本发明的基板处理装置（1）具备：基板保持部，保持圆板状的基板（9）；电极单元（5），在进行蚀刻时，与基板（9）的周缘部（93）的一部分即对象部位对向，且具有第1电极（51）及第2电极（52）；处理液填充部（6），其通过自喷出口（611）...

收集与基板处理装置的装置状态相关的信息，基于该状态信息判定基板处理装置内的对象部位是否危险。智能眼镜在包含被判定为危险的对象部位的空间重叠着色显示来进行显示。智能眼镜以与对象部位所属的危险等级相对应的显示色着色显示包含该对象部位的空间。...

本发明的目的在于提供一种可有效地降低基板的图案倒塌率的技术。本发明的基板处理方法具备保持工序、液供给工序、干燥液供给工序、及干燥工序。在保持工序中，保持具有形成有图案的第1主表面、及与第1主表面为相反侧的第2主表面的基板。在液供给工序中...

图像生成装置生成在制作已学习完模型时所利用的图像。在示出基板的候选缺陷的对象图像中，图案部的像素值的代表值大于背景部的像素值的代表值。差异增强部生成将对象图像与参照图像的差异增强表示的差异增强图像。将对象图像的像素值为图案部的代表值且参...

在具有向基板上涂布处理液的涂布单元以及对涂布有处理液的基板进行加热的加热单元的基板处理装置中，抑制因加热单元的过度烘焙。在本发明的基板处理装置和基板处理方法中，预先准备三种分别适合于彼此不同的加热处理时间的搬运模式。而且，基于由加热单元...

提供一种可降低运行成本所述的基板处理装置。基板处理装置包含基板保持部（2）、药液喷嘴（31）、刷（4）、刷保持部（5）、刷移动驱动部（410）、附着检测部、待机容器、清洗液供给部及控制部（9）。药液喷嘴（31）向由基板保持部（2）保持的...

本发明中，进行基板处理装置的维修作业的作业者佩戴智能型眼镜并发出基于声音的操作指示。智能型眼镜接收该声音并通过声音识别而文本化并显示。作业者目视确认显示的文本，若该内容正确则通过手势表现确认结果为正确。智能型眼镜拍摄作业者的手势并解析，...

本发明的基板处理装置（100）具备基板保持部（2）、处理液供给部（4）、液膜保持部（71）、移动部（8）及控制部（102）。基板保持部（2）保持基板（W）。处理液供给部（4）向保持于基板保持部（2）的基板（W）供给处理液。液膜保持部（7...

喷嘴（40）具备喷出口（40a）、顶端部（45）、及内表面（40c）。喷出口（40a）喷出处理液（L1）。在顶端部（45）配置喷出口（40a）。内表面（40c）形成与喷出口（40a）相连的液流路（P1）。至少内表面（40c）由氟树脂形成...

本发明提供一种衬底处理方法，其能够降低衬底被有机物污染的可能性。本发明的衬底处理方法包括保持工序、去除工序、去除冲洗工序及疏水化工序。在保持工序中，保持具有第1主面及第2主面的衬底。在去除工序中，使衬底旋转，且将含有氢氟酸的含氢氟酸液体...

本发明提供一种涂布装置，其具备在保持基板的同时使其旋转的旋转保持单元、外周杯以及中杯。外周杯在基板的涂布处理时，接住向由旋转保持单元保持并旋转的基板的外侧飞散的涂布液。中杯接住从基板的外周端部落下的涂布液。涂布装置还具有第一溶剂喷嘴和杯...

本发明提供一种能够同时搬送多个水平姿势的基板的基板搬送装置及包括其的基板处理装置。第一机械手包括位于分支叶板的基端部且配置在被一对第一基端引导件夹着的位置的基板握持用的第一推进器，第二机械手包括配置在被一对第二基端引导件夹着的位置的基板...

本发明提供一种基板处理方法以及基板处理装置，该基板处理方法，包括：第一单侧吐出工序，一边使第二外喷嘴停止处理液的吐出，一边使第一外喷嘴执行处理液的吐出，该第二外喷嘴配置于比内槽靠上方，且朝向保持于升降器的基板吐出处理液，该第一外喷嘴以在...

本发明的基板处理方法包含：基板旋转工序，使具有为了基板薄化而被研削或研磨的主表面的基板绕与所述主表面垂直的旋转轴线旋转；第一蚀刻工序，在所述基板旋转工序的执行期间，对所述主表面供给包含氢氟酸和硝酸的第一蚀刻液；以及第二蚀刻工序，在所述第...

基板接合装置具有：第一夹具11；第二夹具21，在第二基板与被第一夹具11保持的第一基板W1铅垂地相向的位置保持第二基板；Z致动器18，变更第一夹具11以及第二夹具21在铅垂方向上的间隔；以及第一变形致动器71A，使第一夹具11在平坦形状...

本发明的课题在于提供一种使基板处理严格相同，并且干燥处理的性能及产能较高的基板处理装置。将通过姿势转换机构23转换为铅垂姿势的规定片数的基板W按序浸渍于药液处理槽CHB、液处理槽ONB中，将规定时间的液处理结束后的铅垂姿势的规定片数的基...

本发明提供能够更适当地排出氢气的基板处理装置。基板处理装置包括处理单元(1)、容器(Tk1)、循环部(3)、排液部(4)、气体供给部(5)、排气部(6)和控制部。循环部(3)包含与容器(Tk1)连接的循环配管(31)及通过电解生成电解硫...

一种基板处理方法，用于在贮存处理液的处理槽中，按批次通过将至少一张基板浸渍于处理液来对基板进行处理，其包含以下工序：取得基板张数信息，该基板张数信息表示所述批次中包含的所述基板的张数；从分别表示所述基板的张数与所述基板的处理时间的校正值...

本发明提供一种卡盘销及基板保持装置。卡盘销设于绕沿上下方向延伸的基准轴旋转的旋转基座，包含主保持部及副保持部。主保持部具有在设于旋转基座的状态下与基准轴相对的抵接面。副保持部具有在设于旋转基座的状态下与基准轴相对的辅助面，且设在主保持部...

本发明中公开的主题涉及一种曝光方法，提供一种即使在形成于基板的内部的对准标记从X射线源的光轴远离的情况下，也能够根据X射线图像适当地计算对准标记的位置的技术。调整第二载置台(25)的位置，以便使Z轴方向上的基板(9)的上表面的高度成为基...