本发明提供一种晶圆级腔体式封装结构及其制备方法，该制备方法包括：提供可伐合金晶圆，并对其进行减薄至预设厚度；于减薄后的可伐合金晶圆表面形成至少一个沿其厚度方向延伸的盲腔，相邻两盲腔之间形成为可伐合金墙；提供表面形成有键合金属层的芯片晶圆...

本发明涉及一种提高p

本发明提供一种真空器件及其制备方法，方法包括：对SOI衬底图形化，形成包括径向尺寸最小处的纳米窄小结构；栅介质层包裹纳米窄小结构；进行氢气退火，使径向尺寸最小处断开，形成将顶半导体层分隔为阳极区和阴极区的断面结构，栅介质层与纳米窄小结构...

本发明提供一种兰姆波谐振器及滤波器，通过调控局部薄膜的厚度来改善声阻抗的匹配性，包括在第一材料区中的压电薄膜中设置凹槽，或在第二材料区中的压电薄膜下方形成介质层，以对由叉指电极构成的具有厚度差的兰姆波谐振器进行局部厚度调整，使得第一材料...

本发明提供一种基于注意力的用电负载特征信物模型的构建方法及装置，S1，根据第一设定时间间隔采集各用户的用电数据；S2，基于注意力对每个用户的用电数据进行处理得到每个用户的用电负载特征模型；S3，对所有用户的用电负载特征模型进行聚类处理得...

本发明涉及一种抗电磁干扰的集成硅基光接收芯片及其制备方法，所述光接收芯片设置有探测器阵列、光波导和光口；所述探测器阵列中的探测器的外围均设置有U型电磁屏蔽环。本发明的U型电磁屏蔽环极大增强了探测器的抗电磁干扰能力，使得探测器阵列中的相邻...

本发明涉及一种高度取向结构厚膜的制备方法，其包括将二维纳米片分散在溶剂中得到二维纳米分散液；将二维纳米分散液平铺于基材表面，形成片层随机取向的第一凝胶膜层；将多根直线插入第一凝胶膜层的内部诱导切变流场进行取向处理，形成片层高度定向排布的...

本发明涉及一种基于分形电极的碳管气体传感器，所述碳管气体传感器包括：分形电极(1,2)，所述分形电极(1,2)沉积在单晶硅片(5)两侧；取向有序的碳纳米管(6)，所述碳纳米管(6)沉积在单晶硅片(5)的两个分形电极(1,2)之间；敏感材...

本发明涉及一种太赫兹量子级联激光器脊波导刻蚀方法。该方法包括：(1)提供一种太赫兹量子级联激光器材料；(2)在材料表面进行刻蚀，刻蚀出一深度和下接触层厚度相同的凹槽(7)；(3)采用配备激光干涉仪的干法刻蚀系统对材料再进行刻蚀，刻蚀出脊...

本发明提出一种体声波谐振器及其制备方法，体声波谐振器包括第一电极、第二电极，以及夹在第一电极及第二电极之间的压电薄膜，其中压电薄膜由n层相邻两层极性相反的极性压电薄膜构成，第一电极与第二衬底被腔体结构隔开，腔体结构被嵌入第二衬底上，第二...

本发明提出一种体声波谐振器的调谐方法，体声波谐振器的调谐方法包括：压电薄膜包括n层极性压电薄膜，任意相邻两层的极性压电薄膜的极性相反，其中，n≥2；通过固定压电薄膜的总厚度，改变不同极性的极性压电薄膜的层数。极性压电薄膜层数越多，越能激...

本发明涉及一种基于结构差异感知的类别级六自由度物体位姿估计方法，包括：将深度图输入至目标检测分割网络进行识别，并根据识别结果得到物体实例的观测点云，并基于物体实例的观测点云选择目标物体对应的类别先验；提取观测点云和类别先验的特征，得到实...

本发明提供一种百皮秒级真时延MEMS光纤延迟线及其阵列，百皮秒级真时延MEMS光纤延迟线由大行程MEMS垂直运动微镜与多反射光纤准直器进行光学准直耦合，通过运动放大杠杆结构的设置，使得大行程MEMS垂直运动微镜的离面运动行程能够达到毫米...

本发明涉及一种自注入太赫兹光频梳系统，其中，太赫兹量子级联激光器作为光频梳源，通过自拍频产生的拍频信号并传输到第一T型偏置器中；第一T型偏置器用于将拍频信号传输至分波器；分波器用于将拍频信号分成两路，一路传输到环形器中参与自注入，另一路...

本发明涉及一种金属互连线制备方法。该方法包括：(1)提供一基底，在基底的上表面形成材料层；(2)在材料层的上表面形成金属层，在金属层的上表面形成刻蚀阻挡层；(3)采用干法刻蚀工艺刻蚀所述刻蚀阻挡层之外的金属层，形成薄金属层；(4)用钝化...

本发明提供一种二维晶体管阵列及其制备方法，方法包括：提供一导热基底；于导热基底上形成导热生长层以及位于单晶导热层上的包括多个二维材料单元的阵列；于各二维材料单元上形成源电极层、漏电极层、栅介质层及栅电极层，源电极层和漏电极层在水平方向上...

本发明提供一种SQUID检测模块、芯片、传感器及磁测量系统，包括：反馈线圈、SQUID器件及第一约瑟夫森结，SQUID器件包括并联的第二约瑟夫森结及第三约瑟夫森结；反馈线圈、SQUID器件及第一约瑟夫森结的第一端连接在一起，并作为SQU...

本发明提供一种用于可穿戴汗液贴片的疏水材料及其制备方法和应用，该制备方法包括以下步骤：S1：将1～2g聚四氟乙烯加入装有60～100mL无水乙醇的烧杯中，封口膜密封，超声分散5～10min，搅拌40～60min，获得均匀的聚四氟乙烯分散...

本发明涉及一种边缘抛光的单晶制绒硅片、太阳电池及制备方法。该单晶制绒硅片正面和背面的边缘区域以及硅片的侧面区域不具有金字塔绒面结构，除所述边缘区域和侧面区域以外的其它区域具有金字塔绒面结构。该单晶制绒硅片制备方法包括：腐蚀抛光；形成掩膜...

本发明提供一种咪唑三联吡啶钌配合物或其盐、或其溶剂合物。本发明还提供一种咪唑三联吡啶钌配合物的合成方法。本发明进一步提供了一种探针。本发明更提供上述咪唑三联吡啶钌配合物或其盐、或其溶剂合物，和/或上述探针在检测溶解氧中的用途。本发明提供...