【技术实现步骤摘要】
所述专利技术涉及一种在将周缘部设置着槽口等缺口部的圆板状的衬底以水平姿势载置于衬底支撑部的上表面的状态下，以所述衬底的中心与衬底支撑部的中心一致的方式使衬底水平移动而定位的定心技术及利用所述技术来处理衬底的衬底处理装置。所述处理中含斜角蚀刻处理。以下所示的日本申请的说明书、附图及权利要求书范围内的揭示内容通过参考将所述所有内容组入本书中：特愿2022-119717(2022年7月27日申请)。
技术介绍
1、已知有一种衬底处理装置，使半导体晶圆等衬底旋转且对所述衬底的周缘部供给处理液实施药液处理或洗净处理等。在例如日本专利特开2019-149423号公报所记载的装置中，衬底一边由旋转卡盘(相当于本专利技术的“衬底支撑部”的一例)从下方支撑一边被吸附保持。这时，如果旋转卡盘的中心与衬底的中心偏移，那么会招致处理品质下降。因此，在所述装置中，在对衬底实施处理之前，执行使衬底相对于旋转卡盘的偏心量减少的所谓定心处理。
技术实现思路
1、[专利技术所要解决的问题]
2、在所述以往装置中，分2阶段进行定心处理。首先，测定衬底相对于旋转卡盘的偏心量。接下来，通过以推进器水平推动旋转卡盘上的衬底，将衬底的中心朝旋转卡盘的中心(旋转轴线)侧移动。因此，在产量方面仍有改良的余地。
3、因此，正在研讨不进行偏心量测定而进行定心处理的技术。更详细来说，3个以上抵接部件设置成在水平面内包围旋转卡盘。且，在旋转卡盘上载置着衬底的状态下，由抵接部件从互不相同的方向朝衬底的端面移动而夹住
4、然而，在衬底设置着槽口等缺口部的情况下，虽然之后参考图4详细叙述，但根据抵接部件的构成，定心精度不同。因此，在使用3个以上抵接部件的定心装置中，为了提高定心精度，需要在抵接部件的构成上花功夫。然而，并未针对所述点进行充分研讨。
5、所述专利技术是鉴于所述问题完成的，目的在于在使用3个以上抵接部件的定心装置及使用所述定心装置的衬底处理装置中，提高定心精度，且所述抵接部件设置成在水平面内包围载置着周缘部设置着缺口部的圆板状的衬底的衬底支撑部。
6、[解决问题的技术手段]
7、所述专利技术的第1态样的特征在于其为在将周缘部设置着缺口部的圆板状的衬底以水平姿势载置于衬底支撑部的上表面的状态下，以衬底的中心与衬底支撑部的中心一致的方式使衬底水平移动并定位的定心装置，且具备：3个以上抵接部件，具有能够与衬底的端面抵接的抵接面且配置成以抵接面朝向衬底的端面的姿势在水平面内包围衬底支撑部；移动机构，使抵接部件从互不相同的方向朝衬底移动；及控制部，以抵接部件朝衬底移动而夹住衬底的方式，控制移动机构；抵接面与水平面交叉形成的能够抵接区域为曲率中心位于直线或衬底侧且具有大于衬底的半径的曲率半径的曲线，且以长于由缺口部切取衬底的圆周的圆弧的方式进行精加工。
8、另外，所述专利技术的第2态样的特征在于其为一种衬底处理装置，且具备：衬底支撑部，具有将在周缘部设置着缺口部的圆板状的衬底以水平姿势支撑的上表面；所述定心装置；吸引部，将通过定心装置定位的衬底与衬底支撑部之间排气并使衬底吸附保持于衬底支撑部；旋转驱动部，使吸附保持衬底的衬底支撑部绕衬底支撑部的中心旋转；及处理液供给机构，对与衬底支撑部一体绕衬底支撑部的中心旋转的衬底的周缘部供给处理液。
9、在这样构成的专利技术中，设置着3个以上具有能够与衬底的端面抵接的抵接面的抵接部件。所述抵接部件配置成以抵接面朝向衬底的端面的姿势在水平面内包围衬底支撑部。且，所述抵接部件从互不相同的方向朝衬底移动而夹住衬底。这时，如果抵接面与衬底的缺口部对向，那么会受到缺口部的影响，但在本专利技术中，抵接面与水平面交叉形成的能够抵接区域为曲率中心位于直线或衬底侧且具有大于衬底的半径的曲率半径的曲线，且以长于由缺口部切取衬底的圆周的圆弧的方式进行精加工。因此，能够防止抵接部件的一部分进入缺口部，结果，抑制缺口部对定心精度的影响。
10、[专利技术的效果]
11、根据本专利技术，能够提高定心精度。
12、所述本专利技术的各态样具有的多个构成要件并非全部为必须，为了解决所述问题的一部分或全部，或者为了达成本说明书所记载的效果的一部分或全部，能够适当对所述多个构成要件的一部分构成要件，进行所述变更、删除、与新的其它构成要件的替换、及限定内容的一部分删除。另外，为了解决所述问题的一部分或全部，或者为了达成本说明书所记载的效果的一部分或全部，也能够将所述本专利技术的一态样所含的技术特征的一部分或全部与所述本专利技术的其它态样所含的技术性特征的一部分或全部组合而设为本专利技术的独立的一个态样。
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1.一种定心装置，其特征在于其为在将周缘部设置着缺口部的圆板状的衬底以水平姿势载置于衬底支撑部的上表面的状态下，以所述衬底的中心与所述衬底支撑部的中心一致的方式使所述衬底水平移动并定位的定心装置，且具备：
2.根据权利要求1所述的定心装置，其特征在于
3.一种衬底处理装置，其特征在于具备：
【技术特征摘要】
1.一种定心装置，其特征在于其为在将周缘部设置着缺口部的圆板状的衬底以水平姿势载置于衬底支撑部的上表面的状态下，以所述衬底的中心与所述衬底支撑部的中心一致的方...
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