本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。本发明提供一种提高分离效率的技术。在与贮存包含水及有机溶剂的混合流体的回收罐(60)连接的循环配管(62)规定出第1位置(Q1)及第2位置(Q2)，循环配管(62)具备：第1配管部分(62a)，...

本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。本发明的衬底处理装置包含：喷嘴，具有喷出口，且从所述喷出口朝向衬底喷出SPM；混合部，与所述喷出口连通；硫酸含有液供给装置，用来将供给至所述衬底保持单元保持的衬底并从该衬底排出的液体回收，基于所...

本发明提供一种能够高精度地检测非露出状态的对准标记的位置的技术。首先，在对准标记(90)为露出状态时，利用相机(50)拍摄基板(9)，由此取得可见光图像。之后，在对准标记(90)为非露出状态时，利用X射线相机(60)拍摄基板(9)，由此...

本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。本发明提供一种技术，能够在不损害安全性的情况下缩小防爆区域。本发明的衬底处理装置(100)具备：回收罐(60)，储存混合流体，该混合流体包含供给到衬底(W)后被回收的水、及供给到衬底(W)后被回...

本发明提供一种基板处理装置、基板处理装置的控制方法以及基板搬送装置。基板处理装置具备具有两个机械手的搬送机器人和控制部。两个机械手的两个支撑面的上下的支撑间隔设定为与两个基板载置台的两个载置面的上下的载置间隔一致。控制部进行使第一机械手...

本发明涉及一种衬底保持装置及衬底处理装置。旋转卡盘具有旋转基座。在旋转基座的周缘部，设置着固定保持部及可动保持部。可动保持部设置成能够转移到与配置在旋转基座上的衬底的外周端部接触的保持状态、与跟所述衬底隔开的释放状态。磁铁升降装置构成为...

基板处理装置(1)向基板(W)喷出由复数种液体混合而成的处理液。基板处理装置(1)具备规定液体贮存槽(54)、同种液体供给部(200)、喷出部(20)及回收部(110)。规定液体贮存槽(54)贮存用以生成处理液的复数种液体中的任一种液体...

本发明提供一种模拟系统，即使在实际装置的控制规格未知的情况下，也能够无需使实际装置进行动作地进行控制软件的调试。模拟系统具备临时模拟模型(M2)、控制指令值输出部(10)以及虚拟控制器部(60)。临时模拟模型(M2)通过与实际装置(10...

本发明涉及一种有机溶剂回收装置、衬底处理装置及有机溶剂回收方法。提供一种能够以较高的可靠性及较高的效率从混合液中分离出水的技术。本发明的有机溶剂回收装置具备回收配管(51)、第1脱水器(60)及第2脱水器(70)。回收配管(51)中流动...

本发明提供一种参数校正装置、参数校正方法及计算机程序，能够减轻环境负荷并且迅速地修正喷出特性。回归模型构筑部通过使用将利用基准参数测量到的基准波形的基准特征量(F0)与利用使基准参数的一部分的值变化后的周边参数(P1～Pm)测量到的周边...

本发明涉及有机溶剂回收装置、基板处理系统及有机溶剂回收方法。能高可靠性且高效率地从混合液分离水。装置具备第1配管、第2配管、合流部(50)和第1脱水器(60)。第1配管供来自对基板(W)进行处理的第1处理单元(4)的包含有机溶剂和水的混...

本发明涉及基板处理方法及基板处理装置。基板处理方法具有以下工序：第一层生成工序，在基板上涂布第一涂布液而生成第一层(101)，其中，第一涂布液包含有机材料和第一光交联剂；第二层生成工序，在第一层(101)上涂布第二涂布液而生成第二层(1...

本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。本发明的衬底处理装置包含：喷嘴，具有喷出口，且从所述喷出口朝向衬底喷出SPM；混合部，与所述喷出口连通；硫酸含有液供给装置，用来将供给至所述衬底保持单元保持的衬底并从该衬底排出的液体回收，基于所...

本发明提供一种参数优化装置、参数优化方法以及计算机程序产品，能够有效地进行控制参数的优化。参数确定部(913)使用已获取的复数个膜厚信息来确定接下来要评价的控制参数。膜厚信息获取部(914)获取基于通过使用由参数确定部确定的控制参数(P...

本发明涉及一种衬底处理方法及衬底处理装置。衬底处理方法包含：处理液供给工序，将处理液供给到衬底；及溶解气体供给工序，在包含在表面开口的多个通路的分离器的表面与接触衬底的处理液及接触衬底前的处理液中的至少一方接触的状态下，使通过进入分离器...

本发明提供一种衬底处理装置，其能够在更短时间内提高溶剂浓度。本发明的衬底处理装置(100)具备处理槽(Tk0)、衬底保持部(10)、排出部(4)及有机溶剂回收部(5)。处理槽(Tk0)贮存液体(L1)。衬底保持部(10)保持多个衬底(W...

本发明涉及一种有机溶剂回收装置、衬底处理装置及有机溶剂回收方法。本发明提供一种技术，能够使有机溶剂及水的混合液在与脱水器及过滤器各自相适应的条件下循环。有机溶剂回收装置具备回收罐(Tk1)、脱水循环部(60)及净化循环部(80)。回收罐...

本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。提供一种能够提高分离膜的分离效率的技术。本发明的衬底处理装置(100)具备：回收罐(60)，贮存混合流体，所述混合流体包含供给到衬底(W)后再回收的水、及供给到衬底(W)后再回收的有机溶剂；循环...

本发明的基板接合方法包括：等离子体处理工序，用稀有气体的等离子体即稀有气体等离子体来处理各基板的接合面，用氢气的等离子体即氢等离子体来处理经稀有气体等离子体处理后的各基板的接合面，用氮气的等离子体即氮等离子体来处理经氢等离子体处理后的各...

本发明的目的是能使过滤器长寿命化，上述过滤器在利用被用于基板处理后的处理液即废液生成处理液的处理中，自废液去除有机物。基板处理装置具备：喷嘴，其被供给包含过二硫酸离子的第1溶液，并将包含第1溶液的处理液供给至基板；第1罐，其贮存第1溶液...