒形状的周壁部件。周壁部件形成能够收容衬底的处理空间并且具有上部开口及下部开口。而且，在周壁部件的上部，以盖住上部开口的方式设置着光出射部。在周壁部件的下方设置着下盖部件，所述下盖部件设置成能够沿上下方向移动且能够封闭及打...

本发明提供一种与以往相比作为颜料的氧化钛粒子的平均分散粒径更小、表现出更良好的分散性且制造效率优异的颜料组合物、化妆品组合物以及喷墨用墨组合物。本发明的颜料组合物的特征在于，其包含由表面为亲水性的氧化钛粒子构成的颜料、由质均分子量小于1...

提供一种膜的剥离装置及膜的剥离方法，对于由基材和保护膜构成的层压体，能够可靠或顺畅地将保护膜从基材上剥离。一种剥离装置，对于由基材和保护膜构成的层压体，将保护膜从基材上剥离，其中，具有从层压体的端区域到层压体的主体区域将保护膜从基材上剥...

提供一种膜的剥离装置及膜的剥离方法，对于由基材和膜构成的层压体，能够更可靠地将膜从基材上剥离或者更可靠地开始将基材粘贴到粘贴对象上。一种剥离装置，对于由基材和膜构成的层压体，将膜从基材上剥离，其中，具有：支撑构件，从下方支撑作为层压体的...

提供一种涂布装置、高度检测方法以及涂布方法，对基板施加浮力来在水平方向上运送基板并向基板供给处理液，高精度地检测与喷嘴的相向位置上的基板上表面的高度。涂布装置具有：运送部，从下方对基板施加浮力并在水平方向上运送基板；喷嘴，被定位在与被运...

基板处理装置(1)的载置单元(40)设置于处理区块(20)与分度器区块(10)之间的连接部。载置单元(40)保持从分度器区块(10)朝中央机械手(22)传递的未处理的基板(9)。此外，载置单元(40)保持从中央机械手(22)朝分度器区块...

基板处理装置(1)具备基板保持部(2)、处理液供给部、加热部(5)以及液体去除部。基板保持部(2)将基板(9)保持为水平状态。处理液供给部将表面张力比IPA高的处理液供给至基板(9)的上表面(91)，由此形成覆盖基板(9)的上表面(91...

本发明提供一种对基板进行清洗处理的基板处理装置，处理部的上部和下部分别具有多个处理单元。处理部具备至少一个塔单元，所述塔单元中，所述上部具有至少一个正面清洗单元和至少一个反面清洗单元，所述下部具有至少一个正面清洗单元和至少一个反面清洗单...

本发明提供一种不需要基准图像也能够判定基板是否被正常地保持的基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置具有：保持部，用于保持基板；拍摄部，用于在包括被保持的基板的外缘部的拍摄范围内对基板的多个部位进行拍摄，并且输出基板的多个图像数据；提...

本发明提供一种能够高精度地检测喷嘴内部流路中的处理液与气体的气液界面的技术。本发明涉及一种喷嘴内部的气液界面的检测方法及衬底处理装置。本发明的检测方法检测喷嘴内部流路中的处理液与气体的气液界面，具备拍摄工序及检测工序。在拍摄工序中，由相...

本发明提供一种印刷方法和印刷装置，在一边通过传送带输送片剂等颗粒物的同时一边进行印刷的情况下，能够减少对各颗粒物的印刷的位置偏差。首先，在输送路径的印刷位置(P0)下游侧，取得片剂(9)的印刷后图像，根据取得的印刷后图像检测传送带(10...

本发明提供一种搬运处理装置及方法，即使在交接片剂时错误地落下的情况下，也能够抑制落下的片剂进入回收合格品的片剂的回收部。所述片剂印刷装置(搬运处理装置)包括第一搬运机构、第二搬运机构、处理部、移载机构、判定部及合格品排出机构。第一搬运机...

本发明提供一种墨水供给部、印刷装置及锭剂印刷装置，可抑制由气泡引起的印字缺漏等印字不良的产生。墨水供给单元(墨水供给部)包括记录头、墨水包保持部及墨水配管。记录头具有喷出面，此喷出面排列有喷出墨水滴的多个墨水喷嘴。墨水包保持部可保持将供...

本发明提供一种提高对移动的喷嘴的位置检测精度的基板处理装置。基板处理装置具有用于拍摄喷嘴并输出喷嘴的图像数据的拍摄部，用于根据图像数据检测喷嘴的位置的位置检测部。位置检测部在停止区域中，通过使用基准图像数据对图像数据进行匹配处理，从而检...

本发明提供一种医疗器具，该医疗器具在向受体移植脏器时能够进一步抑制脏器的温度上升并且不容易妨碍主刀医生的操作。该脏器容纳容器(1)包括具有伸缩性且具有开口(30)的袋状的主体部(20)。在无负荷状态下，开口(30)的最大宽度(D4)小于...

本发明涉及一种涂布装置。形成有多个孔部(43)的截流环(41)配置在内罩(21)的下端(26A)，且具有与外罩(23)的从外周壁(29)到间壁(31)为止的宽度大致相同的环宽。由于从内罩(21)滴落的涂布液的一部分被截流环(41)拦截，...

无论会面(两人间的会面)时两者相遇的场地的环境如何，都能够容易使两者相遇。路径引导程序使移动终端装置(10)内包含的计算机作为以下单元而发挥功能，移动终端装置(10)具有将摄影影像显示在显示部的功能；所述单元包含：当前位置检测单元(15...

本发明涉及一种衬底处理系统及衬底搬送方法。移载传送区块的衬底搬送机构能够对载置在载置台的载体取放衬底(W)。进而，衬底搬送机构在第1处理区块及第2处理区块的位于不同高度位置的例如2个处理层间搬送衬底(W)。因此，无须像现有技术那样在移载...

第一及第二反转部(41a、41b)分别具备送出槽、取入槽及反转机构。反转机构一体地反转送出槽及取入槽，由此切换将送出槽配置于下侧的送出姿势与将取入槽配置于下侧的取入姿势。分度器机械手(3)将未处理的基板(9)插入于送出姿势的第一反转部或...