流路片(100)具备基板(101)、电极(120)、保护膜(103)以及流路罩(105)。电极(120)配置在基板(101)的一方面(1011)上。保护膜(103)覆盖电极(120)。流路罩(105)配置于电极(120)和保护膜(103...

本发明提供一种追加检查装置及检查系统，被追加到检查印刷布线基板的外观的检查装置(11)中的追加检查装置(12)具有：接受部(31)，接受示出由检查装置(11)检测出的印刷布线基板的缺陷的缺陷图像；图像处理部(33)，对缺陷图像实施图像处...

本发明提供一种追加检查装置、检查系统、存储介质以及机器学习模型生成方法，追加检查装置(12)具有：接受部(31)，接受示出由检查装置检测出的印刷布线基板的缺陷的缺陷图像；以及再检查部(33)，对缺陷图像进行再检查。缺陷图像是在检查装置中...

本发明的课题在于提高蚀刻轮廓的自由度。本发明的衬底处理方法包括如下工序：使衬底旋转；使用中央喷嘴向旋转的衬底的中央部喷出第1处理液；以及使用边缘喷嘴向旋转的衬底的边缘部喷出第2处理液，俯视时该边缘部包围着中央部；边缘喷嘴从相对于衬底的主...

基板处理装置(100)将基板(W)浸渍于作为贮存于内槽(112)的处理液(L)的贮存处理液(L1)进行基板(W)的处理。基板处理装置(100)具备气泡供给部(130)和循环部(160)。气泡供给部(130)向贮存处理液(L1)供给气泡(...

本发明提供一种基板处理装置，能够提高针对多个基板的处理的均匀性。基板处理装置具备：处理槽(2)，其贮存处理多个基板(W)的处理液；升降机，其保持基板并浸渍于处理液中；加热器(8)，其加热处理槽。处理槽具有第一端壁(51)、第二端壁(52...

本发明涉及基板处理系统及基板处理方法。基板处理系统具备第1喷嘴、第2喷嘴和拍摄装置。拍摄装置对从第1喷嘴喷出的第1处理液以及从第2喷嘴喷出的第2处理液进行拍摄而生成动态画面数据。控制部在使第1处理液向第1喷嘴的供给开始后，使第2处理液向...

本发明涉及一种镀覆装置，使基板浸渍于镀覆液者，具备：保持部，与基板抵接，在镀覆液中保持基板；切换机构，使保持部位移，切换在镀覆液中保持基板的状态与不在镀覆液中保持基板的状态；罩部，以使保持部从设置在底部的开口部突出的状态覆盖切换机构的周...

本申请涉及衬底处理方法及衬底处理装置。衬底处理方法具备下述工序：将具有在表面形成有源自于干蚀刻的变质层的非晶硅层的衬底以水平状态保持的工序(步骤S11)；通过向变质层照射紫外线，从而对变质层进行改性以生成改性层的工序(步骤S12)；和向...

在无尘室内排列配置有多数个基板处理装置。作为事前的准备处理，基于拍摄配置于无尘室内的复数个基板处理装置而获取的拍摄图像来预先登记无尘室内的复数个基板处理装置的位置。当在复数个基板处理装置中的任一个中检测到异常时，智能眼镜显示用于应对该异...

本发明提供一种基板处理方法，其具备：第一装配过程，其使第一基板位于第一位置、第二位置、第三位置、第四位置、第五位置中的第一位置；第二装配过程，其组合第二排列和基板组，由此使第二基板位于上述第二位置；第三装配过程，其组合第三排列和上述基板...

本发明提供基板保持装置及基板处理装置。光射出部(610)射出具有彼此不同的多个峰值波长的光。卡盘部件(220)能够在第1位置(P1)与第2位置(P2)之间移动。卡盘部件(220)通过从第1位置(P1)移动至第1位置(P1)与第2位置(P...

曝光装置具有圆筒形状的周壁部件。周壁部件形成能够收容衬底的处理空间并且具有上部开口及下部开口。而且，在周壁部件的上部，以盖住上部开口的方式设置着光出射部。在周壁部件的下方设置着下盖部件，所述下盖部件设置成能够沿上下方向移动且能够封闭及打...

本发明提供一种基板处理装置，该基板处理装置的姿势转换部具备：具有基准间距保持槽以及2/3间距保持槽的铅垂保持部；以及保持槽切换驱动部。基准间距保持槽以基准间距配置。2/3间距保持槽以基准间距的2/3倍的2/3间距配置。就保持槽切换驱动部...

本发明提供一种基板处理装置，能够高效地处理基板。对基板进行处理的基板处理装置具备：姿势转换机构，其使基板的姿势转换成水平保持姿势以及铅垂保持姿势；推动器机构，其具有推动器部件，该推动器部件组合姿势转换机构保持的铅垂保持姿势的第二基板组和...

本发明在抑制电解硫酸的氧化力降低的同时进行基板处理。基板处理装置具备：基板处理部，其用以使用包含电解硫酸的处理液对基板进行处理；供给箱，其用以贮存向基板处理部供给的处理液；升温部，其用以在基板处理部中通过对自供给箱供给的处理液混合赋予水...

本发明在无尘室内排列配置有多个基板处理装置。在1台基板处理装置设有复数个处理单元。维护作业员在通过智能型眼镜拍摄了包含基板处理装置的区域的图像中设置虚拟对象。将虚拟对象的设置位置设定为基准位置。计算并登录基板处理装置所包含的部位相对于基...

本发明的目的有助于生成利用对象物以外的图像的特征的训练数据。本发明的图像处理方法包括：变换工序，对占据第一区域的第一图像实施第一仿射变换，求得占据与第一区域叠合且不一致的第二区域的第二图像；以及移动工序，将第二图像具有的像素向第一区域移...

本发明提供一种基板处理装置，能够高效地处理基板。基板处理装置具备：第一机构，其具有保持以等间距排列的铅垂姿势的基板的保持部；第二机构，其组合第一机构保持的第二基板组和从第一机构预先交付来的第一基板组，并保持以交替重复第一间隔和比第一间隔...

本发明提供一种基板搬送装置以及基板处理装置，基板处理装置包括：基板保持机构，其将姿势变换机构利用所述夹持杆保持的铅垂姿势的第一基板组和预先从所述姿势变换机构交接的铅垂姿势的第二基板组组合，使基板以比所述预定间距窄的排列间距沿水平方向排列...